Способ контроля периодических изображений

 

Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и предназначено для контроля качества изготовления фотошаблонов интегральных схем. Целью изобретения является повышение точности контроля за счет увеличения площади контролируемой области периодического изображения. Цель изобретения достигается тем, что выделяют три области контролируемого периодического изображения, мультиплицируют их, взаимно совмещают и компенсируют. По степени компенсации судят об однородности контролируемого периодического изображения. Выделение трех областей позволяет устранить зависимость степени компенсации от координат расположения дефектов. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„.ви„„шпдд д1 (su e С 06 К 9/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

r1O ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 назначено для контроля качества изготовления фотошаблонов интегральных схем. Целью изобретения является повышение точности контроля за счет увеличения площади контролируемой области периодического изображения.

Цель изобретения достигается тем, что выделяют три области контролируемого периодического изображения, мультиплицируют их,взаимно совмещают и компенсируют. По степени компенсации судят об однородности контролируемого периодического изображения.

Выделение трех областей позволяет устранить зависимость степени компенсации от координат расположения дефектов. 2 ил.

1 (21) 4262766/24-24 (22) 15.06.87 (46) 30.09.89. Бюл. М - 36 (71) Куйбышевский филиал Физического института им. II.Н.Лебедева (72) В.Н.Куликов (53) 772.99 (088.8) (56) Патент США У 37449 17, кл. G 01 j 3/18, опубл. 1976.

Авторское свидетельство СССР

N 1088446, кл. G 01 j 3/18, 1981 (прототип) . (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ

ИЗОБРАЖЕ НИЙ (57) Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и предобъективы 10 и 11, диафрагмы 12 и

i3, дифракционные решетки 14 и 15, объективы 16 и 17, диафрагмы 18 и 19, зеркало 20, объективы 21, полупрозрачное зеркало 22, контрольный экран

23, объектив 24, фотоприемник 25 и электронный блок 26 регистрации. На контролируемой структуре имеются дефекты 27-29. Позиции 30-36 приведены для пояснения функциональной схемы.

Способ осуществляется в следующей последовательности.

Операция мультипликации. Луч света от лазера 1 направляетоя зеркалами 2 на вход коллиматора 3, расширяется и фокусируется объективом 4, в сходящемся световом пучке которого располагаются контролируемое периодическое изображение 5 и входная диафрагма 6, помещенная возможно ближе

Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и предназначено для использования при контроле качества изготовления фотошаблонов интегральных схем.

Цель изобретения — повышение точности контроля за счет увеличения площади контролируемой области периодического изображения.

На фиг.1 изображена принципиальная схема устройства, предназначенного для осуществления предлагаемого способа на фиг.2 — функциональная схема устройства.

Устройство содержит лазер 1, зеркала 2, коллиматор 3, объектив 4, за которым размещается контролируемое периодическое изображение 5,входную диафрагму 6, объектив 7, полупрозрачное зеркало 8, зеркало 9, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

15 ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности контроля, производят оптическое маскирование периодического изображения, выделяя три

его одинаковые области, первая из которых совпадает с оптическим центром периодического иэображения, а вторая и третья находятся на равных расстояниях по разные стороны от первой, формируют два независимых мультиплицированных оптических сигнала для каждой из выделенных

11753 Ь областей путе, и".ðèîäèческой фаэовой модуляции их ; ространствеHHoчастотных спектров, совмещают муЛьтиплицированные оптические сигналы первой области с мультиплицированными сигналами второй и третьей облас-тей, соответственно, после чего производят оптическую компенсацию всех

10 совмещенных оптических сигналов и по степени компенсации судят об однородности контролируемого периодического иэображения. ис. 1

1511753

Составитель А.Краснов

Редактор И. Касарда Техред М.Дидык Корректор О. Кравцова

Заказ 5905/52 Тираж 668 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101