Прибор для контроля глубины снимаемого слоя в процессе размерного травления

 

6010S edddfCkl6

Ссцивлисти Idckkl

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 2.VI l.1960 (№ 668920/22-2) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 14,1Х.1962. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 1 IX.1967

Кл. 42b, 12/03

48d>, 1/00

МПК 6 01b

С 23f

Комитет по делам иаобретений и dfkpblTNII при Совете Министров

СССР ф ф -: Я JJAl i, т Й ф

УЪ "89%i а

Авторы изобретения

Ф. Н, Николаев и В. В. Каплина

Заявитель

ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЛУБИНЫ СНИМАЕМОГО СЛОЯ

В ПРОЦЕССЕ РАЗМЕРНОГО ТРАВЛЕНИЯ

Из i. стны приборы для контроля глубины

cHHv, acitot o cJtos L npoUecce размерного Tp avления, состоящие из неподвижного магнитопровода с катушками и подвижного якоря, связанного с измеряемым объектом и расположенного между сердечниками катушек. Измеряемая этими приборами величина ограничена пределами допустимого перемещения якоря между сердечниками катушек.

Предложен прибор, в котором электромагнит датчика связан с электродвигателем при помощи микрометрического винта. Это обеспечивает восстановление баланса моста и измерение больших глубин травления.

На чертеже приведена схема предложенного прибора.

Он включает в себя два основных узла— измерительную головку 1 и пульт 2.

Измерительная головка состоит из индуктивного датчика — подвижного магнитопровода 3 и сердечника 4, катушек 5, микровинта б, электродвигателя 7 с редуктором и измерительного наконечника 8. Последний механически связан с сердечником 4 индуктивного датчика, а подвижной магнитопровод 8 укреплен на микрогайке 9, которая перемещается по микровинту б при вращении его от электродвигателя 7.

Принцип действия прибора основан на схеме самоуравновешивающегося моста с применением индуктивного датчика.

При измерении глубины стр авливаемого слоя металла измерительный наконечник 8 опускается; при этом в электронном мосту, состоящем из двух катушек 5, индуктивного

5 датчика и двух сопротивлений 10, нарушается равновесие. Импульс от разбаланса моста через усилитель, расположенный на пульге 2, подается на электродвигатель 7, который начинает вращаться и перемещать связанный с

10 ним при помощи микрометрического винта электромагнит индукционного датчика, и мост автоматически уравновешивается.

При вращении электродвигателя также перемещаются щетки электроконтактной группы

15 11, которые замыкают определенные контакты и на шкале пульта 2 загораются лампочки, указывая глубину замера.

Предложенный прибор позволяет измерить глубину травления до 4 ям, а увеличивая дли20 ну микрометрического винта, можно увеличить и глубину замера.

Предмет изобретения

Прибор для контроля глубины снимаемого слоя в процессе размерного травления, состо25 ящий из индуктивного датчика, электронного саморегулирующего моста, измерительного стержня и редуктора, отличающийся тем, что, с целью восстановления баланса моста и измерения больших глубин травления, электро30 магнит датчика связан с электродвигателем при помощи микрометрического винта.

Гоставителв Г. Григоренко

Редан)ор В. П. Липатов Техред T. II. Курилко Корректоры: Е. Ф. Полионова н Н. И. Быстрова

Заказ 2 01/3 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комите а по делам изобретений и открытий при Совете Ми истров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2