Датчик давления

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения постоянных и переменных давлений от нуля де-десятков килобар. Цель изобретения - повышение точности измерения давления за счет исключения температурной погрешности при расширении жидкости. Датчик представляет собой полый корпус, выполненньй в виде капиллярной трубки 1, заполненной жидкостью 3, в которую погружен полупроводниковый чувствительный элемент 4 объемного сжатия. Корпус внешней поверхностью воспринимает действие измеряемого давления, которое через жидкость 3 передается чувствительному элементу 4, преобразующему давление в электрический сигнал. При изменении объема жидкости 3, вызванном изменением температуры, жидкость 3 перемещается по трубке I, при этом она не деформируется и в ней не возникают механические напряжения, приводящие к погрешности измерений. I ил. а (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (21) g2) 4 С 01 L 19/00, 11/00 списочник изоБРКткния

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЦТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4258345/24-10 (22) 08.06.87 (46) 15.0!.89. Бюл. У 2 (7!) Новосибирский электротехнический институт и Институт теплофизики СО АН

СССР (72) А. И. Семенов, В. А. Малков, Л. П. Кирюшин и Л. Б. Шерман (53) 531.787(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 467184, кл. E 21 С 39/00, 1973. (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения постоянных и переменных давлений от нуля дэ цесятков килобар.

Цель изобретения — повышение точности измерения давления за счет исключения температурной погрешности при расширении жидкости. Датчик представляет собой полый корпус, выполненный в виде капиллярной трубки 1, заполненной жидкостью 3, в которую погружен полупроводниковый чувствительный элемент 4 объемного сжатия. Корпус внешней поверхностью воспринимает действие измеряемого давления, которое через жидкость 3 передается чувствительному элементу 4, преобразующему давление в электрический сигнал.

При изменении объема жидкости 3, вызванном изменением температуры, жидкость 3 перемещается по трубке !, при этом она не деформируется и в ней не возникают механические напряжения, приводящие к погрешности измерений °

1 ил.

1451570

Формула изобретения

Датчик давления, содержащий корпус, полость которого заполнена жидкостью, погруженный в жидкость полупроводниковый чувствительный элемент и гермоввод с токоподводами, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с це-.; лью повышения точности за счет исключения температурной погрешности при расширении жидкости, в нем корпус выполнен в виде капиллярной металлической трубки, один конец которой открыт, а другой заглушен гермовво:.-. дом.

Составитель H. Матрохина

Редактор А. Ревин Техред А.Кравчук. Корректор Г. Решетник

Заказ 7072/41 Тираж 788 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д . 4/5

Производственно-полиграфическое прелнриятие, r Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть испольэо для измерения давлений в широком диапазоне в статических условиях и быстропротекающих процессах.

Цель изобретения — повышение точности измерения давления за счет исключения температурной погрешности при расширении жидкости. 1О

На чертеже изображен предлагаемый датчик давления жидкости.

Датчик давления состоит из капил". лярной металлической трубки 1, имеющий один открытый конец 2, заполненной жидкостью 3, расположенного в трубке полупроводникового чувствительного элемента (ЧЭ) 4, гермоввода !

5 и проходящцх через него электрических выводов 6 и 7. 20

Открытый конец трубки 1 может быть сплюснут, а на другам конце распола-! гается гермоввод 5, который может быть получен при остывании расплавленного стекла в завальцованной час- 25 ти трубки 1.

Датчик давления работает следующим образом, Трубка 1, выполняющая роль кор- 30 пуса датчика, подвергается измеряемому давлению окружающей среды, ко-. торая через жидкость 3, находящуюся в трубке 1, передает давление чувствительному элементу 4, преобразующему давление в электрический сигнал.

Один из электрических выводов 6 или

7 может быть присоединен к трубке 1, которая в этом случае становится одним из электродов датчика. 40

При язмвнении объема жидкости 3, вызванном, например, изменением температуры измеряемой среды, жидкость

3 перемещается по трубке 1, При этом

"рубка не деформируется и в ней не возникают паразитные механические напряжения, приводящие к погрешности измерения.

Простота конструкции датчика делает возможным его миниатюризацию.

Миниатюризация обеспечивает повышение локальной разрешающей способности датчика — точности (с которой может быть определено распределение давления в пространстве) и уменьшение времени задержки выходного сигнала относительно импульса измеряемого давления, а следовательно, расширяет частотный диапазон измеряемых давлений. Время задержки выходного сигнала определяется временем распространения давления от корпуса датчика к

ЧЭ и по порядку величины равно отношению размеров датчика к скорости распространения упругих волн в находящейся в корпусе жидкости, Уменьшение размеров датчика позво— ляет также применять его в пространственно ограниченных областях, т.е. дает воэможность устанавливать датчик в наиболее желательных точках.