Интегральный тензочувствительный элемент

 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным тензочувствительным элементам на МДП-транзисторах.- Цель изобретения - упрощение конструкции за счет исключения из схемы делителя напряжений с выполнением его функций одной из ветвей тензочувствительного моста путем соответствующего соединения затворов ВДП-транзисторов. Дополнительное повышение чувствительности элемента обеспечивается соединением затворов с выходом инвертора с меньшим коэффициентом усиления. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5g 4 С О1 В 7/16

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

° \

° °

° и

ЪФ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4284871/25-28 (22) 14.07.87 (46) 23.0f.89. Бюл. Р 3 (71) Новосибирский электротехнический институт (72) В.П.Драгунов и А.И.Ильенков (53) 531.781.2:621.38(088.8) (56) Физические основы полупроводниковой тенэометрии. Новосибирск.

НЭТИ, 1981, с. 41. .(54) ИНТЕГРАЛЬНЫЙ TEH30ЧуВСТВИТЕЛЬНЫЙ

ЭЛЕМЕНТ (57) Изобретение относится к иэмери„,Я0„„1453162 А 1 тельной технике, а именно K интегральным тензочувствительным элементам на

ИДп-транзисторах.. Цель изобретенияупрощение конструкции за счет исключения иэ схемы делителя напряжений с выполнением его функций одной из ветвей тенэочувствительного моста путем соответствуиицего соединения затворов

ИДП-транзисторов. Дополнительное повышение чувствительности элемента обеспечивается соединением затворов с выходом инвертора с меньшим коэффициентом усиления. 1 s.n. ф-лы, 1 ил.

1453162

Изобретение относится к измери тельной технике, в частности к устрой. ствам для измерения деформаций, а именно к интегральным тензочувстви5 тельным элементам на МДП-транзисторах.

Цель изобретения — упрощение конструкции за счет исключения из схемы делителя напряжений. 10

На чертеже приведена принципиальная электрическая схема интегрального тензочувствительного элемента.

Тензочувствительный элемент содержит инверторы 1 и 2 на дополняющих

МДП-транзисторах 3-6, собранных по мостовой схеме. Выходы инверторов 1 и 2 — общие точки МДП-транзисторов

3-6 — подключены к измерительной диагонали моста, а общие точки МДП-тран- 20 зисторов 3-6 — к диагонали питания моста. Затворы всех МДП-транзисторов

3-6 соединены между собой и соединены с выходом одного из инверторов

1 или 2. При этом дополнительное повы"д5 шение чувствительности обеспечивает ся при выполнении инверторов 1 и 2 с разными значениями коэффициента усиления, например К, с К, и соедине нии затворов МДП-транзисторов 3-6 с

ЗО, выходом инвертора 1 с меньшим коэффициентом усиления °

Интегральный тенэочувствительный элемент работает следующим образом.

Инвертор 1 охвачен 100Х-ной отрицательной обратной связью, поэтому его рабочая точка устанавливается примерно в середине переходной области передаточной характеристики. В той же области своей передаточной харак 40 теристики находится и рабочая точка инвертора 2. Под воздействием, например, деформации растяжения сопротивления каналов МДП-транзисторов 3 и

6 уменьшаются, а МДП-транзисторов 4 и 5 увеличиваются. Приращение напря45 жения hU» на выходе инвертора 1, обусловленное изменением сопротивлений каналов МДП-транзисторов 3 и 4, ослабляется в 1/(1+К ) раз за счет

1007-ной отрицательной обратной свя- зи. Это приращение напряжения поступает на инвертор 2, где усиливается в К раз и суммируется с изменением напряжения на его выходе дБ, обусловленным изменением сопротивлений каналов МДП-транзисторов 5 и 6. Суммарное изменение напряжения на измерительной диагонали моста

1 + К

gU = h,U — — — — +hU

1+ К„

Изобретение может быть использовано в качестве тензопреобразователя в.датчиках деформации и давления, изготавливаемых методом групповой технологии.

Формула и з о б р е т е н и я

i, Интегральный тензочувствительный элемент, содержащий два инвертора на дополняющих МДП-транзисторах, собранных по мостовой схеме, в которой выходы инверторов подключены к измерительной диагонали моста, а затворы всех МДП-транзисторов соединены между собой, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью упрощения конструкции за счет исключения из схемы делителя напряжений, затворы

МДП-транзисторов соединены с выходом одного из инверторов.

2, Элемент по п. 1, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения чувствительности, инверторы выполнены с разными значениями коэффициента усиления, а затворы МДПтранзисторов соединены с выходом инвертора с меньшим коэффициентом усиления.

14531 2

Составитель Л.Степанов

Техред А. Кравчук Корректор И.Демчик

Редактор Н.Бобкова

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 7268/34 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Иосква, lli-35, Раушская наб., д. 4/5