Устройство для измерения клиновидности оптических прозрачных пластин
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения клиновидности оптических прозрачных деталей . Цель изобретения - повышение точности измерения. Свет от источника 1 формируется фокусирующей систе10 мой 2 в расходящийся световой пучок, который с помощью отклоняющего зеркала 4 направляется на измеряемую пластину 6. Пучки света, отраженные поверхностями пластины 6 с помощью зеркала 4 и светоделителя 3, направляются на оптический блок, состоящий из расположенных под прямым углом зеркал 8 и 10 и светоделителя 9, установленного между зеркалами в плоскости их симметрии. В оптическом блоке пучки разделяются на две части и направляются на экран 7 с измерительной сеткой , образуя на нем два набора концентрических интерференционных колец. Измеряя расстояния между центрами колец , определяют угол клиновидности измеряемой пластины 6. 1 ил. В i (Л КС 4
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЯ4АЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (51) 4 G 01 В 11/26
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ мСЕСОГЗ" »:
I åeg
« .3 с
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4148265/24-28 (22) 18.11.86 (46) 23.09,88. Бюл. В 35 (72) Ю.В.Елисеев (53) 531.715.27 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР
8 815491, кл. G 01 В 11/26, 1979. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КЛИНОВИДНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения клиновидности оптических прозрачных деталей. Цель изобретения — повьппение точности измерения, Свет от источника 1 формируется фокусирующей систе„„SU„„1425441 А1 мой 2 в расходящийся световой пучок, который с помощью отклоняющего зеркала 4 направляется на измеряемую пластину 6. Пучки света, отраженные поверхностями пластины 6 с помощью зеркала 4 и светоделителя 3, направляются на оптический блок, состоящий из расположенных под прямым углом зеркал
8 и 10 и светоделителя 9, установленного между зеркалами в плоскости их симметрии. В оптическом блоке пучки разделяются на две части и направляются на экран 7 с измерительной сеткой, образуя на нем два набора концентрических интерференционных колец.
Измеряя расстояния между центрами ко- Я лец, определяют угол клиновидности измеряемой пластины 6. 1 ил.
У g
С:
1 1425441 2
ЬНИИПИ Заказ 4756/35 Тираж 680
Подписное
Произв.-полигр. пр-тие, r. Ужгород, ул. Проектная, Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения клинонидности оптических прозрачных пластин
Цель изобретения — повьппение точности измерения..
На чертеже приведена оптическая схема устройства для измерения клино-10 ехидности оптических прозрачных пластин.
Устройство содержит источник 1 коt ерентности света, фокусирующую систему 2, светоделитель 3, установлен" йый под углом к оптической оси, перфое отклоняющее зеркало 4, которое установлено с возможностью перемещения вдоль оптической оси, приспособление 5 для установки измеряемой 2р пластины 6, экран 7 с измерительной сеткой, второе отклоняющее зеркало 8, светоделитель 9 и третье отклоняющее зеркало 10. Источником 1 когерентного света служит лазер. Второе отклоняю- 25 щее зеркало 8 расположено перед экра"
soM 7 на пути светового потока, от.раженного от первого светоделителя 3.
Третье отклоняющее зеркало 10 установлено под прямым углом к второму отклоняющему зеркалу 8. Второй снетоделитель 9 размещен между вторым 8 и третьим 10 отклоняющими зеркалами
В плоскости симметрии прямого угла, образуемого этими зеркалами. ПлосКость симметрии прямого угла, н которой размещен светоделитель 9, перпендикулярна плоскости экрана 7.
Ребро прямого угла, образованного зеркалами Я и 10, ориентировано под 40 углом к плоскости экрана 7. В устройстне этот угол равен 45 .
Устройство работает следующим образом.
Пучок света источника 1 с помощью фокусирующей системы 2 концентрируется в точку. Далее в ниде расходящегося пучка свет лазера проходит через светоделитель 3 и падает на отклоняющее зеркало 4, которое направляет пучок света на измеряемую пластину 6, установленную на приспособлении 5 с отверстием, через которое пучок света проходит, попадая на пластину 6. Пучки лучей, отражен- 5 ные поверхностью пластины 6, вторич-, но отражаются зеркалом 4, затем частично отражаются светоделителем 3 в направлении зеркала 8, отражаются от зеркала 8 в направлении светоделителя 9.
Части пучков, отраженные светоделителем 9, вторично отражаются зеркалом Я н направлении экрана 7 и образуют на нем интерференционную кар" тину в виде концентрических колец.
Части пучков, прошедшие через светоделитель 9, отражаются зеркалом 10 в направлении экрана 7 и также создают на нем интерференционную картину в виде концентрических колец.
Поворачивая измеряемую пластину на приспособлении 5, добиваются, чтобы расстояние между центрами двух наборов интерференционных колец было максимальным. С помощью сетки экрана измеряют эти расстояния и, зная цену деления сетки экрана, а также расстояние между центрами интерференционных колец, получаемое при установке на приспособление идеальной плоскопараллельной пластины, определяют угол клиновидности измеряемой пластины.
Формула изобретения
Устройство для измерения клиновидности оптических прозрачных пластин, содержащее расположенные на одной оптической оси источник когерентного света и оптически связанные фокусирующую систему, два снетоделителя, первый из которых размещен за фокусирующей системой под острым углом к оптической оси, первое зеркало, экран с сеткой, приспособление для установки пластин и второе зеркало, расположенное перед экраном напротив первого снетоделителя о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения точности измерения, оно снабжено третьим зеркалом, установленным под углом 90 к второму, и вторым :светоделителем, размещенным между вторым и третьим зеркалами в плоскости симметрии прямого угла, образуемого этими зеркалами, перпендикулярной экрану, а плоскость симметрии прямого угла перпендикулярна экрану.
