Способ измерения толщин, например, пленок

 

№ 149230

Класс 42Ь, 12оз

42b, 12ю4

chic ri

1 " ". «о». °

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа № 1б4

Ф. H. Денисов

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИН, НАПРИМЕР ПЛЕНОК

Заявлено 3 октября 1961 г. за ¹ 746615j25 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 15 за 1962 r.

Способы измерения толщин, например тонких пленок,,известны.

Отличительная особенность описываемого способа состоит в том, что толщину пленки-образца определяют по соотношению одновременно измеренных наведенных активностей в пленке-образце и пленке-эталоне известной толщины, Такой способ повышает точность измерения толщин тонких пленок.

Сущность описываемого способа основывается на известной закономерности, связывающей количество радиоактивных атомов, образовавшихся при действии ядерных излучений на вещество, с количеством исходного вещества, т. е. с его толщиной при неизменных остальных параметрах.

Образец-пленка, толщину которой необходимо измерить, и контрольный эталон известной толщины, |изготовленный из того же материала, одновременно в одних и тех же геометрических условиях облучаются в пучке активирующего излучения (протоны, нейтроны,;-кванты). Толщина пленки определяется по отношению образовавшихся в результате облучения активностей в образце-пленке и контрольном ее эталоне.

После облучения активности образца и эталона пленки измеряются на одинаковых установках.

В случае использования для активизации пленок частиц большой энергии необходимо учитывать эффект выбивания активированных ядер отдачи из образца и эталона пленки.

Для этого образец и эталон пленки необходимо заключить между двумя фольгами, улавливающими вылетающие ядра отдачи.

При этом должна быть определена активность материала пленок. № 149230

Предмет изобр етения

Способ измерения толщин, например пленок, отличающийся тем, что, с целью:повышения точности измерения толщи и тонких пленок, измеряют одновременно наведенную активность в пленке-образце и пленке-эталоне известной толщины и по их соотношению определяют толщину пленк|и-образца.

Составитель описания М. A. Хесин

Редактор 3. А. Москвина Техред А А. Кудрявицкая Корректор С Ю. Цверина

Подл. к печ. 2.VI-62 г. Формат бум. 70Х108 /,6 Объем 0,18 изд. л.

Зак. 6746 Тираж 750 Цена 4 коп.

ЦБТИ Комитета по делам изобретений н открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6.

Типография ЦБТИ, Москва Петровка, 14,