Болометр
Изобретение относится к технике измерения тепловых потоков излучения, в чааности к тепловым приемникам излучения и может быть использовано в различной оптической аппаратуре, в аарофизических исследованиях, при приеме излучения в субмиллиметровом диапазоне. Целью изобетения является увеличение вольт-ваттной чувствительности болометра. Болометр содержит пленочную антенну, которую располагают на диэлектрической подложке , причем вибраторы антенны имеют область лерекрытия, и термочувствительную пленку, расположенную между двумя вибраторами пленочной антенны в облааи перекрытия вибраторов. При этом вибраторы имеют электрчиеский контакт между собой только через пленку и выполняют роль токоподводящих проводников, через которые подают измерительный ток к термочувствительной пленке. Данная конструкция антенного болометра позволяет использовать термочувствительные пленки из высокоомных материалов, обеспечивая при этом олтимальноб согласование с антенной и выигрыш в чувствительности. 1 мл.
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4035237/25 (22) 07.03.86 (46) 30.10.93 Бюл. Йя 39-40 (72) Леонов В.Н„хребтов ИА (54) БОЛОМЕТР (57) Изобретение относится к технике измерения тепловых потоков излучения, в частности к тепловым приемникам излучения, и может быть использовано в различной оптической аппаратуре, в астрофизических исследованиях, при приеме излучения в субмиллиметровом диапазоне. Целью изобетения является увеличение вольт-ваттной чувствительности болометра. Болометр содержит пленочную антенну, которую располагают на диэлектрической подлож(19) Я1 (и) 1448833 Al (>) ке, причем вибраторы антенны имеют область перекрытия, и термочувствительную пленку, расположенную Между двумя вибраторами пленочной антенны в области перекрытия вибраторов. При этом вибраторы имеют электрчиеский контакт между собой только через пленку и выполняют роль токоподводящих проводников, через которые подают измерительный ток к термочувствитепьной пленке.
Данная конструкция антенного болометра позволяет использовать термочувствительные пленки из высокоомных материалов, обеспечивая при этом оптимальное согласование с антенной и выигрыш в чувствительности. 1 ил.
1448833
Ф ормула и ла изобретения :чающийся тем, что, с целью увеличения
30 вольт-ваттной чувствительности, вибратоБОЛОМЕТр, содержащий пленочную- ры антенны выполнены с областью переантенну и термочувствительную, пленку крытия, а термочувствительная пленка
РасположеннУю в области минимального установлена между двумя вибраторами в зазора между вибРатоРами антенны отли- области перекрытия. ф оставитель В Андрианова
Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор Н.Король
Редактор T.Îðëîâñêàÿ
Заказ 3191
Тираж, Подписное
НПО "Поиск".Роспатента
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.tarap« a, 101
Изобретение относится к технике измерения тепловых потоков излучения, в частности к тепловым приемникам излучения, и может быть использовано в различной оптической аппаратуре при астрофизических исследованиях в случае приема излучения в субмиллиметровом диапазоне.
Целью изобретения является увеличе, ние вольт-ваттной чувствительности болометра, На чертеже схематически изображен болометр.
Болометр содержит вибраторы 1, 2, пленочную антенну, которые располагают на диэлектрической подложке 3. Вибраторы антенны имеют область перекрытия 4, в которой расположена термочувствительная пленка 5 из полупроводникового материала. Через эту пленку вибраторы 1, 2 имеют электрический контакт между собой.
Болометр работает следующим образом.
Излучение субмиллиметрового диапазона, принимаемое вибраторами 1, 2, наводит в вибраторах высокочастотный ток, который, проходя через термочувствительную пленку 5 и нагревая ее, изменяет сопротивление термочувствительной пленки 5.
Изменение сопротивления термочувствительной пленки 5 регистрируется при подаче постоянного тока смещения на болометр от источника (не показан).
Благодаря тому, что термочувствительная пленка 5 расположена в области перекрытия 4 вибраторов 1, 2 так. что ток
"0 протекает перпендикулярно пленке, становится возможным, сохраняя условие согласования с вибраторами, использовать более высокоомные материалы для термочувствительной пленки 5, в том числе с температур"5 ным коэффициентом сопротивления до
0,5-0,6 К, что увеличивает чувствительность болометра более чем в 10 раэ, {56) Schwarz S;E. et аП. Antennacoupled
20 infrared detectors,- Journal of Applied
Physics, 1977, v. 48, М 5, р, 1870-1873.
Hwang ТЛ., et аП, Planar sandwich
antennas for submitlimeter applicatlotfs.
Applied Physics Lettets, 1979, v: 34, М 1, р.
25 9-11
