Вакуумный прогреваемый затвор

 

Изобретение может быть использовано в прогреваемом вакуумно-технологическом оборудовании Цель изобретения - уменьшение мощности, массы и габаритов элект.ромеханизма привода тарелио При своем перемещении шток 8 перемещает обойму 4 с тарелью 6 до соприкосновения металлического уплотнения 7 с седлом 3, Кольцо 17 поворачивается, и его выступы оказываются напротив обоймы 4 и выступов корпуса 1, При дальнейшем движении штока 8 выступ 19 своей площадкой давит на роликоопоры 11 рычагов 9 Последние передают усилие тарели 6, Выбирая длины плеч у рычагов 9, можно получить выигрыш в силе v в 20 раз и соответственно уменьшить усилие на шток 8о При этом обойма 4 удерживается кольцом 17 от перемещения в вертикальном направлении под воздействием со стороны роликоопор 12 рычагов 9, 1 3 о П о ф-ЛЫ , 2 ил а 5 (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН ц11 4 Н 01 1 5/02

OllHCAHME H3OBPETEHHR

H А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4015806/24-21 (22) 22.01.86 (46) 15.05.88, Бюл. N 18 (72) М,И.Дмитрук (53) 621.646 (088.8) (56) А.Рот. Вакуумные уплотнения.

М.: Энергия, 1971, с. 388, рис. 6.96.

Пипко А.И., Плисковский В.Я, Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1970, с. 123, рис. 4-14. (54) ВАКУУМНЫЙ ПРОГРЕВАЕ1ю1Й ЗАТВОР (57) Изобретение может быть использовано в прогреваемом вакуумно-технологическом оборудовании. Цель изобретения — уменьшение мощности, массы и габаритов электромеханизма

„,Я0„„1396172 А1 привода тарели. При своем перемещении шток 8 перемещает обойму 4 с тарелью

6 до соприкосновения металлического уплотнения 7 с седлом 3. Кольцо 17 поворачивается, и его выступы оказываются напротив обоймы 4 и выступов корпуса 1. При дальнейшем движении штока 8 выступ 19 своей площадкой на роликоопоры 11 рычагов 9, Последние передают усилие тарели 6.

Выбирая длины плеч у рычагов 9, можно получить выигрыш в силе в 20 раз и соответственно уменьшить усилие на шток 8, При этом обойма 4 удерживается кольцом 17 от перемещения в вертикальном направлении под воздействием а со стороны роликоопор 12 рычагов 9.

1 3 рп,> ф-лы, 2 ила

1396172

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для использования совместно с вакуумными средствами откачки в прогреваемом вакуумно-5 технологическом оборудовании для производства и пооперационной диагностики изделий микроэлектроники, обработки изделий s сверхвысоком вакууме, в технике физического эксперимента и др.

Целью изобретения является уменьшение мощности, веса и -габаритов электромеханиэма привода тарели путем уменьшения усилия на шток при уплот- 15 ненни тарели относительно седла, На фиг.1 изображен затвор, разрез; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.

Вакуумный прогреваемый затвор содержит корпус 1 с боковым патрубком 20

2 и седлом 3. Внутрь корпуса 1 вставлена обойма 4 со шлицами 5 по наружной поверхности, которыми она входит в зацепление с выступами на внутренней поверхности корпуса 1. В обойме 25

4 размещена тарель 6 затвора с металлическим уплотнителем 7. Шток 8 связан с тарелью 6 посредством рычагов 9.

Рычаги одним торцом входят в соответствующие уступы обоймы, а другим 30 контактируют с гранями выступа 10 штока 8. Каждый иэ рычагов снабжен тремя роликоопорами 11, 12 и 13. С обоих торцов на обойме 4 установлены верхнее 14 и нижнее 15 опорные кольца. В нижнем опорном кольце 15 размещены пружины 16. В выточке корпуса 1 размещено поворотное кольцо 17 с .выступами, аналогичными выступам в корпусе 1. Поворотное кольцо может поворачиваться на некоторый угол за счет того, что оно шарнирно связано с тягой 18 электромагнитного привода, которая имеет фиксирующее устройство для установки поворотного 45 кольца 17 в двух положениях. Шток 8 привода тарели с одного конца помимо граненого выступа 10 имеет выступ 19, площадка которого контактирует с роликоопорами 11 рычагов 9. Роликоопорами 13 рычаги 9 контактируют с плоскостью тарели 6, противоположной по отношению к металлическому уплотнителю 7. В граненом выступе 10 штока 8 выполнена резьба для опорного винта 20, который необходим для

