Способ изготовления люминесцентного экрана
Изобретение относится к производству электровакуумных приборов. На подложку люминофора наносят первый слой алюминия со скоростью (1,0-1,5)
10-3мкм/c при давлении остаточных газов 6,6510-4-6,6510-3Па. Удаляют органическую пленку при 1 5-кратном чередовании термообработки при температуре 300 380°С и давлении остаточных газов 1,3310-3-1,110-2Па в течение 2 9 мин с обработкой в плазме тлеющего разряда с удельной мощностью на поверхности заготовки 25-100 Вт/см2 и при давлении остаточных газов 6,65 133 Па в течение 1 5 мин. Наносят второй слой алюминия со скоростью (3-5)10-3мкм/с при температуре подложки 100 140°С и давлении остаточных газов 1,3310-3-1,3310-4Па или в инертном газе при давлении 1,33-1,3310-4Па например в протоке гелия с содержанием примесей 510-4-510-8об.%. Способ дает увеличенный выход годных. 2 з. п. ф-лы.
Изобретение относится к производству электровакуумных приборов и может быть использовано при изготовлении люминесцентных экранов электронно-оптических преобразователей. Целью изобретения является увеличение выхода годных за счет уменьшения проницаемости пленки алюминия в результате увеличения ее плотности, механической прочности и коэффициента отражения, а также за счет более полного удаления органической пленки. Весь технологический цикл осуществляют последовательно за один прием вакуумирования. Способ реализуется следующим образом. При достижении в рабочем объеме с помощью средств откачки давления 1,33
10-4 Па на подложку термическим напылением наносят слой алюминия толщиной 510-2 мкм, что равно толщине второго наносимого слоя. Экспериментально подобранный режим напыления обеспечивает необходимую для получения оптической структуры скорость осаждения алюминия 1,3х10-3 мкм/с. После нанесения первого слоя алюминия удаляют органическую пленку при 4-кратном чередовании вакуумной термообработки и обработке в плазме тлеющего разряда активной газовой среды. Нагревают подложку при давлении 3,9910-3 Па со скоростью 25-35 град/мин до 360оС, при которой следует выдержка в течение 6 мин. Затем в рабочий объем напускают сухой чистый воздух до давления 66,5 Па и возбуждают тлеющий разряд при напряжении 850 В и плотности тока 65 мА/см2 в течение 3 мин. Температура подложки при этом 270-350оС. После удаления органической пленки рабочий объем откачивают до давления 66,510-3 Па. Температура подложки в результате охлаждения понижается, и при достижении 120оС производят нанесение второго слоя алюминия со скоростью осаждения 410-3 мкм/с. В случае нанесения второго слоя алюминия в среде инертного газа в рабочем объеме с помощью натекателя создают приток гелия при давлении 6,65 Па с расходом 4,510-2 л/Пас. Данный способ позволяет повысить производительность труда на 30% при увеличении выхода годных в 2 раза, он прост в реализации и может быть осуществлен на стандартном оборудовании при введении необходимой оснастки.
Формула изобретения
1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ЭКРАНА, включающий нанесение на подложку слоя люминофора, органической пленки, нанесение первого слоя алюминия в вакууме, удаление органической пленки, нанесение второго слоя алюминия в вакууме, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных, первый слой алюминия наносят со скоростью 1,0 10-3 1,5 10-3 мкм/с при давлении остаточных газов 6,65 10-4 6,65 10-3 Па, при этом толщину первого слоя алюминия выбирают равной 0,6 1,5 толщины второго наносимого слоя алюминия, органическую пленку удаляют при 1 5-кратном чередовании термообработки при температуре 300 380oС и давлении остаточных газов 1,33 10-3 1,1 10-2 Па в течение 2 - 9 мин с обработкой в плазме тлеющего разряда с удельной мощностью на поверхности заготовки 25 100 Вт/см2 и при давлении остаточных газов 6,65 133 Па в течение 1 5 мин, а нанесение второго слоя алюминия осуществляют со скоростью 3,0 10-3 5 10-3 мкм/с при температуре подложки 100 140oС давлении остаточных газов 1,33 10-3 1,33 10-4 Па или в инертном газе при давлении 1,33 1,33 10-1 Па. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что нанесение второго слоя алюминия осуществляют в притоке гелия с содержанием примесей 5 10-9 5 10-8 об. 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве плазмообразующего газа используют воздух или кислород.
