Устройство для непрерывного осаждения покрытия из оксида металла

 

Изобретение относится к стекольной промышленности, а именно к устройствам для нанесения на прозрачную подложку слоя полупроводникового материала с высокой прозрачностью, сравнительно небольшим удельным электрическим сопротивлением и высокой механической прочностью. Цель изобретения - снижение удельного электрического сопротивления при высокой прозрачности покрытия. Сопло выполнено с тремя изолированными каналами 3-5 и двумя отражающими поверхностями 6. Профилированные стенки За, 36, 4а, 46, За, 56 каналов сходятся к мнимому ребру 1, общему для всех каналов. Соотношение расстояния между мнимым ребром и выходным отверстием сопла к ширине каждого канала составляет 15-60. Отражающие поверхности имеют длину, в 10- 20 раз большую суммы ширины трех выходных отверстий сопла. Удельное сопротивление покрытий 20-1500 Ом, прозрачность 60-100%. 4 ил. о (У)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (!9) (11) (51) 4 С 03 С 17/23

3Cf" " - . "

f, 3

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 2878803/29-33 (22) 13.02.80 (31) 1412/79 (32) 14.02.79 (33) СН (46) 30.01.88. Бюл. ¹ 4 (7 1) Сочиетта Италиана Ветро-СИВ

С.п.А. (IT) (72) Рейнхард Кальбскопф (AT) и Отто Баумбергер (СН) (53) 666.1.056(088.8) (56) Патент ФРГ № 2123?74, кл. 12 С 17/32 опублик.1972.

Патент США № 3850679, кл.427-248, опублик. 1974. (54) УСТРОЙСТВО Для НЕПРЕРЫВНОГО

ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ ОКСИДА МЕТАЛЛА (57) Изобретение относится к стеколь— ной промышленности, а именно к устройствам для нанесения на прозрачную подложку слоя полупроводникового материала с высокой прозрачностью, сравнительно небольшим удельным электрическим сопротивлением и высокой механической прочностью. ЦЕль изобретения — снижение удельного электрического сопротивления при высокой прозрачности покрытия. Сопло выполнено с тремя изолированными каналами 3-5 и двумя отражающими поверхностями 6. Профилированные стенки За, 36, 4а, 46, 5а, 56 каналов сходятся к мнимому ребру 1, общему для всех каналов. Соотношение рас» стояния между мнимым ребром и выходным отверстием сопла к ширине каждого канала составляет 15-60. Отражающие поверхности имеют длину, в 1020 раз большую суммы ширины трех выходных отверстиИ сопла. Удельное сопротивление покрытий ?0-1500 Ом, прозрачность 60-1007. 4 ил.

13714

Изобретение относится к стекольной промьппленности, а именно к устройствам для нанесения на прозрачную подложку слоя полупроводникового ма .э териала с высокой прозрачностью, сравнительно небольшим удельным электрическим еопротивлением и высокой механической прочностью.

Цель изобретения — снижение удель- 1ð ного электрического сопротивления при высокой прозрачности покрытия.

Данное устройство предназначено для нанесения слоя покрытия оксида олова или оксида титана химическим 16 осаждением из газовой фазы на подложку.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.2 и 3 — 2p варианты устройства; на фиг.4 — устройство, вертикальное сечение, показанное на фиг.1.

Устройство содержит ряд валков 1, на которых располагается и по которым перемещается в направлении F лист

V причем эти валки приводятся во вращение против часовой стрелки электрическим двигателем (не показан) и имеют длину, совместимую с ириной ЗО листа стекла, который они несут. Скорость вращения валков 1 должна выбираться таким образом, чтобы перемещение листа V происходило с линейной скоростью несколько метров в минуту (порядка 1-10).

Над валками 1 размещено сопло 2, принципиальный конструкционный профиль которого показан на фиг.2. Это сопло содержит три изолированных ка- 40 нала 3,4 и 5, размешенные в продольном направлении параллельно валкам 1 на длину, соответствующую ширине листа стекла V. Эти каналы могут, следовательно, иметь длину даже в несколь- 46 ко метров. Каналы 3-5 образованы сборкой длинных профилей 6,7 и 8, соединенных между собой надлежащими средствами, с двумя парами профилей и ограничивающими проходы 11, 12 и

13 между ними, сообщающиеся с каналами 3,4 и 5 соответственно.