55 связывания штока с рычагами 9 в осевом направлении. Шток 8 имеет ходовую резьбу, которой он ввинчивается в ходовую гайку 21, смонтированную на заглушке 22. Гайка 21 приводится во вращение электромеханизмом (электродвигатель с редуктором) 23, при этом вращение иэ атмосферы в вакуум передается через высоковакуумный прогреваемый ввод 24 вращения с сильфонным уплотнением, Вакуумный прогреваемый затвор работает следующим образом, При закрывании затвора электромеханизм 23 передает крутящий момент через ввод 24 вращения ходовой гайке 21, при этом шток 8 получает поступательное перемещение (шток 8 не может вращаться, так как обойма 4 связана шлицами с корпусом 1, а шток

8 связан через граненый выступ 10 и рычаги 9 с обоймой, При своем перемещении шток 8 перемещает обойму 4 вместе с тарелью 6 по направлению к седлу 3. Поворотное кольцо 17 не препятствует этому перемещению, так как выступы, выполненные íà его внутренней поверхности, совпадают с выступами корпуса 1. После того как металлический уплотнитель 7 тарели 6 придет .в соприкосновение с седлом 3, включается электромагнитный привод, который через тяги 18 поворачивает кольцо 17 на такой угол, при котором выступы кольца 17 оказываются напротив пазов обоймы 4 и выступов корпуса 1. При дальнейшем движении штока

8 выступ 19 штока своей площадкой давит на роликоопоры 11 рычагов 9.

Каждый из рычагов 9, действуя как рычаг II-го рода, через роликоопоры

13 передает усилие тарели 6, Выбирая из конструктивных соображений длины плеч у рычагов 9 (расстояние между роликоопорами рычагов в радиальном направлении), можно получить выигрьпп в силе примерно в 20 раэ и более. тем самым во столько же раз уменьшить усилие на шток 8. При этом обойма 4 удерживается поворотным кольцом 17 от перемещения в вертикальном направлении под воздейст-, вием со стороны роликоопор 12 рычагов 9.

При открывании затвора электромеханизм 23 приводит в движение шток

8 в обратном направлении и, воздействуя через опорный винт 20 на рычаги

9, снимает с них усилие, После этого включается электромагнитный привод, тяга 18 которого поворачивает пово1396172 ротное кольцо 17 на угол при котором выступы кольца 17 совпадают с выступами в корпусе 1 и пазами в обойме 4. При дальнейшем движении штока 8 через опорный винт 20 и рычаги

9 приходит в движение обойма 4 вместе с заключенной в ней тарелью 6.

Формула изобретения1О

1. Вакуумный прогреваемый затвор, содержащий корпус с боковым патрубком и седлом, тарель с металлическим уплотнителем, соединенную с редуктором 15 и электроприводом через шток, о т л и-. ч а ю шийся тем, что, с целью уменьшения массы, габаритов и энергопотребления за счет снижения усилия герметизации, в него введены обойма 2р со шлицами на внешней боковой поверхности, выполненными с возможностью взаимодействия с выступами, которыми снабжены внутренние поверхности корнуса и поворотного кольца, расположенного в проточке корпуса и шарнирно связанного с дополнительным электроприводом, снабженным фиксатором поворотного кольца, верхнее и нижнее опорные кольца, между которыми в обойме последовательно расположены тарели и рычаги, соединенные с граненым выступом, выполненным в нижней части штока, каждый из которых снабжен тремя роликоопорами, расположенными соответственно между тарелью и рычагами, между рычагами и обоймой и между рычагами и торцовой поверхностью штока, верхняя часть которого соединена с передачей преобразования вращательного движения электропривода в поступательное движение штока.

2 Затвор по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что передача выполнена в виде резьбовой пары.

1396172

A-A

Составитель О.Дикова

Техред Л. Сердюкова

Редактор Т,Юрчикова

Корректор М.Максимишинец

Заказ 2499/52 Тираж 746 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Вакуумный прогреваемый затвор Вакуумный прогреваемый затвор Вакуумный прогреваемый затвор Вакуумный прогреваемый затвор 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электровакуумной технике, а именно к устройствам, предназначенным для эксплуатации в условиях воздействия значительных динамических нагрузок на электровакуумный прибор (ЭВП)

Изобретение относится к производству электровакуумных приборов

Изобретение относится к светотехнической промьшшенности

Изобретение относится к э;1ектровакуумной технике и может быть использовано при изготовлении люминесцентных ламн W-образной формы

Изобретение относится к оборудованию вакуумных приборов и может быть использовано для герметичного перекрытия вакуумных объемов высокого и среднего вакуума

Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности к рентгеновским электронно-оптическим преобразователям (РЭОП) для медицинской и промышленной рентгенодиагностики и для научных исследований

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при создании индикаторных устройств для отображения знакографической и видеоинформации

Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности к рентгеновским электронно-оптическим преобразователям (РЭОП) для медицинской и промышленной диагностики, а также для научных исследований
Наверх