Устройство для управления током электромагнитной линзы

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК йи 4 H О! J 37> 302

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3нeveee упра5пение

Вн упра

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 3849367> 24-2! (22) 31.01.85 (46) 07.08.88. Бк>л. ¹ 29 (71) Сумское прои (во ьственнос ооъелинение «Электрон» (72) В. И. Удальцов, В. Г. Копылов, Г. 1. Kkkсель и О. A. Брюханова (53) 621.387 (088.8) (56) Лвторское свилетс.(ьс(во (.О.Р

¹ 1050009, кл. Н 01,1 37>! 1, 1982.

Авторское свилетсльство Японии

¹ 58--16745, кл. H О! J,3 7,>! О, оих блик.

1()83. (54) (57) устРорктво для у11Рлвл1-:НИЯ ТОКО>Ч ЭЛ ЕКТРОМЛ ГН ИТНО11

ЛИНЗЫ, солерж а гцее счс тны и блок в;о,(ы которого соединены через блок реверса с выхс>дом генератора ичнульсов, а его выхол соедин H с входом цифроаналоговое<> преобразователя, иолсоелиненного к эл«ктрочагнитной линзе чсрез усилитель чоцн(ости. пт„„SU„„1415270 А 1 л(ча(о((3ее(я т«ч, что, с целью повышения быстролей(твия и эффективности правления. устройство снабжено формирователем адр < à слова, дешифратором, блоком klpoI рамчируемого постоянного запоминаю(цего устройства (11ПЗУ), коммутатором параллельных кодов. цифровым индикатором и блоком управления, причем первый вхол коммутатора параллельных кодов соединен с вторыч выходом счетного блока, второй вход коммутатора параллельных кодов соелинcн с выxî kîì блока ППЗУ, третий виол

k <>чмуTàT(>ðà нарdëëåëьныx кодов соединен с дсшифратором, вход которого соединен с вхолоч бгн>ка ПГ13У и с выходом формировате IH алреса слова, а выход коммутатора нараллельньь кодов соединен с вторым вхолоч цифроаналогового преобразователя и с kft. рным входом цифрового индикатора, второй вх<>л которого соединен с первым входом счсkkk(>l<> блока, и блок управления соедин(tl с вторыч в;одом блока реверса. (4(5270

Изобретение с>тноси г(я к 3. Сктронш>-1vчевой технике, в частности к 3лектронной микроскопии, и л(ожеT быг., и IIO;ILBÎH3i10 в при борострс>итс льный Il p» I I II(!3ñ н но«111 при

НрОИЛВодсTHt llpkf00pOH, В КО(0!)ЫХ НрИМЕННются -лектрс>магии ные линзы д.lH фокус» ровки злектронных !!учков.

Цель изобретения повыш li»t) быстр >действия и зффскгивности l llp3Bëåíèÿ ток< ы

3ЛЕКТРОМ с(I EI ИТНОИ;(И I! 3Ы >с! (. ЧЕT ((P(. ДВЗРИ (Î телы!Ой обработки режимов, занесения информации ОО 3! их режи(!1!.

I I3 чер It жс,(HE:3 <,ем;1 Ilp(.,, л;! г;1(х< >! устройства.

> (.ТРОИ(. i HO < О (< р+ И I rf!0(>r) ilfii>E><11(,)1 аДРЕС3 СЛОВа, IIP(.(tlc! ЗН !СННЫИ ДЛЯ фо, >li!P(>H3 Н И Я 1 (Р(<.

20 програмыируеы<» <: !«)с(()5(ННО! it!I щего устро!!с <»> i (11(,fÓ), д«шифра 0;!

