Патент ссср 151421

 

Союз Советских

Социллистических

РеспуБАИК опис нив

И 3 О 5 Р ЕТ Е Н И.Я

Класс 27с1, Зо2

А. П. Горшков, А. М. Родин и Д. К. Брунеллер

ИСКРОВОЙ ИОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС

Ионно-сорбционные насосы искрового типа, содержащие два электрода основного разрядного промежутка и вспомогательный поджигающий электрод, известны.

В этих насосах поджигающий разряд возбуждается в вакууме между двумя электродами, и для его возбуждения требуется высокое напряжение (десятки кв). Этот разряд нестабилен по амплитуде и времени.

Предлагаемый искровой ионно-сорбционный насос отличается от известных тем, что позволяет снизить величину поджигающего напряжения и обеспечивает стабилизацию поджигающего разряда. Это достигается тем, что между поджигающим и катодным электродами основного разрядного промежутка расположена тонкая прокладка из диэлектрика, например слюда, по торцу которой распространяется поджигающий разряд.

На чертеже показана электрическая схема предлагаемого насоса.

Описываемый насос выполнен в виде трехэлектродного прибора, состоящего из электрода 1, катодного электрода 2 и поджигающего электрода 8. Между электродами 2 и 8 расположена тонкая прокладка 4 из диэлектрика (слюда, кварц, керамика и т. д.).

Конденсатор 5, заряженный до напряжения

5 кв от маломощного выпрямителя через большое сопротивление б, разряжается по вакуумному зазору между электродами 1 и 2 при поПодписная арцппа Ло 129 даче маломощного поджигающего импульса с амплитудой напряжения в несколько киловольт на электроды 8 и 2. По торцу зажатой между этими электродами слюдяной прокладки 4 развивается поджигающий разряд, мгновенно инициирующий сильноточный пробой основного вакуумного промежутка между электродами 1 и 2. При этом снижается поджигающее напряжение и стабилизируется поджигающий разряд.

Описанный искровой ионно-сорбционный насос может быть использован для откачки газоотделяющих мощных электровакуумных приборов, а также для откачки лабораторных установок до высокого и сверхвысокого вакуума.

Предмет изобретения

Искровой ионно-сорбционный насос, содержащий два электрода основного разрядного промежутка и третий вспомогательный поджигающии электрод, отличающийся тем, что, с целью снижения величины поджигающего напряжения и стабилизации разряда, между поджигающим и катодным электродами основного разрядного промежутка расположена тонкая прокладка из диэлектрика, например слюды, по торцу которой распространяется поджигающий разряд.

¹ 151421

Редактор П. Вербов Техред Л. К. Ткаченко Корректор Н. В. Гераськина

11одп. к печ. 10/Х вЂ” 63 r. Формат бум. 60)(90>/g Объем 0,23 изд. и.

Ваказ 3064/1 Тираж 1200 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Патент ссср 151421 Патент ссср 151421 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх