Способ динамической градуировки измерителей парациальных давлений
Изобретение относится к приборостроению и позволяет снизить инерционность регулирования парциального давления. Для этого при осуществлении способа динамической градуировки измерителей парциальных давлений, основного на создании регулируемого давления паров от источника исследуемого вещества и редукции его с помощью системы камер отделенных друг от друга диафрагмы 1 и 7 известной проводимости, в качестве источника паров исследуемого вещества используют твердоэлектролитную ячейку 3 с проводимостью по ионам исследуемого вещества, а регулирование давления паров осуществляют изменением напряжения на твердоэлектролитной ячейке при постоянной температуре. Устройство для осуществления способа содержит также нагреватель 8, термопары 9, вакуумные трубопроводы 10, фланец 6 для присоединения к испытательному объему. Регулируемое напряжение от источника постоянного тока подается на электроды 4 твердоэлектролитной ячейки 3. 1 ил.
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано в вакуумной технике для градуировки измерителей парциальных давлений и датчиков массовых потоков паров веществ. Целью изобретения является снижение инерционности регулирования парциального давления. На чертеже изображено устройство для осуществления способа. Оно содержит цилиндрическую камеру, разделенную на две части сменной диаграммой 1 с калиброванным отверстием. В одной части 2 этой камеры расположена твердоэлектролитная ячейка 3, которая является источником паров исследуемого вещества. Разность потенциалов, прикладываемая к электродам 4 ячейки, определяет количество исследуемого вещества, поступающего в камеру. Другая часть 5 оканчивается фланцем 6 для присоединения к испытательной камере, закрытым диафрагмой с отверстием 7, ограничивающим телесный угол выхода пучка молекул или атомов исследуемого вещества. Камера снабжена нагревателем 8, который поддерживает все ее части при постоянной температуре. Для контроля температуры в камере установлены термопары 9 у калиброванного отверстия, к твердоэлектролитной ячейки и в наиболее холодной части камеры. К обеим частям камеры подведены трубопроводы 10 с запорной арматурой, по которым объемы камеры могут вакуумироваться. Твердоэлектролитная ячейка 3 имеет проводимость по ионам исследуемого вещества, поэтому величина давления пара, создаваемая в части 2 камеры, будет определяться величиной электрического тока, проходящего через твердоэлектролитную ячейку. Это позволяет осуществлять регулирование давления паров исследуемого вещества от нулевого значения до величины давления насыщенного пара исследуемого вещества при данной температуре. После присоединения части 5 камеры к испытательному объему камера вакуумируется с помощью трубопроводов 10 и разогревается до рабочей температуры твердоэлектролитной ячейки 3 с помощью нагревателя 8. Затем на электроды 4 подается напряжение, величина которого зависит от требуемого давления или потока паров исследуемого вещества, находящегося в твердоэлектролитной ячейке 3. Калиброванное отверстие, через которое молекулы или атомы исследуемого вещества попадают в часть 5 камеры с высоким вакуумом, имеет линейные размеры, не превышающие длины свободного пробега молекул (атомов) исследуемого вещества в области используемых давлений и температур. Часть потока молекул (атомов) исследуемого вещества, попадающая в испытательный объем, определяется отверстием 7 в диаграмме, отделяющей часть 5 камеры от испытательного объема. Благодаря использованию в качестве источника паров исследуемого вещества твердоэлектролитной ячейки и регулированию давления паров изменением напряжения на ячейки при постоянной температуре достигаются низкая инерционность регулирования и широкий диапазон получаемого парциального давления исследуемого веществаг
Формула изобретения
Способ динамической градуировки измерителей парциальных давлений, основанный на создании регулируемого давления паров от источника исследуемого вещества и редукции его с помощью системы камер, отделенных одна от другой диафрагмами известной проводимости, отличающийся тем, что, с целью снижения инерционности регулирования, в качестве источника паров исследуемого вещества используют твердоэлектролитную ячейку с проводимостью по ионам исследуемого вещества, а регулирование давления, паров осуществляют изменением напряжения на твердоэлектролитной ячейке при постоянной температуре.РИСУНКИ
Рисунок 1MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 36-2000
Извещение опубликовано: 27.12.2000
