Масс-спектрометрическая камера

 

Изобретение относится к средствам контроля герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет упростить конструкцию и повысить точность измерений путем исключения из конструкции манометрического преобразователя и измерения давления непосредственно в ионизаторе. Масс-спектрометрическая камера содержит блок 10 измерения ионного тока, соединенный с коробкой 6 ионизатора в виде сетки и экраном 7, между которыми размещен катод 5. Блок 10 измерения ионного тока измеряет полное давление в источнике ионов. 1 ил.

СОЮЭ СОВЕТСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) 1 (ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ(СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ пО иэОБРетениям и ОТКРытиям пРи Гннт сссР (21) 4318405/25-28 (22) 24.08.87 (46) 07.12.89. Бюл. У 45 (72) А.В. Третьяков, Б.В. Иванов, А.М. Макаров и A.Е. Тарасов (53) 620.165.29(088,8) (56) Патент США В 4620102, кл. Н 01 J 27/20, )985. (54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКАЯ КАМЕРА (57) Изобретение относится к средствам контроля герметичности изделий масс-спектрометрическнм мето-. (11 4 G О) N 27/66, С 01 М 3/02

2 дом и позволяет упростить конструкцию и повысить точность измерений путем исключения иэ конструкции манометрического преобразователя и измерения давления непосредственно в иониэаторе. Касс-спектрометрическая камера содержит блок 10 измерения ионного тока, соединенный с коробкой

6 иониэатора в виде сетки и экраном

7, между которыми размещен катод 5

Блок 10 измерения ионного тока измеряет полное давление в источнике ионов. 1 ип.

1527561

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к средствам контроля герметичности массспектрометрическим методом.

Цель изобретения — упрощение конструкции и повышение точности изме— рений путем исключения из конструкции манометрического преобразовате1 ля и измерение давления ° непосред10 ц „- r <0, 50 где Чк—

6 потенциал катода, поверхностная плотность экрана, электрическая постоянная, относительная диэлектриче- 55 ская проницаемость, расстояние от экрана до каEo—

Е тода. ственно в ионизаторе.

Иа чертеже представлена схема массспектрометрической камеры.

Масс-спектрометрическая камера содержит корпус 1, коллектор 2 ионов, диафрагму 3 и ионизатор 4, состоящий из прямоканального катода 5, коробки 6 ионизатора, выполненной иэ электропроводящей сетки и экрана 7 с выходным отверстием 8, по периметру которого установлен электрод 9, электрически связанный с корпусом

1 камеры. Коробка 6 и экран 7 соединены между собой через замещенный вне корпуса 1 блок 10 измерения ион- 25 ного тока.

Устройство работает следующим образом.

Раскаленный катод 5 эмиттирует электроны, которые под действием потенциалов катода 5, экрана 7 и коробки

6 ионизатора разгоняются и через сетку коробки 6 иониэатора подаются в пространство ионизации, где движутся равноускоренно. При попадании электронов через сетку коробки 6 ионизатора в пространство между коробкой 6 ионизатора и экраном 7 под действием потенциалов экрана 7 и коробки

6 ионизатора электроны тормозятся и на40 чинают движение внутрь коробки 6 ионизатора. Таким образом, осуществляется колебательное движение электронов вокруг .коробки 6 ионизатора. Причем потенциалы экрана 7 и катода 5 выбра- 45 ны из условия исклю"-,ения воэможности попадания электрона на поверхность экрана 7

Нч пути движения как внутри, так и снаружи коробки 6 ионизатора, электроны ионизируют нейтральные молекулы газа. Причем при прохождении электронов через сетку коробки 6 ионизатора часть электронов взаимодействует с поверхностью сетки. Ионы, образовавшиеся внутри коробки 6 ионизатора под действием ускоряющего напряжения, разгоняются и вылетают через отверстие 8 коробки ионизатора. Заземленный электрод 9, установленный по периметру отверстия 8 экрана 7, исключает расфокусировку ионного пучка от действия потенциала экрана 7. Под действием магнитного поля происходит разделение ионного пучка по массам. Через диафрагму 3 ионы контрольного газа попадают на коллектор 2 и регистрируются измерительным прибором (не показан), Ионы образовавшиеся в пространстве между коробкой 6 и экраном 7, под действием их потенциалов попадают на экран

7, где регистрируются блоком 10 измерения ионного тока. Сигнал, снимаемый с коллектора ионов 2, характеризует парциальное давление контрольного газа, а сигнал, снимаемый с экрана 7, характеризует полное давление остаточного газа в объеме массспектрометрической камеры.

Предлагаемая конструкция массспектрометрической камеры обеспечивает упрощение конструкции вследствие исключения датчика давления и повышения точности воздействия обеспечения измерения давления непосредственно в ионизаторе.

Фо р м ул а и s о б р е т е н и я

Масс-спектрометрическая камера, соде ржа щая корпус, источник ионов, включающий коробку ионизатора с отверстием, выполненную из электропроводящей сетки, охватывающий с зазором коробку иониэатора и повторяющий форму последнего экран с отверстием, расположеннь.м на одной оси с отверстием коробки ионизатора, катод, размещенный в зазоре между коробкой ионизатора и экраном, и блок измерения ионного тока, о т л и— ч а ю щ а я с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности измерений, блок измерения ионного тока соединен с коробкой ионизатора и экраном.