Устройство для контроля шероховатости поверхности

Авторы патента:

G01B11/30 - для измерения шероховатости или неровностей поверхностей

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано , в частности, для контроля качества поверхности. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение точности контроля. Устройство содержит источник 1 света, коллимилинзу 2, первый и второй коаксиально расположеннме цилиндрические отражатели 3 и 4, ось которых совпадает с оптической осью коллимирующей лиизы 2, а в последнем из них установлен источник 1 света. to

„„SU„„1 79618

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

А1 (.)и .! G 01 B 11/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4147736/24-28 (22) 17.11.86 (46) 07,03.88. Бюл. N - 9 (71) Научно-исследовательский и конструкторско-технологический институт средств контроля электронной аппаратуры и изделий электронной техники (72) А.Л.Климов, Н.И.Давыдов, М.В.Иоффе и Б.И,Красилыциков (53) 531. 715. 27 (088. 8) (5Ü) Авторское свидетельство СССР

М- 868348, кл. G 01 В 11/30, 1980, Авторское свидетельство СССР

У 1312380, кл. G 01 В 11/30, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ИЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля качества поверхности. Цель изобретения вЂ” упрощение конструкции и повышение точности контроля. Устройство содержит источник 1 света, коллимирующую линзу 2, первый и второй коаксиально расположенные цилиндрические отражатели 3 и 4, ось которых совпадает с оптической осью коллимирующей линзы 2, а в последнем из них установлен источник 1 света, 1379618 полупрозрачную пластину 5, расположенную между источником 1 света и коллимирующей линзой 2 под углом к оси последней и закрепленную на втором цилиндрическом отражателе 4, фотоприемник 6 сравнения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластины 5 со стороны источника 1 света, фотоприемник 7 для регистрации зеркально отраженного излучения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля качества поверхности.

Цель изобретения вЂ” упрощение конструкции и повышение точности контроля за счет установки фотоприемника сравнения и фотоприемника для регистрации зеркально отраженного излучения во втором цилиндрическом 1О отражателе (поскольку не предъявляются жесткие требования к точности расположения и изготовлению элементов устройства, настройка заключается лишь в установке источника света в фокальную область коллимирующей линзы), а также за счет исключения влияния на результат контроля отверстий цилиндрических отражателей.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроля шероховатости поверхности.

Устройство содержит источник 1 света, коллимирующую линзу 2, первый и второй коаксиально расположенные

25 цилиндрические отражатели 3 и 4, ось которых совпадает в оптической осью коллимирующей линзы 2, а в последнем иэ них установлен источник 1 света, полупрозрачную пластину 5, расположенную между источником 1 света и коллимирующей линзой 2 под углом к оси последней и закрепленную на втором цилиндрическом отражателе 4, фотоприемник 6 сравнения, расположен-З5 поверхности полупрозрачной пластины

5 со стороны коллимирующей линзы 2, фотоприемник 8 для регистрации диффузно отраженного излучения, расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2 за источником 1 света, рассеинатель 9 для обеспечения равномерного распределения на фотоприемнике 8, блок (на чертеже не показан) обработки сигналов с фотоприемников 6, 7 и 8. Фотоприемник 6 сравнения и фотоприемник 7 для регистрации отраженного излучения установлены во втором цилиндрическом отражателе 4. 1 ил.

2 ный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластины 5 со стороны источника 1 света, фотоприемник 7 для регистрации зеркально отраженного излучения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластины

5 со стороны коллимирующей линзы 2, фотоприемник 8 для регистрации диффуэно отраженного излучения, расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2 за источником 1 света, рассеиватель 9 для обеспечения равномерного распределения потока на фотоприемнике 8 и блок (не показан) обработки сигналов с фотоприемников

6 вЂ” 8, причем фотоприемник 6 сравнения и фотоприемник 7 для регистрации зеркально отраженного излучения установлены во втором цилиндрическом отражателе 4.

