Устройство для автоматической реставрации фотошаблонов

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОй4АЛИСТИЧЕСНИК

РЕСПУБЛИК (51) 4 G 03 В 27/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (?1) 3721611/24-10 (?2) 06,04.84 (46) 07т03.88. Бюл. 11 9 (7?) В.Г.Касьян, A.Ï.Нагорный, А.И.Черепков и Б.И.11!ахматенко (S3) 534.352(08R.R) (6) Авторское свидетельство СССР

К 528537, кл. G 01 В 3/04, 1976.

Гуревич Э.С.и др. Установка ретуши фотошаблонов. Электронная промышленность, 1975, вып. 11 (47), с. 67. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕС-КОИ PFCTABPA1961 ФОТОШАБЛОНОВ, содержащее оптический квантовый генератор, связанный через оптический фильтр, диафрагму и объектив с платформой, выполненной с датчиками перемещения и с воэможностью перемещения по двум координатам и связанной через первый и второй приводы с формирователем сигналов управления, первый выход которого подключен к осветителю, сопряженному через оптическую систему с платформой, а второй выход — к оптическому квантовому генератору, „„SU„„)379763 А1 о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с пелью повышения качества реставрации фотошаблонов, в него введены расположенные на оси излучения оптического квантового генератора зеркало, выполненное с отверстием в его центре и расположенное под углом сорок пять градусов к осям излучения оптического квантового генератора и оптической системы, блок оптической фильтрации и передающая телевизионная камера, а также последовательно соединенные аналого-цифровой преобразователь, блок вычисления координат и блок сравнения, поключенный входами к датчикам перемещения и выходом к первому входу формирователя сигналов управления, второй вход которого соединен с выходом блока вычисления координат, при этом передающая телевизионная камера подключена информационным выходом к входу аналого-цифрового преобразователя и синхронизирующим входом к синхрониэирующему выходу формирователя сигналов управления.. О ния координат. После этого включают осветитель 10, свет от которого через оптическую систему 11, отражаясь от зеркала 12 через отверстие в платформе 5, просвечивает фотошаблон. В результате этого сформированный рисунок топологии фотошаблона попадает в блок 13 оптической фильтра»m», который формирует дефектное поле фотошаблона. Одновременно формирователь 9 сигналов управления включает синхронизацию управлением считынания электрочного луча с передающей телевизионной камеры 14.

Аналого-цифровой преобразователь

15 выделяет кадровые, строчные и командные импульсы. Поскольку экран передающей телевизионной камеры 14 не засвечивается после блока 13 оптической фильтрации, а имеются лишь светлые точки или пятна, соответствующие дефектам, аналого-цифровой преобразователь 15 обрабатывает лишь сигналы уровня, соответствующего белому полю. Количество единичных перемещений электронного луча в строке и количе" ство строк определят координаты дефекта, которые в двоичном коде передаются н блок 16 вычисления координат. По окончании вычисления дефектных полей Формирователь 9 сигналов управления отключает осветитель 10 и, получая информацию о местоположе» нии дефекта от блока 16 вычисления координат, при помощи приводов 7 и 8 устанавливает платформу 5. таким образом, чтобы луч квантового генератора

1, проходя через фильтр 2, диафрагму

З,объектив 4 и отверстие в зеркале

12, по»ал на дефект фотошаблона 7 в соответствии с соответствующими координатами.

Контроль местоположения фотошаблона, установленного на платформе 5, осуществляется при помощи датчика 6, информация с которых в виде импульсов поступает в блок 17 сравнения, где происходит сравнение текущих значений координат с данными из блока 16 вычисления координат. При совпадении численных значений с блока 17 сравнения в формирователь 9 сигналов управления подается команда, по которой включается оптический квантоный генератор 1, излучающий импульс света, засвечивающий слой фоторезиста на Жотошаблоне в месте дефекта. Таким образом, в результате отработки

1 1379763

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к устройствам для автоматической рестанрации фотошаблонов н процессе фотолитограс, фии.

1(е» ь изобретения — повышение качества реставрации Фотошаблонов.

На чертеже приведено устройство для реставрации фотошаблонов. 10

Устройство для автоматической реставрации фотошаблонов содержит оптический квантовый генератор 1, связанный через оптический фильтр 2, диафрагму 3 и объектин 4 с платфор- 1г мой 5, выполненной с датчиками 6 перемещения и с нозможностью перемещения по двум координатам и связанной через первый 7 и второй 8 приводы с формирователем 9 сигналов управле- 20 ния, первьп» выход которого подключен к осветителю 10, сопряженному через оптическую систему ll с платформой

5, а второй выход — к оптическому квантовому генератору I. Кроме того, устройство содержит расположенные на оси излучения оптического квантового генератора 1 зеркало 1?, выполненное с отверстием в его центре и располо+cI»IIoe под углом сорок пять градусов ЗО к осям излучения оптического квантового генератора 1 и оптической системы 11, блок 13 оптической фильтрации и передающая телевизионная камера

1ч, а также последовательно соединен/ ные аналого-цифровой преобразователь

15, блок !6 вычисления координат и блок !7 сравнения, подключенный входами к датчикам 6 перемещения и выходом к первому входу формирователя 4п

9 сигналов управления, второй вход которого соединен с выходом блока 16 вычисления координат. При этом передающая телевизионная камера 14 подключена информационным выходом к 45 входу аналого-цифрового преобразователя 15 и синхронизирующим входом к синхрониэирующему выходу формирователя 9 сигналов управления.

Устройство работает следующим об- бб разом.

Реставрируемый металлиэированный фотошаблон 7 с заранее нанесенным слоем фоторезиста устанавливают на платформе 5. По команде оператора с формирователя 9 сигналов управления устройство подготавливается к работе, устанавливая платФорму 5 в исходную точку и обнуляя блок 16 вычисле1379763

В случае наличия дефектов типа "недотрав и аналогичных им "островки"

Использование изобретения позволяет значительно повысить качество реставрации фоташаблонов в процессе фотолитографии.

Составитель В.Добровольский

Техред А. Кравчук Корректор М.Пожо

Редактор В.Данко

Подписное

Заказ 980/49 Тираж 442

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r, Ужгород, ул. Проектная, 4 информации о дефектах в кадре и соответственно по всему полю фотошаблона фотореэист будет засвечен в местах дефектов с точностью диаметра светового пятна от луча в соответст» вии с картой дефектности, сформированной блоком 14 оптической фильтрации.

В результате последовательной засветки на фоторезисте формируют картину дефектности фотошаблона. В дальнейшем проводят химическую обработку фоторезиста и напылением металла получают отреставрированный фотошаблон. максирующего покрытия испаряют лучом оптического квантового 1 енератора 1, предварительно выведя оптический фильтр 2. Причем вычисление координат дефектов происходит аналогично, как н для случая дефектов типа пр кол".