Способ изготовления волноводов

 

Изобретение относится к технике СВЧ. Целью изобретения является снижение стоимости за счет исключения покрытия драгоценными металлами и повышение производительности. Способ изготовления волноводов заключается в изготовлении заготовок и покрытии их гальванической медью толщиной 3-6 мкм и размещении на дизлектрическом держателе. Рабочие поверхности заготовок - подвергают облучению ионами аргона или неона, обладающими энергией в пределах 50-100 кэВ доза- N21 (1, 2-3,0) 10 см с плотностью тока 0,2-0,8 мкА/см при одновременном наложении ускоряющего напряжения 100-300 В. После этого проводится сборка волновода методом диффузионной сварки. Волновод, вьдполненный в соответствии с изложенным способом , обладает высокими электропроводностью на СВЧ и коррозионной стойкостью . 2 ил. S (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1424081 (51) 4 Н 01 P 11/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4200863/24-09 (22) 26.02.87 (46) 15,09.88. Бюл, № 34 (72) Б.В.Козейкин, Б.Г.Грибов, Л.В.Катраев, А.И.Фролов, А.С.Чеботарев, Г.П.Гузнов и С.Л.Бугров (53) 621.372.8(088.8) (56) Патент Франции № 25247/8, кл, Н 01 P 11/00, 1983.

Патент С1цА - 3157647, кл. 333-95, 1964. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕ11ИЯ ВОЛНОВОДОВ (57) Изобретение относится к технике

СВЧ. Целью изобретения является снижение стоимости за счет исключения покрытия драгоценными металлами и повышение производительности. Способ изготовления волноводов заключается в изготовлении заготовок и покрытии их гальванической медью толщиной

3-6 мкм и размещении на диэлектрическом держателе. Рабочие поверхности заготовок - подвергают облучению ионами аргона или неона, обладающими энергией в пределах 50 †1 кэВ дозами (1,2 — 3,0)-10 см с плотностью, 14 тока 0,2-0,8 мкА/см при одновременном наложении ускоряющего напряжения

100-300 В. После этого проводится сборка волновода методом диффузионной сварки. Волновод, выполненный в соответствии с изложенным способом, обладает высокими электропровод- с ностью на СВЧ и коррозионной стойкостью. 2 ил.

1424081

Изобретение относится к технике

СВЧ и мо ет быть использовано при изготовлении волноводных трактов и устройств преимущественно миллиметрового диапазона длин волн.

Цечью изобретения является снижение стоимости за счет исключения покрытия драгоценными металлами и повышение производительности.

На фиг. 1 показаны операции способа по изготовлению покрытия поверхностей заготовок волноводов; на фиг.2волновод после соединения заготовок между собой, сеч ние.

Способ изготовления волноводов включает изготовление заготовок 1, обработку их поверхностей 2 и соединение заготовок 1 между собой. Обработ" ку поверхностей 2 заготовок 1 проводят путем покрытия медью и облучения ионами аргона или неона, обладающими энергией н пределах 50-100 кэВ дозами (1,2-3,01 10 см с плотностью тока

0,2-0,8 мкА/см при одновременном ,наложении ускоряющего напряжения 100300 В.

Пример. Заготовки 1 волновода покрывают гальванической медью толщиной 3-6 мкм, размещают на диэлектрическом держателе и загружают

30 в камеру ионно-лучевой установки

"Везувий-5". Облученик подвергаются рабочие поверхности 2 заготовок 1 (фиг. 1). Далее проводят процесс облучсния поверхностей 2 ионами аргона 35 или неона с оговоренными параметрами.

После этого проводят сборку волновода методом диффузионной сварки.

Ионно-имплантационная обработка поверхностей приводит к аномальному (на 3-4 порядка) повышению корроэионных характеристик меди, а также способствует снижению в ней потерь электрической мощности сигнала. Такой эффект складывается иэ нескольких факторов. Доминирующими механизмами в повышении коррозионной стойкости покрытия являются ионно-стимулированная модификация структуры имплантированных слоев, проявляющаяся в форми- 50 ровании химически пассивной, кластерной субструктуры меди, а также образование поверхностных оксидных и углеродсодержащих пленок с высокими защитными свойствами. Имплантация с 55 одновременным наложением ускоряющего напряжения приводит к интенсификации процесса ионно-стимулированной перестройки структуры металла, проявляющейся в формировании ультрадисперсной системы микровключений в амфорной среде, и скорость коррозии облученной меди по отношению к раэли .ым агрессивным средам падает до )i 4 раз. Снижение центров рассеяния носителей тока за счет диспергирования материала, а также снижение пористости имплантированных медных покрытий обусловливают также снижение потерь электрической мощности. Эффект имплантированной обработки проявляется и на глубинах, значительно превьш ающих пробеги ионов, что связано с действием упругих напряжений, генерируемых ионным лучком. Проведенные эксперименты показали, что достигнутый ионной имплантацией уровень повышения коррозионных характеристик меди не изменяется до температуры нагрева

700 С.

Нижние пределы энергии внедрения ионов (50 кэВ), электрического потенциала (100 В) и дозы имплантации ионов (1,2 10 ион/см2) обусловлены тре46 бованием уверенной пассивации медного покрытия от внешних химических воздействий и соответствуют увеличению его коррозионной стойкости на 3-4 порядка.

При увеличении энергии внедрения ионов более 100 кэВ эффект становится неустойчивым. Повышение дозы имплантации ионов более 3 10 1ьион/см приводит к снижению производительности процесса и не оказывает влияния на коррозионные характеристики меди.

Увеличение значения электрического потенциала выше 300 В не дает дальнейшего повышения электропроводности поверхностей 2 и их коррозионной стойкости. Нижний предел плотности тока ионов 0,2 мкА/см обусловлен приемлемой длительностью процесса имплантационной обработки, повышение плотности тока более 0,8 мкА/см приводит к черезмерно сильному разогреву образцов. Волновод, выполненный по предлагаемому способу, обладает высокими электропроводностью на СВЧ и коррозионной стойкостью. формула и з о б р е т е н и я

Способ изготовления волноводов, включающий изготовление заготовок, обработку их поверхностей и соединение заготовок между собой, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью

142408 снижения стоимости за счет исключения

ИОНЫ

2 2 г z

Составитель В.Алыбин

Редактор Е.Копча Техред М.Ходанич Корректор М.Васильева

Заказ 4693/54 Тираж 632 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 покрытия драгоценными металлами и повышения производительности, обработку поверхностей заготовок проводят путем

5 покрытия их медью и облучения ионами

4 аргона или неона, обладающими энергией в пределах 50-100 кэВ дозами (1,23,0)х101 см с плотностью тока 0,20,8 мкА/см при одновременном наложении ускоряющего напряжения 100-300 В.