Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение точности измерения. Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока, один из которьпс i- u направляют на плоский поляризатор 5, затем - на вторую четвертьволновую . пластину 6, после выхода из которой его направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемое с объектом, которое и возвращает излучение на . вторую четвертьволновую пластину 6. На выходе из плоского поляризатора 5 излучение направляют на первую четвертьволновую пластину 4, последний проход излучения направляют на первое плоское зеркало 3, минуя первую четвертьволновую пластину 4, он, не отклоняясь, проходит через плоский поляризатор и его направляют по тому же пути, но в обратном направлении . На светоделителе 2 происходит совмещение двух световых потоков, а величина перемещения может быть определена методом счета интерференционных полос. 1 ил. О) tu tc bi u со СП
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН (51) 4 G 01 В 9/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4139986/24-28 (22) 28.10.86 (46}, 23.09,88. Бюл. В 35 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологической службы (72) В.Я.Бараш, Г.С.Пресняков, А.Л.Резников и Г1.И.Фокин (53) 531.715.1 (088.8) (56) Крылов К.И. и др. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: Машиностроение, 1978, с.241-242. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к измерениям перемещений при вибрации.
Целью изобретения является повышение точности измерения. Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока, один из которых
ÄÄSUÄÄ 425435 А1 направляют на плоский поляризатор 5, затем — на вторую четвертьволновую пластину б, после выхода из которой его направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемое с объектом, которое и возвращает излучение на вторую четвертьволновую пластину б.
На выходе иэ плоского поляризатора
5 излучение направляют на первую четвертьволновую пластину 4, последний проход излучения направляют на первое плоское зеркало 3, минуя первую четвертьволновую пластину 4, он, не отклоняясь, проходит через плоский поляризатор и его направляют по тому же пути, но в обратном направлении. На светоделителе 2 происходит совмещение двух световых потоков, а величина перемещения может быть определена методом счета интерферен- С ционных полос 1 ил.
1425435
Формула изобретения
Составитель H..Захаренко
Корректор М.Демчик
Техред М.Дидык
Редактор Л. Зайцева
Заказ 4756/35 Тираж 680 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород„ ул. Проектная, 4
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации.
Цель изобретения — повьппение точности измерения.
На чертеже представлена схема интерферометра.
Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2, отража тельный блок, выполненньп состоящим, иэ последовательно установленных и
;ориентированных параллельно друг другу первого плоского зеркала 3, 1 первой четвертьволновой пластины 4, :плоского поляризатора 5, второй четвертьволновои пластины 6, второго плоского зеркала .7, которое установ лено с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излуче- 20 нию от источника 1 излучения, вторая четвертьволновая пластина 6 и первое плоское зеркало 3 смещены относительно плоского поляризатора 5, а вторая четвертьволновая пластина 6 и второе 25 плоское зеркало 7 смещены друг относительно друга, фотоприемник 8, установленный в одном из потоков от светоделителя 2.
Интерферометр работает следующим образом.
Излучение от источника 1 излуче: ния диагональной гранью светоделите1 ля 2 разделяется на два вэаимно-пер35 пендикулярных потока, Один поток
: направляют на вторую четвертьволно: вую пластину 6, которая сообщает ему циркулярную поляризацию. После выхода из второй четвертьволновой 40 пластины 6 излучение направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемое с объектом (на чертеже не показан), которое и возвращает излучение на вторую четвертьволновую пластину 6, в которой циркулярно поляризованному излучению сообщают линейную ортогональную поляризацию, в связи с чем плоский поляризатор 5 отклоняет иэлуо чение на угол 90 — о(, где аС вЂ” угол преломления луча в поляризаторе. На выходе из плоского поляризатора 5 излучение направляют на первую четвертьволновую пластину 4, которая сообщает ему линейную ортогональную поляризацию. Последний проход излучения направляют на первое плоское зеркало, минуя первую четвертьволновую пластину 4, в связи с чем он, не отклоняясь9 проходит через плоский поляризатор и его направляют по тому же пути, но в обратном направлении.
На светоделителе 2 происходит пространственное совмещение потока, отраженного от .отражающей грани светоделителя 2, и потока, отражаемого от отражательного блока. На фотоприем-. ник 8 поступает интерферирующее излучение, а измерение величины перемещения может осуществляться методом счета интерференционных полос.
Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта содержащий
/ источник иэлучения,светоделитель,делящий излучение от источника на двапотока, отражательный блок и фотоприемник, установленный в одном из йотоков от светоделителя, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности измерения, отражательный блок выполнен из последовательно установленных и ориентированных параллельно друг другу первого плоского зеркала, первой четвертьволновой пластины, плоского поляризатора
9 второй четвартьволновой пластины и второго плоского зеркала, которое установлено с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению от источника, вторая четвертьволновая пластина и первое плоское зеркало смещены относительно плоского поляризатора, а вторая четвертьволновая пластина и второе плоское зеркало смещены друг относительно друга.
