Диазотипный материал

 

Изобретение касается фотоматериалов, в частности диазотипного фотографического материала, который может быть использован в микроэлектронике и радиотехнической промышленности. Цель - увеличение копировальной оптической плотности материала в области 350 - 400 нм Материал состоит из прозрачной подложки, адгезионного и светочувствительного слоев Последний на полимерном связующем Содержит связующие компоненты , мас %. 4 диазо-2.5-дибутоксифенилморфолин или п-диазодиэтиланилин или п-диазодимет пзнилин тетрафторборат, хпорциикзт или гексафторфосфат 11,5 - 29,1; сопопимер винипацетата и кретоновой кислоты. 92 - 14,1; ацетобутират целлюлозы 32,3 - 49,4; эфир тетрафторпропипового сополимера стирола с малеиноеым ангидридом 4,7 - 7,1; винную кислоту 2,3 - 3,5. тисмочевину 0,6 - 0,9, чётыреххпористое олово 2,3 - 3.5 и метил- Buonet - остальное. Введение указанной азосоставляющей обеспечивает увеличение копировальной плотности, на 10-50%. 1 табл.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К ПАТЕНТУ

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) (2 t) 4381085/04 (22) 23.12.87

{46) 30.12.93 Бюл, i4 47-48 (71) Переславский филиал В есоюэного государственного научно-ис(()епов льского н I,ðîектного института химико-фо(ографичес)(ой промышленности (72) Яковлев В.Б.; Лукьянова О.В, Люэина Н.Е. Абрамов В.Н, Буяновская П.Г„1Лашкевич И.В.; Паутов В;П. (73) А0 Переславский филиал НИПИ химико-фотографической промышленности" (54) ДИАЗОТИПНЫЙ МАТЕРИАЛ (57) Изобретение касается фотоматериалов, s частности диазотипного фотографического материала, который может быть использован в микрозлектронике и радиотехничЕской промышленности.

Цель — увеличение копировальной оптической (19) $SÖ (11) 153 (73 ) А3 (5Ц 3 плотности материала в области 350 — 400 нм. Материал состоит из прозрачной подложки, адгеэионного и светочувствительного слоев Последний на полимерном двзующем содержит свяэующ))е компоненты, мас Ж: 4-диаэо-2,5-дибуоксифенилморфопин ипи п-диазодизтиланилин, ипи и-диаэодиметнланийиц тетрафторборат, хлорцинкат ипи re((сафторфосфат 115 — 29,1; сопопимер винилацетата и кротоновой кислоты 92 — 14,1; ацетобутират целлюлозы 323 - 494; эфир тетрафторпропилового согюлимера стирола с мапеиновьм ангидридом

4,7 - 7.1; винную кислоту 2,3 — 3,5; тиомочевину 0,6 — 0,9, четь(реххлористое олово 2,3 — 3,5 и метипвиопет — остальное. ВвеДение укаэанной аэосоставля(ощей обеспечивает увеличение копировальной плотности на 10- 50% 1 табл

153Л 3!

I.1.!ut3pe i P1!! Iе о! )1Оси l L:>I к фото! Т)афине

„l; л материа им а . менмо )< диазотипным материалам, ко1орые могут быть использовань! в качестве промежуточных оригиналов в микроэлектронике и радиотехнической промышленности, Цель о изобретения является увеличение копировальной оптической плотности материала в области 350-400 нм.

Изобретение иллюстрирус.тся следующими примерами, П р и и е р 1 (прототип). При. отов3ение раствора полимерного связующего.

B смес 13,5 мл ацетона и 16,5 мл мет)цлцеллоэольва растворяют 3,3 г (41,3% состава сухого светочувствительного слоя) ацетобутирата целлюлозы, 2,0 r (25% состава сухого светочувствительного слоя) раствора сополимера поливинилацетата и кротоновой кислоты в метаноле, 0,7 г (8,7%) состава сухого светочувставительного слоя) сополимера стирола и малеиновой кислоты, Приготовление диазосветочувствительного раствора.

В смеси 11,6 мл ацетона и 14.4 мл метилцеллозольва растворяют 0,2 r (1.2% состава сухого светочувставительного слоя) винной кислоты, 0,2 г (1,2 % состава сухого светочувствительного слоя) четыреххлористогоолова. 0,05 г (0,3% состава сухого светочувствительного слоя) тиомочевины, 0,0009 r (0,1% состава сухого светочувствительного слоя) метилвиолета. После перемешивания добавляют 0,13 г (1,6% состава сухого светочувствительного слоя) 4-хлоранилида-2-окси-3-нафталина-3-карбоновой кислоты, 0,08 г (1% состава сухого светочувствительного слоя) 2-метил-анилида-2-окси нафталина-3-карбоновой кислоты, 0,11 г (1,4% состава сухого светочувствительного слоя) анилида ацетоуксусной кислоты. 0.67 г (8,4% состава сухого светочувс1ви тельного слоя) 2,2, 4,4 -тетраоксиди<Тенилсульф))да