If Pt .(Н!) Ы .!P<>Hd tiki H < I! > I I, I r>

06<. (IIPЧ И Всl К)ill! < > < (it I 1!<) It lli!t СТ3 (> III!I x разря(ц>В ко i»fi 1с>к;! и 6.1(>кс комыу i31(iill II)(- 25 ра1ГIСГ((ных кодов, 6.10K . 3 н(«(;! ы Миру < х1;> ()

il0i. T0ß II I!0 1 О .f Jk II<1(<) II («. > <Три k. i н;! (П(1 ЗУ), llðå.(llclзнiiче»íûè (,I!i ла()н I! и

Л.I JIT(. I t>1101 0 > f)ii EIO kl>! и KO () В < >К :, ((i(i! i ствуюн(их (анрограы ы и ронин:II)I I р(,+,и )1 (1 хi работы зл )Kl рс)м;!! Ни 110k! ll!t!:3»i, It н(j ..! I >р

4 ИЫНуЛ},С >В. I редиазиа» ll!Il)lrl (IH Ф )(Ы i f>i>Hd НИЯ ИЫ (1ЫГ! I

СЛЕ IOBcitii.(:,)):)

СКОРО Ti) r! <Ы(k (tiki>i (,<>;,! Ii (II,»! 6Л«1,, 6ЛОК 5,)t Н< «С . !,p .i, l,l i»,i ir I«!:.I:< .1;

K. IK)rl<. !1»5! I » < lIii

В<о,i()I3 (1(li!i» (> r>«,> I) K ILI!>) It)t ()H )(I li. <> ) ). ):), () ) ) (

Н Ы Й ДЛ и 0 !) М Г > В 1!< :! 1) (.

Kd, блок < у.l H! < <

ФОРМ HP0133(l .., <. : r.. . :f

5 реH(.pp <3;<>р . Ilj)r

f1 3lH .(Гl!l .«! I. I r>i:» ) ) !< i!i,>) тока, !I<)<. Гу I . !<)!1.

Ilpt Обрал»В;11«.!ь коы ыу!1! Г<;;

НЫ Х K<>.(<)I« j < lie!,»<1<«:I:lit)l! .

Ч IIH 5(С 1 и () l I! И Х Рс>:< РЯ)(ОВ КО ГРОМ 3! и И . НО .1,1!1! I 31)!, i(i« > Р< I i !) (>. I<)i < 3!)! !r 1! f (06j)3лОВ:!с.!! (, ИР. (Ii;I <113 >сi!11(

06 ралон;! tl »51 ))i>.(ii I r )K;> н;! t! i, 10, »Hi Ill Piil ll, 1, усн.i Г! С,<Ь ! 1(ri!,НОС: I, !Iрс.lii(> <нн»«(!Н!!И для <,<.Нлени:I ií;!,K>, 0)H» <> и II;I.lil, 3,!<>ктр»- 50 <1 3 I ll11 1 Н 3 10, Il! Ii < ) I, il jrt, () I <»)! IX K i!, 1! ри Ir )3<

lit. (> B k>I k < B < (> . (К r > 1 Ы, ! : ; i t >, r . > Н ; ! ) ; ) . (. ) . ! Ь Х ко;(ОВ С<>с.)ин(ll С ВГ<>(><(М (>ых! (ri > < 1<,11<»

0 1OKc! E). ВТ(.p01! !3>< (КОЫ <)(Х I !! 0 f! -! .> I! «(>, 1,1.1(. .<Ы!Ы> КО OH «>С,(>< i!i. !i !31) X . .I <>,(ОК;!

I1l1ЗУ, (регий (>х<).(i>t!,!),! <)f)d

Л< lf>III)IX h0,((>13 (>t li!Iit i ". !>. )>1 .; !! !Ii(>.

p3iОр3 2, Вход которого соединен с входом блока 3 ППЗУ и с выходом формирователя

1;!дреса сло(33, а выход коммутатора 9 параллельных колон сое(инен с вторым вхо,(< м цифроаналогово!О преобразователя 10 и с первым входох(цифрового индикатора

Гс, HTOðîé вход которого соединен с первым

Вхс>дом цифроаналогового преобразователя

1(! и с первым выходом счетного блока 6, ;1 бл< к управления соединен с вторым вхо(<>ы 6.10К3 5 реверса, В сод K010pOI о соедиI!PIE t I åJ3åð3Top0÷ 4 импульсов, а первый и н(<>(»й Выхс)ды но.коединены к входам счез гн» О блс>к;! 6, выход ((kf(pp03if3;to(.oBof.o вр»<)6p:!л»ватсля 10 через усилитель 11 мощносl i! !!Одс(it,(èípti к злс к грс)магнитнс>й линзе 12

Уt Гр<)й(тво р;>ботает (ëPäótoföèì обраj<>Ì.