Профилированные стенки За и Зб, 4а и 4б, 5а и 5б каналов 3-5 сходятся к мнимому ребру 1, отстоящему от плоскости, содержащей нижнюю поверхность профилей 6, на длину порядка

3-6 мм. Кроме того, выходные отверстия каналов 3,4 и 5, которые имеют

99

2 форму трех удлиненных щелей, располагающихся на всю длину профилей 6 и

7, имеют ширину в несколько десятых миллиметра (1/10 или ?/10).

Ширина нижней поверхности профилей заключается между 10- и 20-кратной общей шириной выходных щелей каналов 3-5.

Предпочтительно нижнюю поверхность профилей покрывать слоем химически инертного металла или сплавом таких металлов, или же оксидами металлов.

В качестве примера такого металла можно назвать золото или платину.

Окислы могут быть выбраны из числа

Sn0zó 8102 или А1203.

Собранные профили, образующие сопло 2, закрыты с каждого конца обтюраторной пластиной (не показана), установленной таким образом, чтобы обеспечить полную герметичность и образовать, таким образом каналы 3,4 и 5 и проходы 11,12 и 13, закрытые сбоку. Проходы 14, устроенные в верхней части профилей 10, позволяют по всей длине последних создавать циркуляцию текучей среды, например масла, предназначенной для поддержания оптимальной рабочей температуры сопла 2.

Другая пластина 15 герметично закрывает верхнюю поверхность сопла ? по всей его протяженности, препятствуя всякому сообщению между проходами 11, 12 и 13.

Общий профиль и состояние поверхности стенок, ограничивающих как каналы 3-5, так и проходы 11-13 (фиг.2), а также поперечные сечения последних таковы, что при расходах газа порядка 3-6 л/ч на сантиметр длины сопла потоки на выходе сопл будут "ламинарного типа.

По обеим сторонам сопла 2 и по всей длине последнего устройство содержит два короба 16 и 17 для отвода газов реакций (фиг.1 и 4) квадратного поперечного сечения, нижняя поверхность которых копланарна с нижней поверхностью профилей 6. Каждый из этих коробов снабжен продольными щелями 16а и 16б, для короба 16 и

17а и 17б для короба 17. Эти короба соединены с помощью системы трубопроводов 18 с входом всасывающего насоса 9, выход которого соединен с нижней частью промывной башни 20, за1371499

55 пс лненной огнеупорными материалами (кольца Рашига) .

Кроме того, устройство содержит цва термостатированных приемникабарботера ?1 и 2?, первый из которых содержит жидкое хлористое олово (SnC14), а второй — воду, два расходомера 23 и 24, снабженных клапанами

23а и 24а для регулирования расхода, питаемых смесью азота и водорода в пропорции 60:40, два клапана 25 и

26, расположенных на трубопроводах

27 и 28, соединяющих расходомеры с приемниками-барботерами, расположенными ниже. Два трубопровода 29 и 30 соединяют выход приемников 21 и 22 соответственно с проходом 13 и проходами 11 и 12 сопла 2, т.е. с каналом 5 этого сопла для трубопровода

29 и с каналами 3 и 4 — для трубопровода 30.

Трубопроводы 29 и 30 проходят через камеру Е (показана схематически контуром из пунктирно-штриховой линии), содержащую жидкий теплоноситель, например масло, температура которого поддерживается постоянной (примерно

110 С) соответствующим образом. Соотношение расстояния между мнимым ребром и выходным отверстием сопла к ширине каждого клапана составляет 1560. Отражающие поверхности имеют длину, в 10-20 раз большую суммы ширины трех выходных отверстий сопла.

Предлагаемое устройство позволяет

1 наносить, например, на стеклянную пластину слой окиси олова толщиной порядка 500 нм, обладающий одновременно очень хорошей прозрачностью, сравнительно низкой удельной электрической проводимостью, прекрасным сцеплением со стеклом и повышенной механической прочностью и стойкостью к кислотам.

