Интерферометрическое устройство для измерения угловых перемещений объекта

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности. Пучок излучения от источника 7 падает на светоделитель 3 и разделяется на два потока. Один поток повернут на 90® и падает на отражатель 2 и через линзу 9 попадает на фотоприемник 10. . Другой поток проходит через полупрозрачный слой и падает на светоделитель 3, отражаясь от которого,падает на фотоприемник 10, где образует интерференционную картину совместно с первым потоком. Полученное изображение считывается в блоке 11. При полном обороте объекта отражательная поверхность светоделителя 3 должна оставаться перпендикулярной к отражательной поверхности отражателя 2. Это условие сохраняется за счет применения трехдискового планетарно-фрик- .ционного механизма. Диск 6 и отражатель 2 жестко скреплены с неподвижной осью 12. Если объект повернуть на какой-то угол, то диск 5 повернется вокруг своей оси на тот же угол,- в том же направлении, компенсируя угол разворота объекта. 1 ил. СО

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН дц G 01 В 11/26

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4114 705/24-23 (22) 2.06.86 (46) 23.07.38. Бюл. Р 27

: (71) Владимирский политехнический институт (72) А.С.Медовиков и P.Ì.ÍèãàìàòüÿíoB (53) 531.715,1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 697809, кл. G 01 В I1/26, 1979. .(54) ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности.

Пучок излучения от источника 7 падает на светоделитель S и разделяется на два потока, Один поток повернут на

90 и падает на отражатель 2 и через линзу 9 попадает на фотоприемник 10..

„„SU„, 1411577 А1

Другой поток проходит через полупрозрачный слой и падает на светоделитель 8, отражаясь от которого, падает на фотоприемник 10, где образует интерьер енцио иную кар тыну с овмест но с первым потоком. Полученное изббражение считывается в блоке 11. При полном обороте объекта отражательная поверхность светоделителя 8 должна оставаться перпендикулярной к отражательной поверхности отражателя 2.

Это условие сохраняется эа счет применения трехдискового планетарно-фрик.ционного механизма. Диск 6 и отражатель 2 жестко скреплены с неподвижной осью 12. Если объект повернуть ф на какой-то угол, то диск 5 повернется вокруг своей оси на тот же угол, в том же направлении, компенсируя угол разворота объекта. 1 ил.

1411З77

50

8ИИИПИ Заказ 3643/36 Тираж 630 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике.

Целью изобретения является повы;шение точности.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Интерферометрическое устройство содержит основание 1, отражатель 2, алидаду 3 с отверстием, установленную соосно с отражателем 2, трехдисковый планетарно-фрикционный механизм с дисками 4 - 6, в диске 5 выполнено отверстие для прохождения излучения, источник 7 монохроматического излу- 15 чения, светоделитель 8, линзу 9, фотоприемник 10 и блок 11 обработки информации, установленные последовательно в потоке от светоделителя 8 на диске 6, неподвижную ось 12.

Устройство работает следующим образом.

Пучок излучения из источника 7 па дает на светоделитель 8 ч разделяется 25 на два потока. Один поток после выхода из светоделителя 8 повернут на 90 и падает на отражательную поверхность отражателя 2 и после отражения от нее проходит через полупрозрачный слой 30 светоделителя 8, затем через линзу 9 попадает на фотоприемник 10. Другой поток проходит через полупрозрачный слой, падает на отражательную поверхность светоделителя 8, отражаясь от которой, падает на фотоприемник 10, где образует интерференционную картину совместно с первым потоком. Полученное изображение в виде чередующих- . ся светлых и темных интерференционных полос считывается с помощью блока 11, Оптическая разность хода d при повороте является функцией угла поворота с = d +2btgg r, где с1 — минимальная разность хода, которая соответствует началу отсчета 0;

r — - радиус отражателя; — угол поворота;

Ь вЂ” максимальная высота усеченного цилиндра, т.е ° изменение разности хода должно соответствовать некоторому значению измеренного угла, При полном обороте объекта (не показан) отражательная поверхность светоделителя 8 должна оставаться перпендикулярной к отражательной поверхности отражателя 2. Это условие сохраняется путем применения планетарно-фрикционного Механизма, который состоит из трех дисков 4 — 6 с равными диаметрами. Диск 6 и отражатель 2 жестко скреплены с неподвижной осью 12. Если объект повернуть на какой-то угол, то диск.5 поворачивается вокруг своей оси на тот же угол в том же направлении, компенсируя угол разворота объекта.

Формула и зоб р ет ения

Интерферометрическое устройство для измерения угловых пер емеще ний объекта, содержащее подставку, алидаду, предназначенную для скрепления с объектом, и последовательно расположенные источник монохроматического излучения и светоделитель, делящий излучение на два потока, в одном из которых расположен отражатель, в другом - последовательно расположенные линза, фотоприемник и блок обработки информации, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, оно снабжено трехдисковым планетарно-фрикционным механизмом, установленным на алидаде и выполненным с отверстием в центре на внешнем диске для прохождения излучения от источника, отражатель выполнен в виде усеченного цилиндра, на поверхности которого, обращенной к алидаде, нанесено отражающее покрытие и установлен соосно с ней на подставке светоделитель, выполненный с одной гранью, неперпендикулярной основанию, на которую со стороны, противоположной источнику, нанесено отражающее покрытие, а источник излучения и светоделитель установлены на внешнем диске планетарного механизма.