Контактная система к фотоэлектрическим преобразователям
Изобретение относится к полупроводниковым преобразователям солнечной энергии в электрическую. Цель изобретения - повышение надежности. Контактная система к фотоэлектрическим преобразователям включает последовательно расположенные друг над другом адгезионный слой из пленки силицида хрома, слоя нихрома, меди и антикоррозионного металла или сплава. Положительный эффект достигается при использовании пленок силицида хрома с поверхностным сопротивлением от 300 до 1000 Ом/
и толщине слоя меди от 3 до 15 мкм. 1 табл.
Изобретение относится к прямому преобразованию солнечной энергии в электрическую, в частности к полупроводниковым преобразователям солнечной энергии в электрическую. Цель изобретения - повышение надежности. П р и м е р. На фронтальную поверхность кремниевой пластины р-типа, с легированным фосфором слоем на глубину порядка 0,3 мкм наносят просветляющее покрытие: двуокись титана - двуокись кремния TiO2 - SiO2), в окнах которого методом обратной фотолитографии формируют контактную систему в виде гребенки из последовательно нанесенных слоев: металлоси- лицидного сплава (силицид хрома), нихрома, меди и антикоррозионного покрытия (серебро, никель, оловянно-свинцовый припой). На тыльной стороне кремниевой пластины диффузией бора получают изотипный переход и наносят аналогичную контактную систему. Контактную систему получают методом вакуумного нанесения тонких пленок. Металлосилицидный сплав для получения стехиометрического состава пленок наносят методом "взрывного" испарения или ионоплазменного напыления. Температура пластин при нанесении пленок от 453 до 493 К. Сопротивление металлосилицидной пленки от 300 от 1000 Ом/ , толщина пленки нихрома от 200 до 300 нм, меди - от 50 до 100 нм. После нанесения тонких пленок методом обратной фотолитографии формируют контактную гребенку, а затем проводят электрогальваническое осаждение меди на контактные полоски в сернокислом электролите до толщины от 3 до 15 мкм. На слой меди гальванически осаждают пленку защитного покрытия из антикоррозионных металлов или сплавов. Защитную пленку припоя также получают методом горячего лужения в ванне с припоем. Параметры преобразователей солнечной энергии с контактной системой приведены в таблице.
Формула изобретения
КОНТАКТНАЯ СИСТЕМА К ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯМ, содержащая последовательно расположенные друг над другом адгезионный слой, слой нихрома толщиной от 200 до 300 нм, слой меди и слой антикоррозийного металла или сплава, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности, в качестве адгезионного слоя используют пленку силицида хрома с поверхностным сопротивлением от 300 до 1000 Ом/о, а толщина слоя меди от 3 до 15 мкм.РИСУНКИ
Рисунок 1MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 11-2002
Извещение опубликовано: 20.04.2002
