Вакуумный сорбционный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбционного насоса. По оси корпуса 1 размещен анод 3, окруженный охлаждаемым сосудом 5. Коаксиально сосуду 5 установлен сосуд 6. Полость между сосудами 5 и 6 разделена на секции, в каждой из которых размещен испаритель 9 геттера. При работе насоса испарители 9 включаются попеременно, а анод 3 и катод 4 включены постоянно. Откачка газов осуществляется на осаждаемых на поверхностях сосудов 5 и 6 и перегородок клепках геттера, причем для эффективной откачки инертных газов осуществляется их ионизация в зоне анода 3. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

СООЗ ССЕЕТСНИХ сОщиАлисти4еских

РЕСПУБ ЛИК д11 4 F 04 В 37/02

h.Л ИИ .М

Гй ЙТИ4 Т ., .1 Ч

Ь 1БЛИО:

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ST0PCKOhNV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

IVH ГННТ ССОР (21) 4350698/25-29 (22) 28.12.87 (46) 07.07.89; Бюл. Ф 25 (71) Тартуский государственный университет (72) А.А-А. Таммик (S3) 621.528.3 (088 .8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 354 175, кл . Р 04 В 37/02, 1970. (54) ВАКУУИНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбционного насоса. По оси корпуса 1 размещ

„.SU„„1492082 A1

2 анод 3, окруженный охлаждаемым сосудом 5. Коаксиал но сосуду 5 установлен сосуд 6. Полость между сосудами

5 и 6 разделена на секции, в каждой из которых размещен испаритеяь 9 геттера. При работе насоса испарители 9 включаются попеременно, а анод 3 и катод 4 включены постоянно.

Откачка газов осуществляется на осаждаемых поверхностях сосудов 5 и 6 и перегородок клепках геттера, причем для эффективной откачки инертнйх газов осуществляется их ионизация в зоне анода 3. 2 з.п.ф-лы, 149?082

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным вакуумным насосам.

Цель изобретения — улучшение от5 качных характеристик насоса.

На фиг.1 представлен насос, продольный разрез, на фиг.2 - то же, поперечный разрез; на фиг. 3 — схема подключения испарителей геттера к системе питания, Вакуумный сорбционный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2 и размещенный по оси корпуса 1 стержневой анод 3 и катод 4. Насос дополнительно содержит два цилиндрических охлаждаемых сосуда 5 и б,расположенных в корпусе 1 коаксиально аноду 3 с образованием кольцевой полости, разделенной на секции 7 при помощи радиальных охламдаемых полированных перегородок 8. Каждая секция 7 снабжена испарителем 9 геттера, расположенным параллельно стержневому аноду 3. Испарители 9 подключены 25 через переключатель 10 к источнику питания, перегородки 8 закреплены на стенках охламдаемых сосудов 5 и 6 с тепловым контактом.

Насос работает следующим образом.

На испарители 9 подается электропитание и в результате разогрева происходит испарение геттерного материала, например титана, и осаждение его на стенках секции 7, охпамдаемых до низких температур. Осаж35 денная пленка геттера активно поглощает поступающие в полость корпуса

1 через входной патрубок 2 газы из аткачиваемого объема. Эффективност ь работы насоса достигается включением в работу не всех секций сразу, а попеременно части из них. Переключение секций производится автоматически при помощи переключателя 10.

Более интенсивная откачка инертных газов происходит в центральной части насоса, где на анод 3 подается высокое напряжение и электроны, эмитируемые катодом 4, двигаясь по кольцевым орбитам вокруг анода 3, иониэируют откачиваемый гаэ, который поглощается пленкой титана.

Таким образом, переменная работа секций насоса, каждая иэ которых эффективно откачивает определенный род газа, обусловливает улучшение откачных характеристик насоса. формула изобретения

1 . Вакуумный с ор бцио нный нас ос, содержащий корпус с выходным патрубком, размещенный по оси корпуса стержневой анод и катод, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью улучшения сткачных характеристик, насос дополнительно содержит два цилиндрических охлаждаемых сосуда, расположенных в корпусе коаксиально аноду с образованием кольцевой полости, ра.зделенной на секции при помощи радиальных охлаждаемых полированных перегородок, и каждая секция снабжена испарителем геттера.

2. Насос поп.1, о тли ч а юшийся тем, что испарители геттера расположены параллельно стержневому аноду.

3. Насос по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что перегородки закреплены с тепловым контактом на стенках охлаждаемых сосудов.

1492082

Щг3

Составитель В. Кряковкин

Редактор И. Дербак Техред Л.Олийнык Корректор С. Шекмар

Заказ 3851/37 Тираж 522 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул. Гагарина, 101