Емкостный датчик-свидетель для контроля толщины напыляемой диэлектрической пленки

 

Изобретение относится к измери- ,тельной технике и имеет целью расширение диапазона контролируемь:х толщин диэлектрической пленки в процессе ее напыле1шя. Используемый в процессе напыления емкостный датчик-свидетель содержит диэлектрическое основанне 15 вьтолненное в виде цилиндра, установленного с возможностью вращения вокруг его продо11ьной оси 2, и размещенг-Еые по всей его внешней поверхности плоские электроды 3 и 4, имеющие гре6е гчатую форму и обращен™ ные один к другому своими зубцами. Во время ваку много напыления осаждаемая пленка изменяет емкость датчика между его электродами 3 и 4, Благодаря вращению основания емкостного датчика контролируемая пленка равномерно осаждается по всей поверхности цилиндрического емкостного датчика, вследствие чего обеспечивается линейное приращение емкости датчика-свидетеля в процессе напыления на него диэлектрической пленки. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 С 01. В 7/08

Р г" . ч г i):

Гк;и

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (2) ) 426063) /25-28 (22) 11.06 ° 87 (46) 07.02.89. Бюл, Р 5 (71} Львовский государственный университет им. И,Франко (72) Ж,Г,)Охимюк и Б,П,Коман (53) 621,317.391.531.71(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 398814, кл. G 01 В 7/08, 1971, (54) EK

КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ НАПЬ)ЛЯЕМОЙ ДИЭЛЕКТРЙЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к измери. тельной технике и имеет целью расширение диапазона контролируемых толщин диэлектрической пленки в процессе ее.напыления. Используемый в процессе напыления емкостный датчик-свиSU» 1456765 А i детель содержит диэлектрическое осно- вание 1, выполненное в виде цилиндра, установленного с возможностью вращения вокруг его продольной оси 2, и размещенные по всей его внешней поверхности плоские электроды 3 и 4, имеющие гребенчатую форму и обращенные один к другому своими зубцами, Во время вакуумного напыления осаждаемая пленка изменяет емкость датчика между его электродами 3 и 4, Благодаря вращению основания емкостного датчика контролируемая пленка равномерно осаждается по всей поверхности цилиндрического емкостного датчика, вследствие чего обеспечивается линей<Я ное приращение емкости датчика-свидетеля в процессе напыления на него диэлектрической пленки. 2 ил, 1456765

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в микроэлектронике для контроля толщины тонких диэлектричес- 5 ких пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении.

Цель изобретения — расширение диапазона контролируемых толщин диэлектрической пленки sa счет увеличения 10 площади осаждения пленки на датЧйксвидетель при обеспечении идентичности условий осаждения на всех, его участках поверхности, На фиг.1 показано схематично кон- 15 структивное выполнение емкостного датчика-свидетеля дляконтроля толщины напыляемой диэлектрической пленки; на фиг, 2 — сечение А-А на фиг, 1.

Емкостный датчик содержит основа- 20 ние 1, выполненное в виде цилиндра . из диэлектрика, установленного с возможнос тью в раще ни я в округ er о пр одольной оси 2, и размещенные по всей площади его внешней поверхности свер- 25 нутые в кольцо. плоские электроды 3 и

4, имеющие гребенчатую форму и обра щенные один к другому своими зубцами, которые расположены в промежутках между зубцами противолежащего электрода, Емкостный датчик-свидетель работает следующим образом.

Во время вакуумного напыления осаждаемая пленка образует диэлектри- 35 ческое покрытиена внешней поверхности цилиндрического основания 1 и на электродах 3 и 4 емкостного датчика, которое изменяет электроемкость этого датчика между его электродами, Во" 40 время осаждения пленки цилиндричес кое основание 1 вращается вокруг своi ей оси 2, Так как электроды 3 и 4 образуют единый гребенчатый цилиндри". ческий конденсатор, то его скорость вращения не влияет на точность измерения емкости, Каждому значению емкости гребенчатого конденсатора соответствует определенная толщина напыляемой пленки. Зависимость между толщиной пленки и емкостью гребенчатого конденсатора может быть определена. предварительной градуировкой, Использование емкостного датчикасвидетеля предлагаемой конструкции позволит контролировать в широком диапазоне толщину напыляемых диэлектрических пленок и увеличит срок службы датчика, так как благодаря выполнению диэлектрического основания в виде вращающегося цилиндра с распо-. ложенными на его внешней поверхности гребенчатыми электродами обеспечиваются увеличение емкости образованного ими конденсатора, а также более линейное приращение его емкости в процессе нанесения диэлектрической пленки.

Формула изобретения

Емкостный датчик-свидетель для контроля толщины напыляемой диэлектрической пленки, содержащий основание из диэлектрика и размещенные на нем плоские электроды гребенчатой формы, отличающийся тем, что„ с целью расширения диапазона контролируемых толщин, основание выполнено в виде цилиндра, установленного с возможностью вращения вокруг его оси, а электроды свернуты в кольцо.

Составитель Т.Бычкова

Редактор И,Горная Техред К.Ходанич Корректор Л. Пилипенко

Заказ 7494/38 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4