Способ изготовления кремниевых газочувствительных элементов

 

Изобретение относится к области анализа газов, в частности к способам изготовления полупроводниковых чувствительных элементов газовых детекторов для контроля содержания в воздухе паров диэтилового эфира, которые могут быть использованы в автоматизированных системах контроля и управления качеством воздушной среды производственных помещений. Цель изобретения - повышение чувствительности элементов к диэтиловому эфиру и достигается путем обработки элементов до получения сенсибилизирующего эффекта хлорметилтрихлорсиланом. При обработке чувствительных элементов хлорметилтрихлорсиланом на их поверхности образуются хлорметильные функциональные группы, являющиеся активными центрами специфической адсорбции паров диэтилового эфира. За счет этого достигается повышение чувствительности элементов к диэтиловому эфиру.

Изобретение относится к области анализа газов, в частности к способам изготовления полупроводниковых чувствительных элементов газовых детекторов для контроля содержания в воздухе паров диэтилового эфира. Цель изобретения повышение чувствительности элементов к диэтиловому эфиру. П р и м е р. Пластины высокоомного монокристаллического кремния, полученные после резки слитка, подвергают стандартной технологической обработке промывке, шлифовке и полировке. Затем их обрабатывают химическим травлением для получения заданного потенциала поверхности. Путем вакуумного напыления через маску наносят алюминиевые контактные площадки заданной формы. Пластины разрезают на отдельные кристаллы размером 1х0,7 мм², к которым затем методом термокомпрессии приваривают проволочные электрические выводы. Далее кристалл монтируют на стандартном корпусе для транзисторов и закрывают колпачком с отверстиями. Для получения селективной чувствительности к диэтиловому эфиру приборы обрабатывают в парах над кипящим хлорметилтрихлорсиланом при температуре 115-120^оС. Количество вводимых на поверхность полупроводника хлорметильных функциональных групп зависит от времени обработки образцов в парах хлорметилтрихлорсилана. Время, необходимое для достижения максимальной чувствительности к диэтиловому эфиру, найдено опытным путем и составляет 20-25 мин.

Формула изобретения

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ, заключающийся в обработке поверхности элементов смесью веществ для легирования поверхности примесями, повышающими чувствительность элементов к анализируемому компоненту, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности элементов к диэтиловому эфиру, газочувствительные элементы обрабатывают хлорметилтрихлорсиланом в интервале температур от 115 до 120^oС в течение времени от 20 до 25 мин.

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 36-2000

Извещение опубликовано: 27.12.2000        

---