После растворения азосоставляющих вводят 0,78 г (9,8% состава сухого г..еточувствител ьного слоя) 4-мс) рфол и но

2.5 дибутоксибензолдиаэония тетраф)орбората. К полученному раствору добавляют

30 мл раствора полимерного связующего, Полученную композицию поливаки k)3 под слоированную полиэтилентерефталатную основу на машине МП-35. Толщина свето чувствительного слоя 4,5+0,5 мкм. Диаэс пленки проявляют в парах аммиака в эксикаторе 10 мин. Измерение копировальной плотности проводят дифференциальным методом на спектрофотометре Сг)>-26.

Результаты испытании приведены в тг)б ..и це, П р и )л е „2. В смеси 3,5 мл э!ниц .»» > зольва и 2,9 мл ацетона растворяют 0,7 г (46,3% состава сухого светочувствительного слоя) ацетобутирата целлюлозы (ТУ 6-051293-76) формул ы I (СяНтО (ОН)з-х-у (ОСОСНз)х- (ОСОСзН7)у}п

Бурильных групп, % 20-27

Ацетатных. % 34-37

Гидроксильных, % 2-3

Мол.м. 30000-40000

Удельная вязкость 0,2-0,22

0,2 г (13,2% состава сухого светочувствительного слоя) сополимера винилацетата и кротоновой кислоты формулы II

СН СH СН СН

) Ф

О ОН

20 О СН где и = 90--95:

mi = 5-10, Мол.м. 7000 — 9000.

0,1 l (6,7% состава сухого све.очув тавительного слоя) эфира тетрафторпропиловаго сополимера стирола с малеиновым ангидридом (ТУ 6-17-1206-82) формулы!!1

-СН;СН СН вЂ” СН

С С

О ОН О ОСН,(СГ,),Н гдеп=-m

Мол.м. 340000.

Приготовле))ие диаэосветочувствительного раствора, Светочувствительную композицию готовят, как и в примере 1, но слой содержит

3,3% четыреххлористого олова ТУ 6-0940 3084-82, 3,3% винной кислоты ГОСТ 2120583 0,7% тиомочевины ТУ 6-09-4041-75, 0,1% метилвиолета. 9,9, m-феноксифенола форvynI, IV

IlI> ß) Г>-ф

1Я, >% и-диазодиэтиланилина тетраф-! 1>С>б)Ората I, OÂÅ)Î×yÂI=TàÈòÅËÜHÎé КОМПОЗИг„1 ц и д о б а:; л я lo T р а с т в о р I )0 ë è ì å ð k-! o ã о с E . я зующи го

flk)l)vче>г1>к-, ком)>с>з)>LLL)k > iс>г>иьаю1 на г!од. )ирина>)ную гтекляннук! и, дг>о,кку на ц .н гриф, ге и г) ),>д.ч»ки))г)>от г)ри 110 .5 С в г г

-.> сушильне>л !))кафу 3 5 мин. Толщина свето1(p.„.) вигг льk-10I с> < л jэ 1,5 (>,5 l.jk, Образцы

1 11 -"1 3 o и l 11 о Г о м а ) I . () L1 3 л c3 I I (r I ч l;, 1 II ko т в э к Г их3тг Т>с» г;)Пи ° гав! 1!.:Ik э 1П г. I k I :)мг рьние

k 1 jL;,I 1. IIII.1 1 ll 1. и 1, ; 1ь !".1)н>! 13ь. ангидридом.

;-.«вс да т дифференциальным: в то,; гм 1 л i пектрофото :етре СФ-26.

Результаты испытаний приве, .ены е габлице.

Пример 3. Светочувствительную композицию готовят, как и е примере 1, но слой содержит 17,5ь и-диазодиэтиланилина тетрафторбората, 4.97 m-феноксифенола, 3,4 винной кислоты, 0,8 тиомочевина, 3,4 четыреххлористого олова, 0.1 метилвиолета. 48,9 ацетобутирата целлюлозы, 14,0% со полимера винилацетата и кротоновой кислоты, 7,07, эфира тетрафторпропилового сополимерэ стирала с малеиновым ангидридом.

Пример 4, Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают, как и в примере 1. но светочувствительный слой содержит 3,0ь четыреххлористого олова. З,О винной кислоты, 0.7% тиомочевины, 0,1 метилвиолета, 18 гексилцианацетата формулы,/

ЫС-С11- С

OC

15 и-диаэодиэтиланилина тетрафторбората, 42,1 ацетобутирата целлюлозы, 12.0 сополимера винилацетата и кротоновой кислоты. 6.1ь эфира тетрафторпропилоеого сополимера стирола с малеиноеым ангидридом, Результаты испытаний приведены в таблице, Пример 5. Светочувствительную

v«ìnîýèöèþ готовят. как и 0 примере 1, но с. «й с-;;;:ржит !5,9 и-диазодиэ илан лина r ".трафторбоплта, 13,3 qv.- нацетогидразида формулы И

3 2 винной кислоты, 0,77, тиомочевины.

