Способ изготовления активного элемента газового лазера

 

Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано при изготовлении газоразрядных лазеров. Целью изобретения является повышение мощности и стабилЬ ностя параметров излучения газовых лазеров. В процессе сборки активного элемента лазера по совмещению отраженных лучей вспомогательного лазера в расчетной точке пространства юстируют оптические узлы с закрепленными выходными окнами. Затем отъюстированные узлы и разрядную трубку герметично соединяют между собой. После тренировки, наполнения и отпайки активного элемента перед очисткой окон растворителем их дополнительно обрабатывают в течение 1-10 мин искровым разрядом и оч)пцают раствором полирита. Способ позволяет обеспечить .высокое качество выходных окон и чистоту рабочей среды активного элемента . Гил. с % (/} С

„„Я0„„1426382 А 1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 5 П 01 S 3/03

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbfTHA (46 07. 10.92. Бюл, Р 37 (2 1) 4073081/25 (22) 30.05.86 (72) В.Ф.Быковский, М.К.Дятлов

Г.И.Малькова н Б.П.Иирецкий (53) 621.375.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 950147, кл. Н 01 S 3/22, 1982.

Авторское свидетельство СССР

В 1127178, кл. H 01 $3/22, 1984, . (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АКТИВНОГО

ЭЛЕМЕНТА ГАЗОВОГО ЛАЗЕРА (57) Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано при изготовлении газораэряд" ных лазеров. Целью изобретения явля" . ется повыпение мощности и стабиль ности параметров излучения газовых лазеров. В процессе сборки активного элемента лазера по совмещению отраженных лучей вспомогательного лазера в расчетной точке пространства юстируют оптические узлы с закрепленными выходными окнами. Затем отьюстнрованные узлы и разрядную трубку герметично соединяют между собой. После тренировки, наполнения и отпайкн активного элемента перед очисткой окон растворителем их дополнительно обрабатывают в течение 1-10 мин искро" вым разрядом и очищают раствором полирита. Способ позволяет обеспечить ,высокое качество выходных окон и чистоту рабочей среды активного элемента. 1 ил.

>Г»>7

Из>>бретение Относится к квантовой алек ) рои)1ке и tf жет быт1> ислРльэоиа но 1)ри )I.) Г отовл е)11)и 1êòèâ11) tx э)1емен то» газо)>1,)х лазеров, содержащих Опти-" ческие узлы с окнами Брюстера, Целью изобретения является повышение мощности и стабильности излу>)е)1?1я лазера.

На чертеже ?Гэображеиа установка, 111>еди,".зиачеииая для изготовл".>)ия активного элемента газового лазера.

Способ HBI oTQBJleHHJI активного лемеита газового лазера включат сборку газоразрядной трубки 1 и оптических узлов 2 с закрсплеги)ыми HB них окнами Брюстера 3 н юстировочиом устройстье для сборки, которое содержит оптическу)>) скамь)> 4, подстанк?1 "> для крепления и юстнронки оптических уэ- 20 л>>в 2, а также рейтеры для установки вспомогательного маломощного лазера 6 с диафрагмой 7, зеркала 8 и экрана 9.

После установки газоразрядной трубки и оптических узлов вдоль оси вспомогательного лазера н юстировочном уст" ройстве для сборки осуществляют юстировку окон Брюстера до пересечения лучей вспомогательного лазера, отраженных от внешних поверхностей окон

Б>р.остера, в точке, расположенной на экране, ра))иоудален))ой от окон Брюстера. Ьспомогательн)яй лазер при этом настраивается таким образом, чтобы прямой н о>ражеииы?1 от зеркала 8 лу-. чи пересекались в отверстии диафрагмы 7, а экран 9 устанавливается на рассTof)HHH h OT ocH T cncìoãeòåëüíoão лазера, определяемом иэ соотношения

L с>

b = — tg (180 -2< ), где L — расстояние между окнами

Брюстера;

d. Б — угол Ьрюстера.

После завершения к>стиронки окон

II

Брюстера производят сварку жестко закрепленных опт?)ческих узлов с га" зоразрядиой трубкой с последующей продувкой активного элемента инертным газом. Далее актиниый элемент устанавливают н держателях и иапаивают на oTKG÷)toll TlocT где с помощью штеигеля производят откачку, температурное обезгажинание и Обработку электродов, после чего наполняют активный элемент аргоиом и проводят

TpcHIfpoI>)cy I) разряде. После тренировки активный элемент наголияк;т арг<>лс») до рабочее > давления и залаяв»> т 11() я) ГенгFJ))0.

О);иа Б>1>1»стара наполненного актив ного .лемеита Обрабатына»>т искровым разрядом в течение 1-10 мии, оч)и)аю) раствором ЛОлирита, размер зерен ко" торого ие пров)111>лет 2 мкм, и растворителем.

Состав и последовательность операций способа изготовления активного элемента газового лазера обеспечивает высо):ое качество окон и чистоту рабо>)ей среды активного элемента, что позволяет повысить мощность и ста >11льность излучения серийных лазеров. Применение изобретения имеет

H)l?t6 o Jt)>))! H?i эффект nP )i c P PH?IH tJM I)Po кзводстве ультрафиолетоньгх аргоиовых лазеров с окнами Б>рюстера иэ кр) ..)ал1)ического кварца. формула изобретения

Способ изготовления активного элемента газового лазера, включающий устаиовку газоразрядной трубки и оптических узлов с закрепленными иа них окнами Бр)остера на оптической ск;,и:-.е, асти;:онку оптических узлов, герметичное соединение гаэораэрядной трубки с оптическими узлами, вакуумную откачку, тренировку, наполнение рябо )ей срсдой и отпайку гаэораэрядной трубки и последующую очистку окон Брюстера растворителем, отличающийся тем, что, с целью повышения мощности и стабильности излучения лазера, на оптической скамье со стороны одного из оптических узлов последовательно устанавли- вают вспомогательный лазер и диафрагму, а со стороны другого опт))ческого узла — отражающее зеркало, вие оптической скамьи устанавливают экран, отверстие или перекрестие которого

p,".в))оудалено от окон Брюстера и расположено от оптической оси газораэрядиой трубки на расстоянии

h = — tg (180 -2s ..), L о где L — расстояние между окнами Брюстер" a. — yl.cJI Брюстера юстируют вспомогательный лазер и зеркало до совмещения в отверстии диафрагмы прямого и отраженного от зеркала лучей нспом:-.гательиого лаз ра, юс-.;)ровку оптических узлов ныполня)от ).o пере-. сечения лучей, отраженных от виеш! 426:382 них поверхностей окон !!растера Q ot тепе.f «х поповн«тельно о6рабатк1нают верс.тни нлн перекрестии зкраца, пос в течение 1-10 мнн искрошим разрянсм ле от«айк« гаэоразрянной трубки пе- и очищают растнорои по размер ред очисткой окон Брюстера раствори . зерен которого не прельщает 2 мкн.

9Составитель В.Иванов

Редактор М.Кузнецова Техред M,Диды< Корректор M.Äåì÷èê

Закай 4565

Тираж ., Подписное, В11ИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4