Эксперимент; ьное устройство этого типа, снабженное соплом длиной

20 см, отверстия каналов 3,4 и 5 которого имели ширину 0,1-0,1 и 0,2 мм, позволило обрабатывать стеклянную пластину шириной 20 см и толщиной о

4 мм, нагретую примерно до 600 С и перемещаемую в направлении F (фиг.1 и 4) со скоростью 2 м/мин. Расстояние, разделяющее нижнюю поверхность сопла и поверхность стекла, составляло 6 мм.

Использовали приемники 21 и 22 емкостью примерно 200-300 мл (жидко5

35 го SnC14 — для приемник» 1 и Н О для приемника 22 соответствеHHo). Эти приемники нагревали до таких темпе— ратур, чтобы при расходе газа-носителя 5./Н 60 л/ч для приемника 21 и

120 л/ч для приемника 22, регулируемым клапанами 23а и 24а, получить расход реагента, разбавленного в этом газе, 2 моль/ч хлористого олова (SnC14) и 1 моль/ч Н О. Кроме того, температуру сопла поддерживали примерно 110 С посредством циркуляции масла в проходах 14 этого сопла (фиг.4).

Вследствие профиля, сообщенного каналам 3,4 и 5 сопла 2, и, в частности, вследствие того, что они сходятся своими боковыми стенками к мнимому ребру 1, газовые потоки, выходящие из этих каналов (noToK SnClg— для канала 5 и поток паров Н О вЂ” для

2 каналов 3 и 4), являющиеся ламинарными, входят во взаимный контакт, сначала протекая тангенциально, а затем более прямо по мере приближения к линии 1, находящейся выше. Комбинированный поток этих трех газовых потоков становится менее ламинарным, когда происходит взаимное проникновение этих потоков одного в другой, что имеет место только в непосредственной близости от поверхности стекла V, о которая нагрета примерно до 600 С, как это указывалось выше, так что на стекле происходит реакция присоединения

БпС1 + Н О вЂ” Sna + 4 НС1 °

Если не принять специальных мер, ro эта реакция будет происходить очень бурно с образованием большого количества двуокиси олова (SnO>) гидратов типа SnO п Н О на выходе каналов 3-5 сопла 2, вследствие чего возникнет опасность частичного или полного забивания всех или части каналов с осаждением этих же самых окислов олова на стекле в виде белой вуали, а не в виде требуемого полупроводящего прозрачного слоя.

При использовании устройства эта опасность устраняется добавлением в оба газовых потока SnC14 и паров

H 0 восстановительного агента в виде

Н, введенного в газ-носитель. Водород фактически является газом, не взаимодействующим ни с SnC1<, ни с

1371499

Н О. Кроме того, он действует как катализатор, поэтому может быть использован как инертный газ-носитель.

Реакция присоединения SnC1 и Н О происходит не только в центральной 5 зоне сопла 2, т.е. поблизости от той части этого сойла, в которую выходят каналы 3,4 и 5. Эта реакция имеет место тогда, когда насос 19 работает таким образом, что коробам 16 и 17, расположенным по обе стороны сопла, создается разрежение на правой и левой концевых частях (по чертежу) пространства, заключенного между стеклянной пластиной V и нижней поверхностью профилей ба и 66 сопла. Вследствие этого в этом пространстве образуется газовый поток, идущий от центральной части этого пространства к коробам 16 и 17. Эти потоки содержат часть SnC14 и Н О, диспергированные в газе-носителе и еще не прореагировавшие, уже образовавшиеся пары НС1 и некоторое количество газа-носителя, не содержащего реаген- тов, которые уже прореагировали. Таким образом, взаимодействие между

SnO è Н O может продолжаться при ос— таточных реакционноспособных азах на некоторую длину 1 по обе стороны ребра схождения каналов.