3,2 четырекхлористого олова, 0,1;(, метилв олета, 44,5$ ацетобутирата целлюлозы, i2,7 сополимера еинилацетата и кротоновой кислоты, 6,4 эфира тетрафгорг,ропилоеого сополимера стирола с малеиноеым ангидридом

Результаты испытании приведены е

1аблице

П р и ч е р б Образцы д"азотипного материала изготавливают и испытывают, как и в примере 1, но светочувствительный слой содержит 11.5$ и-диазодизтиланилина тетрафторбората, 37,0 гексилцианацетата, 2,3 винной кислоты, 0,6 тиомочееины. 2,3 7 четы реххлористого олова, О,! метилвиолета, 32,37 ацетобутира5

35 ао

55 тл целлюлозы. 6.2 сополи ° ..рл л н1п,гце тата и крот«новой киСлоты. 4.7 !, э Pi,"л iv рафторпропилоеого сопо .:1 .рл г тироле с малеиновь м ангидридом, Результаты испытань".й приведены в таблице.

Пример 7. Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают, как и в примере 1. но светс;.:увсгеительный слой содержит 17,6 и-диазодиэтиланилина тетрафторбората, 3,3% цианацетогидразида, 3,5 винной кислоты, 0,9 тиомочевины, 3.5 четыреххлористого олова. 0.1% метилвиолета, 49,4 ацетобутирата целлюлозы, 14,1 conoëèìåðà винилацетата и кротоновой кислоты, 7,1 эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом, Результаты испытаний приведены в таблице.

Пример 8. Образцы диаэотипного материала изготавливают и испытывают, как е примере 1 но светочувствительный слой содержит 29,! и-диазодиэтиланилина тетрафторбората. 6,1 цианацетогидраэида, 2,9 винной кислоты. 0.7 тиомочевины, 2,9 четыреххлористого олова, 0,1% метилвиолета, 40,7ф, ацетобутирата целлюлозы, 11,бф> сополимера винилацетата и кротоновой кислоты, 5,9 эфира тетрафторпропилового сополимера стирала с малеиноеым ангидридом.

Результаты испытаний п;иеедены е таблице.

Пример 9. Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают, как и в примере 1, но светочувстеителный слой содержит 15,0$ и-диаэодиметиланилина тетрафторбората, 18,0 (, гесилцианацетата. 3,00 винной кислоты, 0,77 тиомочевины, 3.0=,ь четыреххлористого олова, 0,1 метилвиолета, 42,1 ацетобутирата целлюлозы, 12,0ф> сополимера винилацетата и кротоновой кислоты, 6,1 эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены е таблице.

Пример 10. Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают. как и в примере 1. но светочувствительный слой содержит 15,07ь и-диазодиэтиланилина хлорцинкате, 18,0 гексилцианацетата.

3.0 винной кислоты. 0,7-,ь тиомочевины, 3,0 четыреххлористого олова, 0,1 $ метилвиолета, 42,1 ацетобутирата целлюлозы.

12,0 сополимера винилацетата и кротоновой кислоты, 6,1 эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым

Реву>>ьтэг»- игп>>тани>1 Г>р>1вед>-.ны в таблице.

Пример 11. Образцы диэзотипного мчтериала изготавливают .. игпы ывают, к и в примере 1. но светочувствительный 5 слой содержит 15,0% п-диазпдиметиланилинэ хлорцинкэтэ. 18,0% гексилцианацетата, 3,0% винной кислоты, 0,7% тиомочевины. 3.0% четыреххлористого олова, 0,1% л етилвиолета, 42,1%: це - ;утлра- 10 та целлюлозы, 12,0% сополимера винилацетэтэ и .ротоновой кислоты. 6,1 % эфира тетрафторппопилового сополил1епэ с и р О л э с м а л е и н о В ь! м 3 н Г>1д p .". цо л1.

Р; зультачь испытаний приведены в,5 таблице.

Пример 12, Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают. кàK и в пример". 1, но светочувствительный 20 слой содержит 15,0% и-диазодизтилэнилина гексафторфосфэтэ, 18,0 "/ . скг. 1лциэнацетата, 3,0% винной кислоты, 0,7% тиомочевины, 3,0% четыреххлористого олова, 0,1% метилвиолетэ. 42,1% эцетобутира- 2 та целлюлозы, 12,0% сопо "имера винилацетата и кротоновой кислоты, 6.1% эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены в 30 таблице.

