Способ измерения вертикальных размеров элементов топологии микрообъектов
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих микрозондовых контрольно-измерительных приборах, например растровых микроскопах. Цель изобретения - упрощение измерений и повышение их производительности. Она достигается использованием для измерений зависимости параметра излучения после взаимодействия с элементом от угла наклона потока зондирующего излучения относительно поверхности исследуемого объекта. Исследуемый элемент облучают потоком зондирующего излучения, регистрируют параметр излучения после взаимодействия с элементом. Наклоняя объект относительно потока излучения, добиваются экстремума этого параметра. Не меняя ориентации объекта, скариуют его потоком излучения. По величинам параметра излучения определяют вертикальный размер элемента микрообъекта. Параметром излучения являются или поток упругоотраженного зондирующего излучения, или поток вторичных частиц, или поток поглощаемого зондирующего излучения. 1 с. и 2 з.п.ф-лы.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
52 915 А1 (191 (11) (511 4 С 01 В 15/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АBTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
2 ний зависимости параметра излучения после взаимодействия с элементом от угла наклона потока зондирующего излучения относительно поверхности исследуемого объекта. Исследуемый элемент облучают потоком зондирующего излучения, регистрируют параметр излучения после взаимодействия с элементом. Наклоняя объект относительно потока излучения, добиваются экстремума этого параметра. Не меняя ориентации объекта, сканируют его потоком излучения. По величинам параметра излучения определяют вертикальный размер элемента микрообъекта. Параметром излучения являются или поток упругоотраженного зондирующего излучения, или поток вторичных частиц,,или поток поглощаемого зондирующего излучения. 2 з.п.ф-лы.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в анализирующих микрозондовых контрольно-измерительных приборах, например, растровых микроскопах.
Целью изобретения является упрощение измерений и повышение их производительности, что достигается использованием для измерений зависимости параметра измерения после взаимодействия с элементом от угла наклона потока зондирующего излучения относительно поверхности исследуемого объекта.
Способ осуществляется следующим образом, Потоком зондирующего излучения облучают участок верхней плоскости измеГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
1 (21) 4239862/24-28 (22) 06.05.87 (46) 23.11.89. Бюл. И - 43 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.В.Рыбалко и А.Н.Тихонов (53) 531.717.11 (088.8) (56) Оптико-механическая промышленность. 1979. 1(< 8. с.5-9. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЕРТИКАЛЬНЫХ
РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИИ МИКРООБЪЕКТОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих микроэондовых контрольно-измерительных приборах, например растровых микроскопах, Цель изобретения - упрощение измерений и повышение их производительности. Она достигается использованием для измереряемого элемента наклоняют эту плос2 кость относительно оси потока, зонди- Ql рующего излучения до появления экст- (Я ремума параметра излучения, далее, ©;) ,не изменяя угол наклона зондирующего (, ф потока к указанной плоскости более М чем на величину kI«,w«, где k — коэф- (д ,фициент пропорциональности, связывающий величину угла наклона зондирующего потока, к плоскости облучения и величину параметра излучения, возникающего при этом облучении; I ««< минимально регистрируемая величина параметра излучения, сканируют поток в направлении, перпендикулярном границе верхней плоскости элемента, до появления второго такого же экстрему1523915
0,5 мкм, заключающийся в том, что на объект под разными углами направляма, при этом измеряют величину параметра излучения между двумя экстремумами, после этого по результатам вычисляют искомую величину по формуле !
Н = / (Х Х ) tgpl (Ii/I )
1- l
Н = 6X;tgp (I /Io), 1
i(I;/10) " зависимость угла пао дения потока зондирующего излучения от относительной величигде
3. Способ по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что в качестве регистрируемого параметра излучения выбирают поток поглощенного зондирующего излучения, а в качестве экстремума параметра излучения — максимум этого параметра.
1. Способ измерения вертикальных размеров элементов топологии микрообъектов с линейными размерами более
Составитель A.Ñåáÿêèí
Редактор H.Áîáêîâà Техред 11.Дидык Корректор Л.Бескид
Заказ 7032/43 Тираж 683 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 где (Х;+ -X i) -длина i-го участка, .утри которого амплитуда параметра излучения равна
I — экстремальное значение параметра излучения; количество участков параметра излучения, в пределах которых он принимает фиксированные значения; ("/I,/I ) — функция угловой зависимости генерации параметра излучения, физический смысл которой - угол между нормалью к облучаемому уча- 20 стку поверхности и осью потока зондирующего излучения, обеспечивающий генерацию параметра излучения с амплитудой I;.
В качестве параметра излучения ис- >5 пользуют либо поток упругоотраженых или вторичных частиц зондирующего излучения, в этом случае измерение проводят с помощью парносимметричного преобразователя на отрезке между двумя минимумами параметра, либо :оток поглощенных .частиц зондирующего:.значения, в этом случае измерение рсво дят на отрезке между двумя макси .умами параметра.
Использование предлагаемого способа целесообразно в научных исследованиях, а также в заводских лабораториях и технологических линейках.
Способ существенно упрощает процесс 40 измерения и является высокоскоростным, что позволяет применять способ для выполнения больших объемов измерений параметров микроструктур, 45 формула изобретения ют поток зондирующего излучения, регистрируют излучение после взаимодействия с объектом и с учетом его параметров определяют вертикальный размер элемента, отличающийся тем, что, с целью упрощения и повышения производительности измерения, поток зондирующего излучения направляют на верхнюю плоскость элемента, / при изменении угла падения потока зондирующего излучения фиксируют угол, при котором параметр излучения экстремума I<,при зафиксированном угле сканируют элемент потоком излучения в направлении, перпендикулярном краю элемента, до появления второго экстремума Тв параметра излучения, регистрируют величины Т; параметра излучения и расстояния Х;, на которых
I, и определяют вертикальный размер Н элемента топологии по формуле ны параметра излучения I /I< для материала из которого изготовлен элемент.
2. Способ по и ° 1, о т л и ч а юшийся тем, что в качестве регис.трируемого параметра излучения выбирают поток отраженного зондирующего излучения или вторичного излучения, а в качестве экстремума параметра иэ-!. лучения — минимум этого параметра.
