Способ получения тонких пленок нитрида алюминия

 

Изобретение относится к технологии тонких пленок конкретно к получению пленок нитрида алюминия толщиной до 10000 Д. Целью изобретения является упрощение способа и повышение производительнопи при сохранении сплошности пленки. Способ осущеавляют следующим образом: диэлектрическую подложку с тонким слоем алюминия помещают в рабочую камеру заполняемую азотом высокой чистсты до давления выше атмосферного; подложку с алюминием прогревают при температуре не более чем на 5 - 10°С ниже температуры плавления алюминия в течение 10 -- 12 мин, после чего температуру позы.1иют до 1200 1250°С и выдерживают 5-10 мин 1 табл

() т (1Ц )d>- 1::y PÖ (51) 5 С 23 С8/24

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВедОмстВО сссР (ГОсттАтент сссР)

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4163489/02 (22) 19.12.86 (46) 30.1293 Бюл. Ма 47-48 (71) Институт высоких температур АН СССР (72) Кириллин АВ„Костановский АВ„Жиляков ЛА (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК

НИТРИДА АЛЮМИНИЯ (57) Изобретение относится к технологии тонких пленок конкретно к получению пленок нитрида алюминия толщиной до 10000 А. Цепью изобретения является упрощение способа и повышение производительности при сохранении а лошностн пленки. Способ осуществляют следующим образом: диэлектрическую подложку с тонким слоем алюминия помещают в рабочую камеру, заполняемую азотом высокой чистсты до давления выше атмосферного; подложку с алюминием прогреваю при температуре не более чем ча 5 — 10 С ниже температуры плавления алюминия в течение 10—

12 мин, после чего температуру повыл ют до 1200

12500С и выдерживают 5 — 10 мин. 1 табл.

1415804

B-зрилла . (емперат о6?0

630 зог.р": ение относится к технологии

;:.;<и. пленок. конкретно к получению пленок нитрида алюминия толщиной до о

10000 А.

Целью изобретения является упрощение способа и повышение производительности.при сплошности пленки, Реализация способа беэ использования специального, сложного физического оборудования обеспечивает упрощение способа; режимные параметры (температура. время) обработки тонкого слоя алюминия на диэлектрической подложке ускоряют процесс образования пленки, сохраняя ее сплошность.

Предлагаемый способ получения тонкой пленки нитрида алюминия осуществляется в следующей последовательности: диэлектрическая подложка с тонким слоем ал дминия помещается в рабочую камеру. заполняемую азотом высокой чистоты до давления выше атмосферного; подложка с алюминием прогревается при температуре не более, чем на 5 — 100C ниже температуры плавления алюминия в течение 10-12 мин, . осле чего температуру повышают до 1200 ".:0 С .1 эыд. рживают 5-10 мин.

Результ:-.ты исследований по нагреву

:эп1, >г ой по,1ложки диаметром 15 мм со о

: в:, .м элю,.пч,я толи,ин lA 7000 А в печи

1 Вг -, при "„агочем давлении аэст высокой

-; г.,о-ь. (99.999%) 1,5 атм (0,15 МПа} представлены В таблице.

Из а; лиза полученных результатов

: е,,уе-,, что опт..мапьными режимными параметрами для образования пленки нитрида алюм :ния является: 650"C t><660 С (t«AI), r 1-10 — 12 мин, т2=1200-1250 С,т z =5-10 мин, где t> — температура предварительного прогрева: t > — время выдержки при 1;

t2 — верхняя температура процесса: гг — время выдержки при 12.

Предложенным способом получаются прозрачные, сплошные пленки нитрида алюминия. обладающие хорошей адгезией с подложкой, Средняя скорость образова и ния пленки составляет 200-300 А/мин.

Предлагаемый способ получения тон15 ких пленок нитрида А!й по сравнению с известным позволяет испольэовать обычное, широко распространенное технологическое оборудование, обеспечивающее нагрев не выше 1500 С при величине давле20 ния азота, незначительно превышающем атмосферное. получать пленки нитрида о алюминия толщиной до 10000 А (e известо ном 400 А), со средней скоростью обраэовао ния 200-300 А/мин (в известном 10-15 о

А/мин), Кроме того, площадь получаемой пленки огр;ничена лишь размерами исход30 ного образца — диэлектрической подложки с напыленным алюминием. (56) Самсонов Г.8. Неметаллические нитриды, М., 1969, с. 153.

35 Физика и химия обработки материалов.

1984, М 3. с.50.

1415804

Продолжение таблицы

Формула изобретения

Составитель Е.Носырева

Техред М.Моргентал Корректор Н.Ревская

Редактор Н.Тимонина

Тираж ПодписноеНПО "Поиск" Роспатента

113035, Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5

Заказ 3466

Производственно-издательский комбинат "патент", г, Ужгород. ул.Гагарина. 1П1

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НИ1 РИДА АЛК)МАНИЯ, включающий нанесение слоя алюм хия на подложку и последующее азотирование, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и повышения производительности при сохранении сплошности пленки, азотирование ведут при давлении азота выше атмосферного путем ступенчатого нагрева с температурой пг.рвой ступени на 5 - 10 С ниже температуры плавления алюминия и выдержкой в течение 10 - 12 мин и температурой второй ступени 1200 - 1250 С и выдержкой в течение 5 - 10 мин