Способ получения трихлорсилана
Авторы патента:
Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование измельченного кремния в непрерывном режиме в квазигомогенной среде хлористый водород - кремний при повышенной температуре, последующую конденсацию газообразных продуктов реакции, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода трихлорсилана и удельной производительности процесса, гидрохлорирование осуществляют путем инжектирования и транспортирования кремния в реакционной зоне потоком хлористого водорода, затем кремний отделяют от газообразных продуктов реакции и повторно инжектируют, при этом температуру инжектируемого кремния на входе в реакционную зону поддерживают равной 240 - 320oC.
Похожие патенты:
Способ получения гексахлордисилана // 435190
Способ получения пентахлордисилоксана // 1389199
Способ получения четыреххлористого кремния // 1287464
Способ получения гексахлордисилоксана // 1249871
Способ получения октахлортрисилоксана // 1241643
Способ получения силанов // 2152902
Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов
Способ получения кремния // 2415809
Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния
Способ получения трихлорсилана // 1432950