Способ фотографического размножения периодических штриховых изображений

 

Изобретение относится к фоторепродукционной технике , в частности, к способам фотографического размножения при получении фотошаблонов для радиопромышленности и микроэлектроники, для репродукционных процессов в полиграфии. Целью изобретения является уменьшение дифракционных искажений изображения при многократном размножении. В соответствии с изобретением проводят контактное копирование оригинала на светочувствительный материал с толщиной светочувствительного слоя 100-200 мкм с зазором между ними 10-30 мкм, осуществляют химико-фотографическую обработку проэкспонированного материала, полученный фотошаблон копируют на регистрирующий светочувствительный материал с зазором между ними, равным зазору, используемому при копировании оригинала. Копирование проводят в свете когерентного или частично когерентного источника излучения. В результате можно воспроизвести неискаженное изображение с высокой резкостью, а также предотвратить износ копируемых фотошаблонов за счет применения на промежуточной стадии процесса толстослойных светочувствительных материалов и наличия одинакового зазора на обоих этапах копирования.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ.

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК,. Я0 бн (д1) 4 G 03 С 5/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPbfTHRM

ПРИ ГКНТ СССР (21) 3967920/24-63 (22) 24.10.85 (46) 15.09. 89. Бюп. 1 р 34 (71) Всесоюзный государственный научно-исследовательский и проектный институт химико-фотографической промышленности (72) Ю.С.Андреев, В.В.Тарновецкий и Л.Ш. Садовник (53) 771,5+621.382 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 996982, кл. G 03 С 5/08, 1982. (54) СПОСОБ ФОТОГРАФИЧЕСКОГО РАЗМНОЖЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ ШТРИХОВЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ (57) Изобретение относится к фоторепродукционной технике, в частности к спо со бам фотографического размножения при получении фотошаблонов для радиопромышленности и микроэлектроники, для репродукционных процессов в полиграфии. Целью изобретения является уменьшение дифракционных искаИзобретение относится к фоторепродукционной технике и может быть использовано в частности при.изготовле †нии фотошаблонов и изделий в микроэлектронике.

Цель изобретения — уменьшение дифракционных искажений изображения при многократном размножении.

Способ осуществляют следующим образом.

2 жений изображения при многократном размножении. В соответствии с изобретением проводят контактное копирование оригинала на светочувствительный материал с толщиной светочувствительного слоя 100-200 мкм с зазором между ними 10-30 мкм, осуществляют химикофотографическую обработку проэкспо— ниро ванно го материала, полученный фотошаблон копируют на регистрирующий светочувствительный материал с зазором между ними, равным зазору, используемому при копировании оригинала. Копирование проводят в свете когерентного или частично когерентного источника излучения. В результате а можно воспроизвести неискаженное изображение с высокой резкостью, а также предотвратить износ копируемых фотошаблонов ва счет применения на С промежуточной стадии процесса толстослойных светочувствительных материалов и наличия одинакового зазора на обоих этапах копирования.

Оригинал — стеклянную пластину со сформированным на ней изображением— копируют в когерентном излучении от гелий †неоново лазера на высокоразрешающую галогенсеребряную пластинку с толщиной светочувствительного слоя

100-2О0 мкм с зазором между пластинкой и оригиналом 10-30 мкм.

Проэкспонированную пластину проявляют, фиксируют, промывают и сушат.

1508190

Полученный фотошаблон копируют контактным способом в свете гелийl0

Формула из обретения

Составитель Г. Самохвалов

Техред М.Ходанич Корректор С.йекмар

Редактор А. Огар

Заказ 5539/49 Тираж 411 Подписное.ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбин .т "Патент", r.Óæãîðoä, ул. Гагарина,101 неонового лазера на высокоразрешающую галогенсеребряную пластинку, например типа ВЛР, с таким же зазором, как и при копировании оригинала на фотошаблон (10-30 мкм) и проводят химико-фотографическую обработку экспонированного светорегистрирующего материала.

Способ фотографического раэмноже" 15 ния периодических штриховых иэобра1 жений, включающий копирование оригинала на фотошаблон с зазором между ними и последующее копирование с фотошаблона на регистрирующий светочувствительный материал с таким же зазором с использованием при копировании когерентного или частично когерентного излучения, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью уменьшения дифракционных искажений изображения при многократном размножении, зазор 3 устанавливают равным 10 + 8 i 30 мкм„ при этом используют фотошаблон с толщиной светочувствительного слоя 100-200 мкм,