Затвор для импульсного напуска газа

 

(191 (111 (5! ) g Н О! J 17/22

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ я »

1 ф -+

$P r (, (N СОЮЗ СОВЕТСНИХ

--.. " Ф-"».4 "-- СОЦИАЛИСТИЧЕО ИХ

Ф вЂ” РЕСПУБЛИН

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

MPH ГКНТ СССР

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (46) 07. О1. 9 I Нвл. 1( (21) 4364894/2 I (22) 18.01.88 (72) Л.П.Вересов, П.А.Литвинов, Ю.П.Неустроев и Э.С.Николаев (53) 621.527.2(088.8) (56) Приборы и техника эксперимента.

М., 1975, Р 5, с. 169-170.

Приборы и техника эксперимента.

М., 1980, Р 1, с. 251-252. (54) ЗАТВОР ДЛЯ ИМПУЛЬСНОГО НАПУСКА

ГАЗА (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для доэированного напуска порций газа в вакуумные объемы различных электрофизических устройств, например в разрядные камеры плазменных источников ионов. Цель иэобретения— повышение надежности и долговечностидостигается путем уменьшения количества герметиэирующих стыков и уменьшения количества элементов, находящихся в полости гаэового тракта. Затвор для импульсного напуска газа содержит фланец 1 с седлом 2, клапан, выполненный в виде якоря 3 с уплотняющим элементом 4, пружину 5, электромагнит 6, корпус 7, уплотняющее кольцо 8, гайки 9 и 1О, мембрану 11, герметизирующую с помощью ножевидного уплотнения 12 полость 13 газового тракта затвора. На корпусе 7 электромагнита 6 размещена катушка 15. Доэи" рующее отверстие 16 выполнено соосно фланцу 1, Магнитопровод !7 установлен в корпусе 7. Предложенный затвор для импульсного напуска гаэа позволяет повысить термостойкость, обеспечивает удобство регулировки рабочего эаэора, снижает расход рабочего газа.

3 э ° и. ф-лы, 3 ил.

3 150711

Изобретение относится к области вакуумной техники и предназначено для дозированного напуска порций rasa в вакуумные объемы различных электрофиэических устройств, в частности н разрядные камеры плазменных источников ионов.

Целью изобретения является повы шение надежности и долговечности за 1р счет уменьшения количества гермети- эирующих стыков и уменьшения количества элементов, находящихся в полости газового тракта.

На фиг, 1 представлен затвор для 15 импульсного напускв rasa, в разреэе1 на фиг. 2 — paspes A-А на фиг. 1; на фиг. Э вЂ” узел Т на фиг. 1.

Затвор для импульсного напуска rasa содержит фланец 1 с седлом 2, 20 клапан, выполненный в виде якоря 3 с уплотняющим элементом 4, элемент

4 возврата в виде металлической пружины 5, электромагнита 6 с корпусом 7, уплотняющего кольца 8, накидной гай- 25 ки 9, контргайки 10 н мембраны 11, герметиэирующий с помощью ножевидного уплотнения 12 полость 13 газового тракта затвора. Для надежной герметизации под мембраной 11 расположено 3р медное кольцо 14. На корпусе 7 элект- ромагнита 6 размещена катушка 15. Дозирующее отверстие 16 выполнено соосыо флвнцу 1. Магнитопровод 17 установлен н корпусе 7 электромагнита 6.

Затвор работает следующим образом.

Рабочий газ из питающей системы поступает в полость 13 затвора, прн подаче электрического импульса на ка-. тушку 15 электромагнита 6 якорь Э притягивается к нему, отрываясь от седла 2, и открывает проход рабочему газу через доэирующее отверстие 16 в вакуумный объем газораэрядной камеры источника. По окончании электрического импульса якорь 3 под дейст45 вием пружины 5 прижимается к седлу 2, закрывая доступ газа в разрядную ка меру. Под давлением газа в системе мембрана 11 прилегает к торцу электромагнита 6 в зоне его полюсов и со- 50 .хрвняет свою работоспособность. При регулировании зазора в сторону его

4 4 уменьшения корпус 7 ввинчивается по гайке 9, при этом мембрана 11 деформируется и рабочий зазор между торцом якоря 3 и торцом магнитопроводв

17 электромагнита 6 уменьшается и наоборот. При этом, поскольку пружина

5 опирается по периферии мембраны 11 в зоне ее герметизации, то деформации ее не происходит и, следовательно, усилие ее воздействия на якорь 3 остается постоянным.

Затнор для импульсного напуска газа позволяет повысить термостойкость, обеспечивает удобство регулировки рабочего зазора, снижает расход рабочего газа.

Формула изобретения

1. Затвор для импульсного напускй

rasa содержащий седло с фланцем и с дозирующим отверстием, соосно которому размещены клапан, выполненный в виде якоря и снабженный элементом возврата, электромагнит с магнитопроводом, размещенный в корпусе, и накидная гайка, отличающийся тем, что, с целью поьппения надежное ти и долговечности, в него введена мембрана, которая жестко и соосно дозирующему отверстию закреплена на фланце седла между якорем и электро"1 магнитом накидной гайкой с осевым отверстием, в котором установлен корпус электромагнита с воэможностью осевого перемещения и деформации мембраны магнитопроводом.

2. Затвор по п. 1, отличаюшийся тем, что мембрана выполне на иэ ферромагнитного материала.

Э, Затвор по пп. 1 и 2, о т л ич а ю шийся тем, что элемент возврата выполнен в виде кольца, закрепленного на клапане, .и радиальных лепестков, размещенных с возможностью скольжения по периферии мембраны.

4. Затвор по пп. 1 - 3, о т л ич а ю шийся тем, что элемент возврата выполнен из ферромагнитного материала, например пермаллоя.

1507114

Составитель Ю.Яресько

Техред И,Дрык Корректор В.Кабаций

Редактор Т.Юрчикова

Заказ 672

Тираж 307

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по иэобретениям и открытиям при ГКНТ CCCP

113035, Иосква, М-35, Раувская наб., д. 4/5 ° Ф Ю Ю

Проиэводственио-иэдателъский комбинат "Патент", г. Уигород, ул. Гагарина, 101