Мощность засасывания, осуществляемого благодаря коробам 16 и 17, выбирается таким образом, чтобы реакционноспособные газы, выходящие из З5 сопла 2, находились в этом пространстве только в течение времени, точно необходимого для получения слоя SnO на стекле, представляющего собой про40 зрачный слой, а не слой в виде увеличивающегося порошкообразного слоя

SnO .;Засасывание не должно быть слишком сильным, так как в ином случае газы-реагенты выходящие из сопла

1 45 не будут иметь времени достичь поверхности стекла. Интенсивность засасывания является, следовательно, определяющей для качества и скорости увеличения слоя. Благодаря засасыванию происходит изолирование от окружающей

- 50 атмосферы пространства, заключенного между соплом и стеклянной пластинкой и в котором происходит желаемая реакция. Создается препятствие всякому возможному проникновению в это пространство дополнительной влаги, способной оказать влияние на реакцию присоединения, а также всякому выбросу в окружающую атмосферу вредных паров, например НС1, или водорода, так как окружающий воздух имеет тенденцию течь в сторону щелей 16а и 166, соответственно 17а и 176, проходя между коробами 16 и 17, стеклянной пластиной V и соплом 2.

Газообразные продукты, засасываемые благодаря насосу 19, направляются на промывную башню 20 таким образом, чтобы летучие остаточные кислоты подвергались перколяции и уносу водой, причем образующийся кислый раствор отделяется от промытых газов и отводится по трубопроводу 20а.

В указанных рабочих условиях выход реакции составил примерно 70 . На стекло бып нанесен по всей его поверхности слой SnO толщиной 500 нм, прозрачностью 90-95 согласно образцам и со средней проводимостью (Нц)

200 Ом.

Кроме того, слой SnO, полученный таким образом, имел весьма высокую твердость, превышающую твердость стекла, на котором он был осажден.

Его стойкость была весьма высокой как к очень интенсивным механическим нагрузкам, например ударным, так и к воздействию кислот. Этому стеклу могла быть придана выпуклость с радиусом кривизны 15 M nacre его нагрева до о

600-700 С без какого-либо разрушения покрытия из SnO . Его можно было также закаливать в условиях, обычных ппя нормального стекла. Кроме того, стеклянную пластину с нанесенным

1 слоем SnO в описанных условиях и качествах можно резать алмазом с обеих сторон без отслаивания слоя.

С помощью этого устройства и в рабочих условиях, отличающихся от указанных только скоростью перемещения пластины V (причем эта скорость была доведена примерно до 10 м/мин), был получен слой SnO толщиной примерно

10 нм, средней проводимостью (Ru)

1,5 кОм, прозрачностью почти 1()О . для видимого излучения и механическими свойствами, практически эквивалентными слоям, полученным при перемещении стеклянной пластины со скоростью 2 м/мин.

Предлагаемое устройство может быть также использовано для осаждения химическим путем из газовой фазы слоя

TiO на стеклянной пластине. Для этога достаточно заменить в приемнике7 1 3714 (1лр(IttTe lpn 2 1 ".лtlpи(r аг о. ItIItn (БПО 4 ) ч тыреххлс ристым титанам (Ti(:14 ) .

Можно также использовать I лз-HncIIтель, састоящии исключите..(ьно из азо5 та.

На выходе cnïnà ? будет иметь мес— то следующая реакция:

ТгГ14 + Н O Тг02 + НС1Г

Стеклянная пластинл шириной ?0 см о и толщиной 4 мм, нагретая до 600 С, перемешалась в продольном нл правлении са скоростью 2 м/мин перед соплом 2 на расстоянии 6 мм от последнего.

С помощью клапанов 23а и 24а расход 15 газа-носителя был отрегулирован нл

60 л/ч для расхадомерл 23 и нл

120 л/ч — для расхадамера 24. Приемники 21 и 22 нагревались также для того, чтобы расходы реагентов состав- 2О ляли О, 2 моль/w TiC14 H О, 01 hlozl /tI

О.

Был получен слой TiO толщиной г

0,01 мкм, обладающий пропусканием света примерно 757, и отражательной способностью порядка 5()7., т.е. выше отражательной способности стекла, на которое нанесен слой. Механическая прочность была сравнима с механической прочностью слоя Бп02, полученного 30 так, как описано выше.

