Устройство для введения легко испаряющихся примесей в расплав полупроводниковых материалов
Хе 150488
Класс 12с, 2;
401, 1за
СССР
0ЛИСАНИК ИЗОВРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Подписная epgnnn Ла 89
Л. П. Калнач и А. Я. Одзиня
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВЕДЕНИЯ ЛЕГКОИСПАРЯЮЩИХСЯ
ПРИМЕСЕЙ В РАСПЛАВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
МАТЕРИАЛОВ
Заявлено 12 октября 1961 г. за № 747956/22-2 в Комитет Ilo делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Б1оллетене изобретений» Х 19 за 1962 г, Недостатком известного устройства для введения легкоиспаряющихся .примесей непосредственно в полупроводниковый расплав является то, что в процессе вытягивания кристаллов вследствие колебания давления паров примеси полупроводниковый расплав засасывается в сосуд с примесью, когда ее еще имеется значительное количество.
Это приводит к нарушению технологического процесса.
Описываемое устройство исключает казанный недостаток. Достигается это тем, что оно снабжено поплавком.
На чертеже изображено предлагаемое устройство.
Устройство состоит из пузырька 1 грибовидной формы с цилиндрической ножкой 2, имеющей отверстие 8, которое плотно закрыто пришлифованным к нижней поверхности ножки поплавком 4. Держатель 5 прикреплен к концу штока для вытягивания кристаллов.
Принцип действия устройства следующий. Пузырек 1 через отверстие 8 заполняют легкоиспаряющейся примесью. После распла влепия полупроводникового материала устройство опускают в расплав так, что в последний погружены поплавок и часть ножки пузырька.
При этом примесь в пузырьке нагревается и испаряется. По достижении соответствующего давления пары примеси отталкивают поплавок, выходят в расплав и растворяются в нем. При уменьшении давления паров поплавок автоматически закрывает отверстие, предотвращая таким образом засасывание расплава в пузырек. № 150488
Предмет изобретения
Устройство для введения легкоиспаряющихся примесей в расплав полупроводниковых материалов, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью редотв а1цения засасывания расплава в устройство, последнее снабжено поплавкой .
Редактор Н, Л Корченко Теаред А, А. Камышникова Корректор Р. Al Рамазанов
Гароди. к печ 11Х-62 г, Формат бум, 70Х108 /ц Объем 0,18 изд. л, .Зак. 9312 Тираж 650 Цена 4 кбн.
ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, М Черкасский пер„д. 2/6.
Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14,
