Способ изготовления мембранного узла датчика давления
Изобретение относится к измерительной технике и позволяет обеспечить возможность использования тонкостенных мембран. При изготовлении узла тонкостенная мембрана 2 укладывается на корпус 1, в котором установлен технологический вкладьш 4 с гофрированной поверхностью. В вакуумной печи сборный пакет нагревается до т-ры диффузионной сварки и сжимается в осевом направлении с созданием усилия сварки. Подаваемьш при этом через каналы 5 сжатый инертньй газ обеспечивает формовку гофр мембраны 2 по вкладышу 4 с уменьшением ее тол- . щины. 2 ил. (Л
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
4 7 А1. (19) (11) (5И 4 G 01 Ь 7/08
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н A BT0PCHGMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4129598/31-10 (22) 17.06.86 (46) 15,02.88. Бюл. № б (71) Московский авиационный технологический институт им. К.Э.Циолковского (72) А.Г.Пашкевич и А.В.Орехов (53) 531.787(088.8) (56) Заявка Японии № 59-38533, кл. С 01 L 7/00, 1984.
Авторское свидетельство СССР № 365604, кл. G 01 L 7/08, 1968. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННОГО
УЗЛА ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет обеспечить возможность использования тонкостенных мембран. При изготовлении узла тонкостенная мембрана 2 укладывается на корпус l в котором установлен технологический вкладыш 4 с гофрированной поверхностью. В вакуумной печи сборный пакет нагревается до т-ры диффузионной сварки и сжимается в осевом направлении с созданием усилия сварки. Подаваемый при этом через каналы 5 сжатый инертный газ обеспечивает формовку гофр мембраны
2 по вкладышу 4 с уменьшением ее толщины. 2 ил.
1374067
25 фиГ 2
Составитель О.Слюсарев
Редактор М.Циткина Техред А.Кравчук Корректор И.Муска
Заказ 563/37 Тираж 847 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r.Óæãîðoä, ул.Проектная, 4
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в авиационной и других отраслях промышленности.
Целью изобретения является обеспечение возможности использования тонкостенных мембран.
На фиг. 1 и 2 показан мембранный узел в процессе изготовления. l0
Мембранный узел содержит корпус 1, мембрану 2, собранную с корпусом 1 и крышкой 3, технологический вкладыш 4. Способ осуществляется следующим образом.
На корпус 1 датчика укладывается тонкостенная мембрана 2 и накрывается крышкой 3 (фиг. 1). В корпус 1 устанавливается технологический вкладыш 4 с гофрированной поверхностью.
Собранный пакет помещается в вакуумную печь, прогревается до температуры диффузионной сварки с созданием необходимого вакуума, сжимается в осевом направлении с созданием усилия сварки и выдерживается в этом режиме. В процессе сварки через каналы 5 в крышке 3 подается сжатый гаэ, обеспечивающий пневмотермическую формовку в режиме сверхпластичности мембраны 2 по технологическому вкладышу 4 (фиг. 2) с уменьшением ее толщины.
По окончании сварки-формовки пакет охлаждается и извлекается из печи, Использование в датчиках давления особо тонкостенной мембраны повышает их чувствительность и стабильность.
Формула изобретения
Способ изготовления мембранного узла датчика давления путем соединения мембраны с корпусом и крышкой, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности использования тонкостенных мембран, под мембрану со стороны корпуса устанавливают вкладыш с гофрированной поверхностью, обращенной к мембране, и одновременно производят диффузионную сварку мембраны с крышкой и корпусом и формовку гофр мембраны путем подачи на мембрану инертного газа под давлением.