I p!(ера гор (иы!(у !ьс>и3 формирует им>3.II)< ы, часго(;> ",!Сдов;1»ия которых может х(«нят()ся H 3i< иыс>сти 01 выбранной скоp0t ти i! <ыенения кода H ..счетном блоке 6, ;!о В конечн<>ы игогс !!риводит к большей и.!и ы ншпеи скор< и изменения тока в ,.lt к(роы(>, ни гной линзе 12. Импульсы от гер < р;> 4 1 !<)(I I пают на блок 5 реверса

;ннисиы<>сти 01 сIO .Остояния подаются

", Мы»рук)щий и.!и Вычи гак»ций вход счетбл(к;1 (), 13 котороы нроисхо (HT заномиi«iiil < к >»ц> тока нос.i(llj)pKðdùpfièÿ подачи

<1;! < I <> (<ход(!..ЦГ>;1,(<ние разряды

IIiIp,i. I.,,ll ii0ã<> Вы. о (i! с -и i ного Г ioKd 6 coe.(i! iIi Н! 1 Н< lliii. P(.I(Òlk(. li JIO С СOOT BPTPТВХК)ЩИ— i!< н,)).1;>ми цифр(>аналог<>HO! о нреобразова-! . !я li!,i цифровог(, индикат(>ра 8. а стар< ) c! I. it,ii)!!HI » i3l)lХ0 (3 СЧСT<>, <>К;! !»»ОСГ. Ilc!K) На КС>МЫУтатС>Р 9 (ц f>,;. !, <(. Il)if!)!. K<>д»: (ii н !ор<)й вход коыму>1,>рада !<и!ых кодов подается на.. „<ыи Kс)д о-. 610Kcl, 5 ПИЗУ. > K<1Û r )< >;!;! >< Т1, !> <<(113110 È,10< ТИ О Г СОСТ()Я»;1 « il! ii i(> Р,>Т< )!)<1, (10 (3 К»Ц<. 0 (H f H3Ë Hd

ii )<>д к(:313(у Г 1! (rcl 9, II< ИИф!)03НЗ.IO

"« „ ;, »3)< !ь 1) !<,и(>(>рс>вой инди-! ((><. .> ) 1<., i: ii! . i. I(, !< I!Hi И Код И 1И ОТ, 1!И>< 0 <)i >к; 6 .„Iki <>т блок, 3 ППЗУ. ! .:;>1 j> и;: > .."I< ..1; ка ) 1!ПЗУ осуI t H 0. I .(<, l<»lIH,1 Образом. Сначала ,» 1<> ;r I! I« r»<ÒO,> (Jlr: I! t 3üñΠ6.1ока !

, t Ht () с (1 < l \ Г н 01 (> О.! I (> к 3 E ) н р и От к.1 lo ÷ р í ном

;(» )1, r f!310 )i< 2 с)лс>ке 3 I I!!ЗУ .и I («le!.!Овк>! Bt(tх I!(.Облодиыых perf .«, )H j) > l!,II ".зь>. (си<(>р< Вые данные о

<>»,К, (> I) < (>(с ., <> Сi <>Ir (»Ii Гt I HÇI<)Tt Я С ЦИ(!)Ро.

>3< I > индика Ор;! <с l< !iрыа (ии;!роисхо.(ит tip<)l раммироH;»IH< слов В 6л<»сс 3 I (I (3 .> . Позтоыу, если и): > Верн; ГI я к одн >ыу из занрограымиО ><;;>1»1«>. pt. жим н, 1(>от линлы, достаточ;! > с II<>!I(»l.rьlo форыиронл г«ëÿ 1 3, (påñ3 сло(<3 с,(,<>рмиро!3(111, и:(рес слова B блоке ! t t j3>, tt .3(1!(исаl! KO,(ГОка, сойтветствУю::i!i (31!()р(>нн»Г(у р, (ил(у работы злектро14! 52/ !) (. (> е ;i is it T t. .. . I t "1 . к

Рs.i st. t ts;i (t !»ии;« < е;ре)! И Ht I>(i К р! к:,:t (> h;s,) ниии,.

