Способ изготовления составного рубин-керамического микроинструмента

 

Изобретение относится к производству микроинструмента для распайки интегральных схем в электронной, электротехнической и радиотехнической промышленностях. Изобретение направлено на повышение выхода годных и стойкости микроинструмента. Для этого корпус заготовки формуют путем заливки рубиновой втулки керамическим шликером. Затем заготовку подвергают утильному обжигу, пропитывают на полную глубину насыщенным спиртовым раствором хлорида марганца и сушат следующим образом: нагревают до 100±10°С со скоростью 15-20°С/час, выдерживают, нагревают до 550±10°С со скоростью 100-150°С/час, снова выдерживают. При этом спекание ведут с двумя изотермическими выдержками: при 1200±10°С и максимальной температуре, составляющей 1520±30°С, причем скорость нагрева в интервале 1200-1520°С составляет 100±10°С/час. Выход годных составляет 40-42%, стойкость микроинструмента повышается в 1,5-2 раза. 4 табл.

союз советских социАлистических

РЕСПУБЛИК (51)4 С 04 В 35/10

gLEp ftpqr,q} }}}м}}„яп

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЫТВУ

ГОСУДАРСТВЕНХЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4242847/29-33 (22) 09.02.87 (46) 07.04.89. Бюл. }1 - 13 (72) В.С.Ромадов, Ю.В.Панков и Ь.Э.Кузнецов (53) 666.762 (088.8) (56) Электронная техника: Научнотехн.об. Гаэоразрядные приборы, 1971, вып. 2 (22), с . 98-104.

Типовой технологический процесс

КТР-2 ПГА 01201.00046: Комплект документов на типовой тех. процесс изготовления стержней КтР-2 и Кт-12

ПГА.012 01. 00074, (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОСТАВНОГО

РУБИН-КЕРАМИЧЕСКОГО МИКРОИНСТРУМЕНТА

{57) Изобретение относится к произ". водству микроинструмента для распайки интегральных схем в электронной, электротехнической и радиотехнической промышленностях. Изобретение на1

Изобретение относится к производству малогабаритных иэделий-заготовок для микроинструмента; используемого для распайки (разварки) интегральных схем в электронной, электротехнической и радиотехнической промышленностях.

Целью изобретения является повышение выхода годных и стойкости микроинструмента.

Керамический корпус заготовки формуют из спикера состава 85,52 керамика ВК 94-2 и термопластичная связка 14,5Х. Перед формованием в литьевой форме размещают рубиновый наконечник. Отформованные заготовки ук„„SU„„1470727 А1 правлено на повышение выхода годных и стойкости микроинструмента. Для этого корпус заготовки формуют путем заливки рубиновой втулки керамическим шликером. Затем заготовку подвергают утильному обжигу, пропитыва.ют на полную глубину насыщенным спиртовым раствором хлорида марганца и сушат следующим образом: нагревают до 100+10 С со скоростью 15-20 С/ч, выдерживают, нагревают до 550+10 С со скоростью 100-150 С/ч, снова выдерживают. При этом спекание ведут с двумя изотермическими выдержками: при 1200+10 С и максимальной температуре, составляющей 1520+30 С, причем скорость нагрева в интервале

1200-1520 С составляет 100+10 С/ч.

Выход годных составляет 40-42Х стойкость микроинструмента повышается в 1,5-2 раза. 4 табл. ладывают на керамические подцоны в один слой, пересыпая технической сажей, Поддоны устанавливают в печь, где осуществляют удельный обжиг заготовок. Остуженные заготовки опускают в концентрированный спиртовой раствор хлористого марганца до полной пропитки. Затем заготовки вновь укладывают на керамические поддоны и сушат по следующему режиму: до температуры 100+10 С нагревают со скоростью 15-20 С/ч, выдерживают в течение 1 ч, затем поднимают температуру со скоростью 100-150 С/ч до

550+10 С, выдерживают при этой тем)пературе в течение 1,5-2 ч, охлаждаз 1470727 ют с печью в течение 15-16 ч (табл.1 и 2).

Второй обжиг осуществляют в вакуумной печи типа СНВ или СШВ по следующему режиму: равномерный подъем температуры в течение 3-4 ч до 1200 10 С, выдержка 1 ч, подъем температуры со скоростью 100+10 С до 1520л30 С, выдержка 1 ч и охлаждение с печью 10-12 ч (табл.З и 4) .

Выход годных изделий 40-42Х.

Стойкость микроинструмента повьппается в 1,5-2 раза.

Зависимость выхода годных изделий 15 от скорости подъема температуры до

100+10 С приведена в табл.1.

Таблица 3

Выход годСкорость подъема температуры, С/ч

Примечание ных изделий, 7.

Экономически нецелесообразно

1Î0

120

42

41

32

Микротрещины соединения

130

Таблица f

Зависимость выхода годных от

20 температуры окончательного обжига приведена в табл.4.

Выход годных изделий, %

Скорость подъема температуры, С/ч

Примечание

Таблица 4

40

Экономически нецелесообразно

1450

Непрочное соединение рубина с керамикой

41

30

Микротрещины соединения

Трещины соединения

41

42

42

1600

Пережог керамики и соединения

Таблица 2 40

Скорость подьема температуры, С/ч

Выход годПримечание ных изделий, Е

90

Экономически нецелесообразно

250

Микротрещины соединения

То же

Зависимость выхода годных изделий от скорости подъема температуры в интервале 1200-1520 С приведена в табл.3, Зависимость выхода годных изделий от скорости подъема температуры до

550+10 С приведена в табл.2.

Температу- Выход год- Примечание ра, С ных изделий, 7

Формула изобретения

Способ изготовления составного рубин-керамического микроинструмента путем формования из термопластичного шликера на основе алюмооксидной керамики ВК94-2 заготовки с рубиновой вставкой на торце с последующим утильным обжигом и слеканием в вакууме, включающим равномерный нагрев за 3-4 ч до 1200 С, нагрев до максимальной температуры, выдержку при ней.и охлаждение, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения выхода годных и стойкости микроинструмента, заготовки после утильного обжига пропитывают на полную глубину насыщенным спиртовым раст5

1470727

Составитель А.Федотов

Техред Л.Сердюкова Корректор Л.Патай

Редактор Н.Гунько

Заказ 1433/27

Тираж 589

Подписное

ВНЯЛИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 вором хлорида марганца, сушат путем нагрева до 100 10 С со скоростью

15-20 C/÷, выдержки, нагрева до 550+

+10 С со скоростью 100-150 C/÷ и пов5 торной выдержки, а спекание проводят с двумя изотермическими вьщержкамн— при 1200 -10 С и максимальной темпера(Ъ туре 1520+30 С, причем скорость наго рева в интервале 1200-1520 С составляет 100+10 С/ч.