Устройство работает следующим образом, Излучение, посылаемое источником

1 света, попадает на полупрозрачную пластину 5 и раздваивается. Отраженный пучок попадает на фотоприемник

6 сравнения. Прошедший пучок коллимирующей линзой 2 проецируется на контролируемую поверхность 10. Источник 1 света расположен в фокальной области коллимирующей линзы 2, поэ1379618

Составитель Л.Лобзова

Техред Л.0лийнык

КорректоР M,Øàðoøè

Редактор О.Юрковецкая

Заказ 970/42 Тираж Ь80 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Ужгород, ул.Проектная, 4 тому освещение контролируемой поверх. ности 10 происходит параллельным пучком по нормали к ней. Отраженное от поверхности 10 излучение делится

5 на две составляющие: зеркальную и диффузную. Зеркальная составляющая проходит коллимирующую линзу 2 и после отражения от полупрозрачной пластины 5 собирается на фотоприемнике 7 для регистрации зеркально отраженного излучения, Диффузная составляющая, многократно отразившись от поверхности первого и второго цилиндрических отражателей 3 и 4, проходит рассеиватель 9 и попадает на фотоприемник 8 для регистрации диффузно отраженного излучения ° Блок обработки сигналов с фотоприемников

6 вЂ” 8 обрабатывает полученные с них сигналы и выдает результат на отсчетное устройство (не показано), Формула и э о б р е т е н и я

Устройство для контроля шероховатости поверхности, содержащее последовательно установленные источник света и коллимирующую линзу, два коаксиально расположенных цилиндрических отражателя, установленных так, что их ось совпадает с оптической осью коллимирующей линзы, полупрозрачную пластину, расположенную между источником света и коллимирующей линзой под углом к оси последней и закрепленную на внутреннем цилиндрическом отражателе, в котором установлен источник света, фотоприемник для регистрации диффузно отраженного излучения, расположенный на оптической оси коллимирующей линзы за источником света, фотоприемник сравнения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы лежит на поверхности полупрозрачной пластины со стороны источника света, фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы лежит на поверхности полупрозрачной пластины со стороны коллимирующей линзы, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности контроля, фотоприемник сравнения и фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения установлены во внутреннем цилиндрическом отражателе.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного контроля чистоты радиусных поверхностей

Устройство для контроля шероховатости поверхности // 1374045

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля шероховатости движущихся поверхностей

Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей // 1366878

Изобретение относится к измери тельной технике, в частности к области оптического приборостроения

Устройство для контроля дефектов поверхности // 1357706

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь- 39вано для контроля дефектов поверхности

Устройство для контроля шероховатости отражающих поверхностей изделия // 1357705

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля качества металли .-еских покрытий на технических изделиях в процессе их нанесения

Устройство для контроля шероховатости поверхности // 1352202

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано Л.1Я контроля шеро.ховатости поверхности

Способ бесконтактного контроля качества обработки поверхности оптических деталей и устройство для его осуществления // 1352201

Способ определения шероховатости боковых поверхностей изделия // 1350492

Способ измерения высоты шероховатости // 1332204

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения углового распределения рассеянного света и косвенной бесконтактной оценки параметров рассеивающей поверхности

Бесконтактный оптический способ определения высоты шероховатости поверхности // 1330463

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля качества обработки поверхности , измерения размеров частиц запыленных поверхностей, измерения высоты шероховатости

Устройство для определения качества поверхности // 2104480

Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина

Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления // 2107893

Устройство для измерения шероховатости и волнистости поверхности при фиксированных значениях базовой длины // 2116616

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля выпуска продукции с регламентированными параметрами шероховатости и волнистости в металлургической, машиностроительной, электронной, оптической, полиграфической промышленности, в самолетостроении, в технологиях нанесения покрытий

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей // 2148790

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Способ контроля параметров наружной резьбы и устройство для его осуществления // 2151999

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих наружную резьбу

Способ контроля параметров внутренней резьбы и устройство для его осуществления // 2152000

Способ детектирования положения линии сгиба на упаковочном полотне и устройство для его осуществления // 2153160

Изобретение относится к способу детектирования положения линии сгиба или аналогичной неровности на движущемся упаковочном полотне на подобном материале

Устройство для определения шероховатости поверхности // 2156437

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении шероховатости сверхгладких поверхностей, например плоских зеркал, полированных подложек и т.п

Устройство для контроля шероховатости поверхности изделия // 2156955

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля шероховатости поверхности изделия