Стекло

 

Изобретение относится к производству бесщелочных легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в электронной технике, в частности в качестве защитных диэлектрических покрытий ИМС. С целью повышения термического коэффициента линейного расширения и водоустойчивости стекло включает следующие компоненты, мас.%: PBO 51,52-63,80

B<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 5,68-6,43

SIO<SB POS="POST">2</SB> 19,64-24,97

ZNO 6,65-7,51

SRO 4,23-9,57. Термический коэффициент линейного расширения (72,5-92,5)<SP POS="POST">.</SP>10<SP POS="POST">-7</SP> град<SP POS="POST">-1</SP>, гидролитический класс-первый. 2 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

42 А1 (19) 111) (5ц 4 С 03 С 3/074

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4274894/23-33 (22) 02.07.87 (46) 23.10.89. Бюл. 1а 39 (71) Минский радиотехнический инсти тут (72) И.Л.Раков, А.П.Молочко, Н.П.Соловей и Е.В.Горбачева (53) 666.112.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 617398, кл, С 03 С 3/10, 1978, Патент СЫА Р 3868334, кл,.252-520, 1975, Изобретение относится к производству бесщелочных стекол, которые могут быть использованы в электронной технике, в частности для защитных диэлектрических покрытий интегральных микросхем.

Целью изобретения является повышение термического коэффициента линейного расширения и водоустойчивости стекла.

При составлении шихт используют сырьевые материалы марки ч., х.ч., ч.д.а. Стекло варят в электрической печи KO-14 при 1250ф10 С с выдержd кой 0,3-0,5 ч. Выработку стекломассы осуществляют в формы для изготовления необходимых образцов.

В табл.1 приведены составы предлагаемого стекла.

Свойства стекол приведены в табл.2. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к производству бесщелочных легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в электронной технике, в частности в качестве защитных диэлектрических покрытий КИС. С целью повышения термического коэффициента линейного расширения и водоустойчивости стекло включает следующие компоненты, мас.Ж: PbO 51,52-63,80, В О.у

5,68-6,43, 810а 19,64-24,97, ZnO

6,65-7,51, SrO 4,23-9,57.Термический коэффициент линейного расширения (72,5-92,5) ° 10 град, гидролитичес-. кий класс — первый. 2 табл.

Стекло обладает хорошими технологическими свойствами. При относительно невысокой температуре синтеза о

1250+10 С оно хорошо проваривается и осветляется при незначительной выдержке, не превышающей 30 мин,обладает хорошими выработочньачи свойствами, широким интервалом изменения вязкости.

Данное соотоношение оксидов позволяет расширить интервал значений ТКЛР от 72 i10 до 92,5 ° 10 град, что обеспечивает более широкие воэможности использования стекла. Кроме того, данное стекло характеризуется высоК0А эодоустойчивостью H ОтнОсится K первому гидролитическому классу.При этом оно является легкоплавким,имеет сравнительно невысокие температуры начала размягчения 5 10-518 С.

1516470

Таблица 1 компонентов, мас.Х в составе

Содержание

Компоненты

57,5

5,98

20,64

6,98

8,9

63,8

5,68

19,64

6,65

4,23

PbO

В209

SiO

ZnO

SrO

51,52

6,43

24,97

7,51

9,57

Таблица 2 состава

Свойства стекол

518

77,3

510

92,5

1,1 ° 10

) 7

72,5

9,0 10

1,8 -10

450-1000

700

450-1000

680

450-1000

675

Составитель М.Гулюкин

Техред А.Кравчук Корректор В.Кабаций

Редактор Н,Рогулич

9 Ф

Тираж 418

Заказ 6348/23

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Проиэводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

Сочетание перечисленных свойств позволяет рекомендовать данное стекло для получения диэлектрических защитных покрытий интегральных микро5 схем, работающих в условиях повышенной влажности. Отсутствие кристаллизации в широком интервале температур и хорошая растекаемость позволяют получать стеклопленки при различных температурах хорошего качества (пористость пленки составляет не более

1-3 cM ).

Использование стекла в производстве интегральных микросхем обеспечит надежную их изоляцию при сохранении стабильности электрофиэических

Температура начала размягчения, С

ТКЛР, al 10, град

Удельное электрическое сопротивление при 20 С, Ом см

Отсутствие кристаллизации в интервале температур, С

Гидролитический класс о

Температура оплавления пленки, С характеристик полупроводниковых приборов.

Формула изобретения

Стекло для защитных покрытий,включающее PbO, В О, SiO<, ZnO, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения термического коэффициента линейного расширения и водоустойчивости, оно дополнительно содержит

SrO при следующем соотношении компонентов, мас.7.:

РЬО 51,52-63,80

В О 5,68-6,43

SiO 19,64-24,97

ZnO 6,65-7,51

Sr0 4,23-9,57