Способ получения нейтральных фильтров

Авторы патента:

КАРПЕНКО ГЕННАДИЙ ДМИТРИЕВИЧ

АНДРЕЕВ МИХАИЛ АНАТОЛЬЕВИЧ

ГУНДИЛОВИЧ МИХАИЛ ПЕТРОВИЧ

ЛАВСКИЙ ВИКТОР ВЛАДИМИРОВИЧ

СОЛОВЯНЧИК ЛЕОНИД АЛЕКСЕЕВИЧ

C03C17/06 - металлами (C03C 17/34,C03C 17/44 имеют преимущество)

С010З СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51) 4 С 03 С 17 ОЬ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 41 72464/29-33

f (22) 04. 01. 87 (46) 23.08.88. Бюл. Р 31 (71) Белорусское республиканское научно-производственное объединение порошковой металлургии (72) Г.Д. Карпенко, М.А. Андреев, M.Ï. Гундилович, В.В. Лавский и Л.А. Соловянчик (53) 666.1.056(088.8) (56) Фильтры нейтральные, РТМ 3-651-75, 1975.

Установка вакуумная. Модель ВУ-ХА.

Паспорт, альбом У 1, 1975.

„„80„„1418306 А 1 (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕЙТРАЛЬНЫХ

ФИЛЬТРОВ (57) Изобретение относится к оптике и может быть использовано для получения нейтральных фильтров. С целью уменьшения времени термообработки термообработку после нанесения на подложку пленки металла проводят в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью 2,0-10,0 Вт/см и давлекием кислородсодержащего газа 1 10

5 мм рт.ст. в течение 15-20 мин. Время термообработки уменьшается в ЬвЂ” ,8 раз. 1 табл.

i4i8ЗМ.

Давление Удельная газа, мощность, мм.рт.ст. Вт/см

Пропускание, %

Время обработ ки, мин

Исходный материал

Способ

Известный

Предлагаемый

120

10,0.

2,0

Изобретение относится к оптике и может быть использовано для получения нейтральных фильтров.

Цель изобретения вЂ” уменьшение времени термообработки.

Термообработка в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда, как и термообработка путем нагрева, приводит к образованию на поверхности металла защитной пленки из оксида металла толщиной 5-15 нм.Окисная пленка на поверхности металла предотвращает металл от дальнейшего окисления на воздухе, улучшает механическую прочность покрытия, а также увеличивает пропускание фильтра на

5-15%. При термообработке в ионизированной кислородсодержащей среде скорость окисления поверхности металли-ческой пленки увеличивается. Процесс окисления характеризуется стадиями хемосорбции и диффузии вглубь металлической пленки.

Способ осуществляют следующим об- 25 разом.

На подложку из оптического стекла (К8, ТФ и т,д.}, очищенную от загрязнений с помощью тлеющего разряда, наносят слой металла традиционным мето- З0 дом, например, термическим, электронно-лучевым и т.д. После нанесения пленки ее обрабатывают в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью . 2,010,0 Бт/см при давлении кислородсодержащего газа 1 10 мм рт.ст. в течение 15-20 мин.

Пример. На подложку из оптического стекла К8, очищенную от за40 грязнений в тлеющем разряде постоянного тока при U = 2,4 кВ, наносят пленку титана методом электронно-лучевого испарения. Контроль пропускания ведут IIo контрольному образцу и при контрольной длине волны 510 нм, пропускание составляет 60%. Затем покрытие обрабатывают в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью

10,0 Вт/см и давлении 1 10 мм рт.ст. в течение 15 мин.

Увеличение пропускания фильтра, связанное с образованием окисла металла на его поверхности, фиксируют спектрофотометрическим методом и составляет 12%.

Данные примеров осуществления предлагаемого способа с использованием разных материалов сведены в таблицу.

Из таблицы видно, что требуемое увеличение пропускания фильтров после термообработки (Ti 10-12%, Al 6-7%, Ni - 4,5%) получено предлагаемым способом за 15-20 мин, а не за 120 мин, как в известном.

Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с известным позволяет уменьшить время термообработки в 68 раз.

Формула изобретения

Способ получения нейтральных фильтров, включающий обработку подложки s тлеющем разряде, нанесение пленки металла и последующую термообработку, отличающийся тем, что, с целью уменьшения времени термообработки, ее проводят в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью

2,0-10,0 Вт/см и давлении кислородсодержащего газа 1 ° 10 вЂ” 5 мм рт.ст. в течение 15-20 мин.

