Патент ссср 153982

 

V» 153982

Класс Н 05j; 21g, 21в1

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 97

А. Н. Сербинов

ИОН НЪ|Й ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО УСКОР ИТЕЛЯ

Заявлено !3 февраля 1962 г. за Хо 764617/26-9 в Комитет по делам изобретений и открытий нри Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» М 8 за 1963 г.

Известные ионные источники электростатического ускорителя, содержащие систему вытягивания, снабженную катодом, диафрагмой с отверстием в центре и анодом, имеют высокую степень рекомбинации атомарного водорода на металлической поверхности анода и, следовательно, малое значение ионного тока.

В предлагаемом ионном источнике электростатического ускорителя увеличение ионного тока и снижение расхода газа достигнуты применением стеклянной диафрагмы и использованием в качестве анодB держателя диафрагмы.

На чертеже приведена конструкция описываемого ионного источника.

Ионный источник электростатического ускорителя содержит систему вытягивания, включающую в себя катод 1, в кольцевую выточку которого плотно входит диафрагма 2 с отверстием в центре.

Диафрагма 2 системы вытягивания выполнена из стекла, например, типа пирекса и снабжена кольцевым выступом, выходящим в кольцевую выточку катода 1, и наружной кольцевой канавкой, что позволяет применять отверстия вытягивания в диафрагме диаметром

1 — 2 лм и создавать эффективные источники для электростатических ускорителей с малым расходом газа.

В качестве анода системы вытягивания служит держатель диафрагмы, выполненный в виде разъемного цилиндра 8, входящего в кольцевую канавку диафрагмы. Держатель диафрагмы закреплен 1га корпусе 4 источника посредством опирающегося на фиксирующую пружину 5 упорного кольца б и накидной гайки 7. № 153982

Внутренние размеры цилиндра 8 выбирают такими, чтобы при сборке диафрагма 2 в цилиндре имела люфт порядка нескольких десятых миллиметра, что необходимо для исключения радиальных напряжений при недостаточно точной склейке деталей ионного источника.

Описанный ионный источник электростатического ускорителя может быть использован в ускорительных трубках для ускорения относительно небольших ионных токов (100 — 200 мка) .

Предмет изобретения

Ионный источник электростатического ускорителя, содержащий систему вытягивания, снабженную катодом, диафрагмой с отверстием в центре и анодом, отличающийся тем, что, с целью увеличения ионного тока и снижения расхода газа, диафрагма системы вытягива ния выполнена из стекла, например, типа пирекса и снабжена кольцевым выступом, входящим в кольцевую выточку катода, и наружной кольцевой канавкой, а в качестве. анода использован держатель диафрагмы, выполненный в виде разъемного цилиндра, входящего в кольцевую канавку диафрагмы и закрепленного .на корпусе ионного источника посредством опирающегося на фиксирующую пружину упорного кольца и накидкой гайки.

Редактор Колыбииа Техред Т. П. Курилко Корректор Т. В. Муллина

Г1одп. к пел. 16 П вЂ” 63 г. Формат бум, 70+ 1081/,г, Объем 0,18 изд. л

Заказ 1786/9 Тираж 1225 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.

Патент ссср 153982 Патент ссср 153982 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к газоразрядной плазменной технике и технологии, в частности к устройствам генерации низкотемпературной газоразрядной плазмы в больших объемах

Изобретение относится к ионно-оптическим ускорителям ионов и может быть использовано в ионных двигателях

Изобретение относится к области ускорительной техники и может быть использовано для получения мощных, высокооднородных пучков ленточной геометрии

Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для получения потоков частиц, используемых, например, для вакуумного нанесения тонких пленок

Изобретение относится к области электронной техники и может найти применение при изготовлении интегральных схем с большой информационной емкостью методом литографии, а также в других процессах прецизионной обработки поверхности материалов ионным лучом, например нанесение на субстрат рисунков с изменением в нем поверхностных свойств материалов, в частности изменение типа проводимости в полупроводниковых материалах путем внедрения легирующих ионов, изменение других физических свойств материала за счет внедрения одноименных и инородных ионов, создание на поверхности новых слоев в результате осаждения атомов вещества из окружающих паров облака под влиянием падающих ионов, удаление вещества с поверхности субстрата в результате его распыления

Изобретение относится к технике получения импульсных мощных ионных пучков

Изобретение относится к ионным источникам и может быть использовано в масс-спектрометрии для элементного анализа жидкостей и газов, в ионной технологии и т.д

Изобретение относится к ионным источникам с закрытым дрейфом электронов, которые могут быть использованы в качестве двигателей, в частности, для космических кораблей, либо в качестве ионных источников для промышленных операций, например нанесение покрытий напыления в вакууме

Изобретение относится к ионным источникам для циклотронов (внутренним, закрытого типа) и может использоваться в циклотронной технике
Изобретение относится к поверхностно-плазменным источникам отрицательных ионов, а именно к способам получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках, и может быть использовано в ускорителях заряженных частиц или устройствах для осуществления термоядерного синтеза

Изобретение относится к технике получения импульсных мощных ионных пучков

Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно - к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков, и к способам их работы

Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в ускорительной технике

Изобретение относится к технологии электромагнитного разделения изотопов

Изобретение относится к технике получения ионных пучков, в частности пучков многозарядных, высокозарядных и поляризованных ионов

Изобретение относится к получению электронных и ионных пучков и может быть использовано в ускорительной технике

Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в области ускорительной техники

Изобретение относится к источникам ионов, применяемым на ускорителях заряженных частиц
Наверх