Непосредственное введение >12 для смягчения бурнага протекания рслкции присоединения SnC14 и паров Н О не является единствен а возможным. Саг- 35 ласно варианту осуществления можно использовать газ-носитель, состоящий исключительно из азота,,и получить нл месте водород, необходимый для восстановления, из метанола CX OH. На 40 фиг.?. показано, клк устройство на фиг.1 должно быть в таком случае изменено.

Такое устройство должно содержать помимо приемника-барботера 31, содер- 45 жащего метанол, рлгходомер 32 с клапаном 32а для : егулирования расхода, клапан 33, расположенный на трубопроводе 34, соединяющем расходомер 32 с приемником 31, и трубопровод 35, соединяющий выход этого приемника с трубопроводом 30 и, следовательно, с проходами 11 и 12 сопла 2, а значит с наружными каналами 3 и 4 этого сопла 2. 55

Трубопроводь(29, 30 и 35 проходят через камеру Е (показана схематичес 2 ки контуром llз пунктирно-лтрихаваи

99 8 линии), садержлщуh жидкий Tt пл 1н«. и— тель, например масла, Tewllep;I ryp;I к тораго паддержинлс:тся постоянной нл о уровне примерна 110 С соответствую— щим образом.

В IlpHcvTc Tâèè Sn(,14 метанол может взаимодействовать с последним следующим образом:

ЯпГ1 + СН„ОН, пО, +2НС)+2С113(.1..

Кроме тогс, вслелствис стнаситепьно высокой темперл туры, сущес твующей нл выходе каналов, метана.(может разлагаться сагллсна реакции

СН,ОН - 2Н + СО, л тлкже мажет взаимацейсTBnIInòü с

Н 0 согласно релкции

СН ОН + Н О ЗН + (О

Клк в одном, так и в другом случае получают нл месте водород, необходимый для управления уже уклзлннай основной реакцией:

БпС1 + 2Н О вЂ” Sn02 + 4HCl ° °

Вариант устройства, показанный на фиг.3, предназначается, в частности, для получения слоев Sn02 с добавками сурьмы путем замены некоторых атомов олова атомами сурьмы. Благодаря тлким добавкам можно добиться весьма значительного снижения удельного электрического сопротивления слоя.

Такое включение добавок может быть произведено согласно следующей реакции:

+ эН2О " Sb О + которая позволяет дополнительно ввести ионы с;рыбы и кристаллическую структуру Sn02.

Так как пятихлористля сурьма взаимодействует с водой, но не взаимо— действует с хлористым оловом, то установка согласно фиг.3 выполнена таким образом, чтобы SbC1 находилась в присутствии Н20 только нл выходе сопла 2, будучи смешиваемай с хлористым оловом (SnC1). Таким образом, указанная реакция происходит одновременно с реакцией присоединения

SnC14 и паров Н20. данное устроиства отличается от устройства, показанного нл фиг.1, добавленным приемником-блрбатерам 36, содержащим жидкую пятихлористую сурьму SbC1<, расходомером 37 с регулирующим клапаном 37л, клапаном 38, расположенным на трубопроводе 39 и трубопроводом 40, соединяющим выход этого приемника с Tpy(апроводам 29

Ц 1 1 и, следонательно, г центральным каналом 5 сопла через проход 13 в этом сопле (фиг.4).

Трубопроводы 29,30 и 40 проходят б через камеру Е (показана схематически контуром иэ пунктирно-штриховой линии), содержащую жидкий теплоноситель, например масло, температура которого поддерживается на постоянном уронне примерно 100 Г соответствующим образом.

Устройство этого типа, снабженное соплом с характеристиками, идентичны% ми соплу уже описанной установки на фиг.1, позволило нанести на стеклянную пластину шириной ?0 см и толщиной

4 мм слой ЯпО с добавкой сурьмы толщиной 500 мм.

Рабочие условия.