До обра- После обработки ботки

1418306

1!родолжение таблицы

Пропускание, Х

Способ

До обра- После обработки ботки

120

10, 0

2,2

6,0

2,0

120

10,0

2,2

6,0

2,0

Редактор И. Дербак

Заказ 4125/26

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул, Проектная, 4

Известный

Предлагаемый

Известный

Предлагаемый

Исходный Давление Удельная Время материал rasa, мощность, обработ мм.рт.ст. Вт/см ки, мин

Составитель Г. Буровцева

Техред М.Моргентал Корректор M. Демчик

Тираж 425 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб,, д, 4/5

Изобретение относится к электровакуумной технике и может быть использовано при металлизации стеклянных колб, используемых, например, в производстве электрических ламп

Способ получения отражающего покрытия // 1390205

Изобретение относится к способу изготовления отражающего световое излучение покрытия, в котором отражающая поверхность обеспечивается путем создания тонкой металлической пленки

Способ металлизации изделий из диэлектриков // 1315407

Изобретение относится к способу химической металлизации диэлектриков и может быть использовано в электротехнической, радиоэлектронной и других областях промьшшенности для получения металлопокрытий

Состав для покрытия стеклоизделий // 1315406

Изобретение относится к стекольной промьшшенности, к составу для получения декоративных покрытий, рисунков , надписей на различных .стеклоизделиях (фототрафаретной печатью, деколью и штампом)

Способ нанесения покрытия // 1159273

Изобретение относится к приборостроению, преимущественно оптического, и может быть использовано при создании приборов, имеющих в своем составе детали, покрываемые пленками

Способ обработки подложки из ситалла // 1135728

Способ обработки поверхности диэлектриков перед химической металлизацией // 1123999

Электрообогревное устройство // 1073200

Способ получения стекла с фотохромными свойствами // 919286

Раствор для химического серебрения диэлектрических подложек // 891588

Способ формирования металлических нанокластеров в стекле // 2394001

Изобретение относится к технологии оптических материалов и может быть использовано в интегральной оптике

Способ получения стеклянной декоративно-облицовочной плитки // 2437851

Изобретение относится к производству стеклянной декоративно-облицовочной плитки

Способ нанесения металлосодержащих покрытий на крупноразмерные подложки в вакууме и установка для его осуществления // 2062818

Экзотермическое стекло и способы его изготовления // 2075537

Зеркало // 2083517

Изобретение относится к области оптических устройств, создающих оптическое изображение предметов, используемых в приборостроении, технике, медицине, быту

Способ получения декоративного изображения на стекле // 2049747

Способ получения светоотражающего покрытия // 1535856

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано в производстве источников света

Машина для нанесения многослойных покрытий на стеклопластины // 1606480

Изобретение относится к промышленности строительства и стройматериалов, а также к фотохимической и текстильной отраслям промышленности и может быть использовано для нанесения и сушки фотоэмульсионных и противоореольных покрытий на стеклопластины

Способ формирования серебряных наночастиц в стекле // 2509062

Способ формирования серебряных наночастиц в стекле относится к технологии оптических материалов и может быть использован в интегральной оптике и биосенсорных технологиях. Способ включает нанесение серебряной пленки на поверхность силикатного стекла, допированного церием, выдерживание полученной структуры при температуре 400-600°C в течение 2-10 часов, облучение структуры ультрафиолетовым излучением и последующее выдерживание при температуре 400-600°C в течение 2-10 часов. Способ позволяет получать стеклокомпозиты с высокой концентрацией наночастиц серебра в приповерхностной области стекла, т.е. задачу изготовления планарных волноводов в стеклокомпозитах. 5 з.п. ф-лы, 1 ил., 3 пр.

Неэлектролитический поточный способ металлизации подложек напылением с предварительной обработкой поверхности и устройство для его осуществления // 2532796

Изобретение относится к способу и устройству для неэлектролитической металлизации поверхности подложки путем напыления одного или нескольких окислительно-восстановительных растворов. Способ содержит следующие стадии: а) физическую обработку для снижения поверхностного натяжения подложки перед металлизацией, b) неэлектролитическую металлизацию поверхности подложки, обработанной на стадии а) путем напыления одного или нескольких окислительно-восстановительных растворов в виде аэрозоля(ей), и с) выполнение отделочного слоя на металлизированной поверхности. Устройство содержит модуль физической обработки, которая выбрана из следующих видов обработки: обработка пламенем, обработка коронным разрядом, обработка плазмой и их комбинации, для снижения поверхностного натяжения подложек, модуль неэлектролитической металлизации и модуль выполнения отделочного слоя. Указанным способом получают такие изделия, как флаконы из полого стекла, в частности, для косметических целей, детали автомобиля, детали для бытовой электроники или для применения в авиации, или детали для электроники в виде электропроводящей дорожки, антенны радиочастотной идентификации, или деталь с электромагнитным покрытием для экранирования. Изобретение позволяет обрабатывать множество подложек, обеспечивает качественное сцепление слоев и позволяет получить декоративные покрытия. 4 н. и 6 з.п. ф-лы, 4 ил., 4 пр.