5,ti;;;) Зк t 1, 4 и раж 74Н (! иtti

I3f! I II II! lI I >s,t t s (и ttlsrst ) t, Ри) tit«t:и tt,!it ..! 4 1 ! (Р(и«).:s i.<е):ss tttt(: itis ttt р,:Фи (екие иг1! its.; » t ; ии I (!и е,): ич 4 магнитной линзы 12. !(ри этом ц(цифратор

2 выдает сигнал на коммутатор 9 нар,)ллельHhIx коlof3 о 1;одключении к цифроаналоговому нреобразоват«лн> 1(! блока 3 11(!ЗУ и отключении второго Выхода счеTIi()10 блока

6. Таким образом, на входе цифроаналогов<го преобразователя 10 формирук)тся старшие разряды кода тока. С помощьк> мла.iших разрядов кола тока, ностунакицих непосредственно от первого вы хода «««r 1«>1 блока 6, можно нри необходимости производить точную установку или подстройку llpof раммируечых режимов работы элсктромагнитнои линзы 12. Цифроаналоговый нрсооразователь 10 производи.г нреобрd sofsание цифрового сигнала кола тока в аналоговый сигнал, который затеч i Hëèâ(I«T«ÿ уси IHтелем 11 мощности и подастся на электромагнитную линз 12.

Таким образоч, нре lзагаемое устройсгво обеспечивает максимальное быстро )(йствие нри установке любого запрограммированного режима работы, так как вр«чя установления режима онрел(лястся быстролейстВием цифроаналоГОВО1 0 Ilp(Ooр(l 3013(IT«, IH 1 О и $«H.

ТОГО, И НфОPIs! а ЦИ Я О PЕ>f(ИМ ах, За I ИС(i l(иd Я В олоке 3 Г!Г13У. не требует f)oc«T;311013,1«ния после повторного включения питания, так как сохраня«тся H блокс нри отклк)чении IIH тания. Точность установки режима эл«ктромагнитной ли) зы 12, и значи Г, и точность 110f3 торной установки p(жима определяются количествоч разря (013 в цифроаналоговом lip(образовател«1(), которые ВыволятсH на ни<1>ро13ои индикатор 8 для Визх альноГО hOIITро, 151 ко(а тока, н<)ступающего íd цифроана.ии оHI IH нреобразоватсль 1(1.,1ля больш«и эффективности унравления током элект )Oxfdlнит)ц>й линзы 12 часто необходимы лин;)мич«ски(или II«ри<>дич«ски повторяю)циеся р«жимы работы. Эти режимы работы (н)«сп«чиваются ввел«ниеч в устройство блока унравления, который форчирует ffcpHO,)Hч«скук) 1н>слеловат«ль(н>сть импульсов, Ildрачетры котор<)й задаются оператороч, Ilo.f15 клк)чаю(цим к г«нс ритору 4 через блок 5 реверса суммирующий или вычитак)щий

Входы счетного блока 6. Такич образом можно сфорчировать любой динамический р»жич работы э.lс ктроч а! Нитной линзы 12, причеч амнлитула колебаний тока при неизченнblx временных интервалах зависит от частоты еле.ц>ва н ия им пульсов на выходе

I(ffåpfI ãoðà 4 Ix11!xльсof).

1 1«IIO, f ÜÇOI)d НИ(Н!)(л за Га(. МОГО X «TpOH TВа 13 эЛЕКтрОННЫХ М И КрОСКОНа Х НОЗ ВОЛ яЕT значительно повысить производительность исследований иутеч повышения быстрол«йстHHH и эффективности x llpd В l«ни я Гокоч элскт(;оча<ни гных линз rë HTp()1!Ilo-о<ггич«сКОй (H«T«ЧЫ