Стекло было нягрето до температуо ры 600 Г и перемещалось нл расстоянии

Ь мм от сопла со скоростью 2 м/мин.

Использовавшимся газом-носителем быпл смесь азота и нопорода (60:40), а 25 расходы этого гязл регулировались клапанами 23а, 24а и 37а до следующих величин: 60 л/ч — для приемника 21, содержащего жипкое SnC1 .,60 л/ч для приемника 22, содержащего Н О, и 30

20 л/ч — для приемника 36, содержащего жидкую пятихлористую сурьму

SbC1 . Кроме того, приемники нагревались для того, чтобы расходы реагентов составляли 2 моль/ч SnC1,2 моль/

/ч Н,О и 0,1 моль/ч SbC1 .

Был получен слой SnO с добавкой, обладающий удельным электрическим сопротивлением порядка 70 Ом и прозрачностью 607.

Прочие характеристики, такие как механическая прочность, сопротивление удару, отрыву или резанию алмазом, стойкость к кислотам, возможность термической обработки, злкалки 4 стекла, на котором осажден слой, эквивалентны характеристикам слоев

SnOz без добавок, осажденных уже описанным способсм. Его отражательная способность практически идентична отражательнои сш собности стекла, на котором был осажден полученный слой.

С помощью этого же устройства и при рабочих условиях, отличающихся от указанных рабочих условий только тем, что скорость перемешения пластины Ч была увели >енл примерно до

10 м/мин, был полччен слой SnO г добавкой сурьмь, имеюппгй примерно ч i) 10

10 нм г реннюю np(>ni ëèмоГTE (К )

П

5()() Ом, пропускаемое:ть видимого иэ— лучения 807. и мехлнические гной< твл, идентичные полученным при слое БпО

2 также с добавкой сурьмы, нанесенном на стеклянную пластину, перемещающуюся со г.к< ростью 2 м/мин.

Удельное сопротивление, отражательная способность и прозрачность слоен SnO на стекле могут бь)ть улучшены в весьма значительной степени, если эти гло и представляют собой слои с добавками фтора. Для этого предпочтительно использовать устройство, описанное со ссылками на фиг.1, дополненное баллоном 41, содержащим газообразный фтористый водород (HF) и трубопроводом 42, соединяющим этот баллон с трубопроводом

30, которые показаны штриховой линией.

На стекло толщиной 4 мм, нагретое примерно до 600 С, был нанесен слой толщиной 900 нм SnOz с добавкой фтора путем пропускания перед соплом со скоростью 2 м/мин и на расстоянии примерно б мм от этого сопла. Расходы газа-носителя (смесь 607. Н 407.

Hz) составляли 60 л/ч для SbC1 и водяного паря. Расход НР г.останлял

0,1 л/мин.

Слой SnOz с добавкой фтора обладал весьма высокими характеристиками.

Фактически его удельное электрическое сопротивление составляло (К )

20 Ом, отражательная способность к видимому свету превосходила таковую стекла, несущего этот слой, а его отражательная способность к инфракрасному излучению была особенно высокой (порядка 757.). Кроме того, пропускаемость видимого света составляла 90%. Характеристики механической прочности также были весьма высокими: стекло с нанесенным слоем

SnO с добавкой фтора могло подвергаться термической обработке, закалке, идентичной обработкам, которым обычно подвергаются некоторые стекла антомашин, например их боковые стекла. Можно было также придать такой пластине выпуклогть в горячем сог.таянии (примерно 65(С) г радиусом кривизны 15 см без nçìåíåíèÿ харлктеристик слоя SnOz с ннесс иной доблвксй. Кроме того, гтсклянная

1) 13714 пластина с нанесенным таким образом слоем могла обрабатываться обычным образом (разрезаться, шлифоваться и т.д.) беэ всякого повреждения слоя.

Слой БпО с добавкой F обладал более высокой твердостью, чем твердость стекла, на которое он был нанесен, и на нем не оставалось царапин, и, кроме того, его химическая стойкость 10 к кислотам, его сопротивление удару оказались особенно высокими.

