Ионизационный манометр

 

Класс 421, 12в.. сссп

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 172

Jl. П. Хавкин

ИОН ИЗАЦИО Н НЫЙ МАНОМЕТР

Заявлено 4 ноября 1960 г. за ЛЪ 684634/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» .% 17 за 1961 г

Известные ионизационные манометры, в которых ионизация газа осуществляется электронами, обладают недостаточной чувствительностью и измеряют давление не ниже 10 ",ям рт. ст. — 10 — м,и рт. ст.

Нижний предел измерений известных ионизационных манометров ограничивается наличием фонового тока коллектора, главной причиной появления которого является облучение коллектора мягким рентгеновским излучением, возникающим при торможении электронов в материале анода. Рентгеновские кванты, попадая на коллектор, выхватывают из него фотоэлементы, которые искажают показания манометра.

Для повышения чувствительности и расширения пределов измерения в сторону более низких давлений предлагается выполнение ионизационного манометра в виде электростатического анализатора, состоящего из двух обкладок цилиндрического конденсатора, в зазор между которыми вводится спабо расходящийся пучок электронов.

В предлагаемой конструкции манометра исключается облучение коллектора рентгеновским излучением анода, На чертеже изображена схема предлагаемого манометра.

В зазор между обкладками 1 и 2 цилиндрического конденсатора вводится слабо расходящийся пучок электронов. испускаемых катодом

3 и ускоренных электродом 4. Элсктроны двигаются по траекториям, близким к окружностям с раднусом1 1хЯ (RI и Rg — радиусы сооТветственно внешней и внутренней обкладок 1 и 2 цилиндрического конденсатора) и собираются на аноде 5. Внешняя обкладка 1 конденсатора разделена на две электрические изолированные друг от друга части, из которых одна является собственно коллектором ионов, а другая—

Р., электрод б — стянута центральным углом, равным 2 агс сов =, H

l, граничит с анодом б (но изолирована от него). № 141007

Внешняя обкладка 1 находится под отрицательным по отношению к аноду б и внутренней обкладке 2 потенциалом, и, являясь коллектором, собирает ионы, образовавшиеся в зазоре при прохождении электронного пучка.

Рентгеновское излучение анода б может попасть только на ближайший к аноду участок внешней обкладки 1 — электрод б и совсем не попадет на коллектор ионов. Следовательно, в цепи коллектора будет отсутствовать не зависящий от давления фоновый ток.

1ем самым возможно расширение пределов излучения в сторону более низких давлений (меньше 10 — 1 10,и,и рт. ст.) и повышение чувствител ности манометра.

Предмет изобретения

Иснизационный манометр, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и расширения пределов измерения от

10 — " ли рт. ст. в сторону более низких давлений, он выполнен в виде электростатического анализатора, состоящего из двух обкладок цилиндрического конденсатора, в зазор между которыми вводится слабо расходящийся пучок электровоз.

Составитель И. С. Сбитникова

Редактор А. К. Лейкина Техред А. А. Кудрявицкая Корректор Л. И. Самсонова

Формат бум. 70+108 /)g

Тираж 1055

ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский иер., д, 2/б.

Объем 0,18 изд. л.

Цена 4 коп.

Поди. к иеч. 2.1Х 61

Зак. 9783

I ипосрафия ЦБТИ Комитета по делам изобретений п открытий ири Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14.

Ионизационный манометр Ионизационный манометр 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике измерения глубокого вакуума в диапазоне давлений 10-4 - 10-12 Торри и может быть использовано при создании соответствующих вакуумметров

 // 323685

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность измерений давления в замкнутых объемах электровакуумных приборов путем уменьшения ионной откачки и десорбции газа
Наверх