С помощью этого устройства (фиг.3) и при рабочих условиях, отличающихся только скоростью перемещения плас- 15 тины V составляющей примерно

10 мlмин, бьл получен слой SnO< с добавкой фтора, имеющий толщину примерно 10 нм, среднюю удельную электри- ческую проводимость (R ) 200 Ом, про- 2р пускаемость почти 1003 для видимого света, отражательную способность инфракрасного излучения 25Х и механические свойства, идентичные полученным при слое SnO также с добавкой 25 фтора при перемещении стеклянной пластины со скоростью 2 м/мин.

Хотя в устройстве, показанном на фиг.1, дополненном баллоном 41, содержащим газообразный HF, и трубопро- 30 водом 42, соединяющим этот баллон с трубопроводом 30, используется в качестве восстановителя водород, введенный в газ-носитель (азот), можно также предусмотреть устройство, позволяющее получать слой SnO с добавками фтора, в котором восстановитель будут получать иэ метанола СН ОН.

Это новое устройство будет представлять собой комбинацию устройств, по- 40 казанных на фиг.1 и 2. Практически оно будет представлять собой устройство на фиг.2 с добавленным баллоном

41 для HF,ñoåäèíåííûì с трубопроводом

30 через трубопровод 42, причем здесь 45 все элементы, уже описанные применительно к варианту устройства на фиг.1, обозначены штриховой линией.

В данном случае приемники 21,22 и 31 будут питать азотом с расходами 50

60 л/ч, а расход HF будет составлять

0,1 л/ч. Их температура должна быть доведена до такой величины, чтобы расходы реагентов, подаваемых на сопло 2, составляли 1 моль/ч для ЯпС1, 1 моль/ч — для Н О и 2 моль/ч — для

СН ОН.

В указанных условиях на стекло толщиной 4 мм, нагретое примерно до

99 l2

600 С, был нанесен слой SnO с добавкой фтора толщиной 600 нм пропусканием перед соплом 2, температура которо- о го поддерживалась примерно 110 С описанным образом при скорости перемещения 2 м/мин и на расстояниипри— мерно 6 мм от этого сопла.

Полученный таким образом слой

SnO имел удельное электрическое сопротивление примерно (R>) 40 Ом.

Другие характеристики физического, оптического или механического свойст ва остались совместимыми с характеристиками слоя с добавкой фтора, полученного вводом водорода непосредственно в газ-носитель (устройство согласно фиг.1, дополненное баллоном 41).

Виды использования стеклянных пластин всяких размеров с нанесенным слоем SnO с добавкой или без добавки сурьмы или фтора могут быть самыми разнообразными в зависимости от их физических или электрических характеристик.

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет получать покрытия на поверхности движущейся ленты стекла с удельным сопротивлением 201500 Ом и прозрачностью 60-100Х.

Формула изобретения

Устройство для непрерывного осаждения покрытия из оксида металла на поверхность движущейся ленты стекла, нагретой до по крайней мере 600 С, полученного гидролиэом галогенида этого металла, содержащее щелевидное сопло, образованное профилированными стенками, сети для подачи в сопло водяного пара и газообразного галогенида металла или смеси последнего с газом-носителем, короба для отвода газов реакций, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью снижения удельного сопротивления при высокой прозрачности покрытия, сопло выполнено с двумя отражающими поверхностями и тремя изолированными каналами, образующие каналы профилированные стенки сходятся к мнимому ребру, общему . для всех каналов и находящемуся в плоскости поверхности ленты, сеть питания сопла галогенида соединена с центральным каналом, а сеть питания сопла водяным паром соединена

137

Ai.r

Щцг. 2 с двумя другими, расположенными по бокам центрального канала, а отношение расстояния между мнимым ребром и выходным отверстием сопла к ширине

1499

l4 каждого канала равно 15-60, а длина отражающих поверхностей в 1О-?О раз превышает сумму выходных отверстий трех сопл.

Я Г

1371499

° ° ° ° ° ° °

Составитель Г. Буровцева

Текред М.Моргентал Корректор И.Эрдейи

Редактор М. Петрова

Заказ 433/58 Тирах 425 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4