Пример 13, Образцы диазотипного материала изготавливают и испыть>вают, как и в примере 1, но светочувствительный слой содерж >т 15 0% п-диэзодиметилани лина гексафторфосфэта, 18.0% гексилциэнацетата, 3,0 ", винной кислоты, 0.7% тимочевины 3.0 "/- четыреххлпристого очпва. 0,1% метилвиолета. 42,1% ацетобутира1э целлюло 1 tf. 12,0% -..ополи>лера винилацетага и кротоновои кислогь>. 6,1 "/ эфира тетра(тторпро>>илового сополимерэ стиролэ с малеиновым ангидридом

Результаты испытаний приведены в таблице. .1 г, Пример l4 Образцы диэзотипнпго материала изготавливают и испыть>ва>от, как в примере 1. но светочувствит.льныи слой содержит 15,9% п-диэзодиме>иланилина тетрафторборэта. 13,3% цианэцетг>гидразида, 3,2% винной кислоты 0.7% тиомочевины, 3.2% четыреххлористогп олова, 0,1% метилвиолета. 44,5,4 ацетобутира та целлюлозы, 12.7% сополимерэ винилацетата I1 кротоновои кислоты, 6.4 . эфира гЕтрафторпропилового с(-.полимера

cTMpolI8 с мэлеиновь>Г ангидридом

Результаты испытании приведены г таблице.

П р И М Е р 15. Обраэ>>Ь> дИЭЗОтИПНОг материала изготэвливэк>т и испыть»зэ>от кэк u B.приГлере 1, но светочувствительнн слой содержит 15.9% и-диэзодизтиланиГ>ина хлорцинкатэ, 13 3% цианэцетогидрззи да, 3.2% винной кислотii 0,7% тиомочевины, 3,2% чеГыреххл;:р::,о>о о,>)ва, 0,1% метилвиолета 44.5% эцстг>бутиг эта целлюлозы, 12,7% сополимера винилацетата и кротоновой кислоты, 6,4% эфира тетрафторпропилового сополимера стир )ла с малеи>,овь!м эн; идридом.

Результаты испытаний приведены в таблице.

П р I! M е р 16. Образы диэзотипного материала изготавливают и испытывают, кэк в примере 1, >>о светочувствительный слой содержит 15,9% и-диазодиметиланилина хлорцинкэта, 13,3% цианацетогидра зида, 3 2 / и 1нои кислот ь:, тиом:>чевины, 3,2 HI II>pPххлорисчого ол;>>>, (., 1 уо л1ет> ль. >> i >, 4ч, > эцетобу1I1paтэ целлюлозы, 12,7% соп .лимера вичилэцетэ(э и кротоновои кисло>ы, C,4 эфира тетрэфторпропиловогг сополимерэ стирала r глалеиновым энгид>идом.

Результаты испытаний пр >ведены в таблице.

Пример 17. Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают, как и в примере 1, но светочувствительнь>й слой содержит 15,9% п-диэзодиэтиланили на гексафторфосфата,13,3 % цианацетогидразида, 3,2% винной кислоты, 0,7; тиомочевины. 3 2% четыреххчо истого олова, 0,1% м TI 1ãи олетэ, 44,5% эцетпбутира тэ целлюлозы, 12,7% сопэлимерэ винилацетэта I лротоновой киглоты, 6,4% эФира тетра1:торпропилового сополимера стирг ла с малеиног>ь>Гл ангидридом

Pi-..".ó÷t,òëòt, испытаний приведены в

>."Il>ëèöå.

Пример 18. Образцы диазотипного мэ1ериэлэ изготавливают и испытывают, кэк и в примере 1, но свето >увствительнь>й (. >с и содер,,и> 15,9% п-диэзодиметиланил>1(э fr:кг;>+торфпсфэтэ, 13,3% .;ианацетогидрэзидэ, 3,2",, BII!!Hot кислоты, 0,7%

->1(>Г»(ччев>1>>ь> 3,2% чеч ыр(лхлористого олоН,> 01(, ""//», ме>,1 >в>1Г>ле>э, 44,5,>, а(>етобутира1з целлюлозы 12,7% сополимера

RI1>lI1л,IilI!I d f i и >:(F01!>VIOI(OI1 кислоты, О, 1 j> 3ф 1рэ > .т Г>афч орг>рог>>1»овогг> сопол 1мера с>ир(»»э с мзлеиноеым ангидридом.

Р;:>>I>üòäòt,i исflt!Tä>. .дены в т,iГ>лице.

11 f> и м е р 1!> ОГ>Г(з. ц>,> I;1:>з(>>ипнпго

Г1а «, р(l>!, >;(>(з«>1 If >11. 1Н>((l>, I;>,I >I I>!1>>rlT

vf>(((I (,Г>>1! .л ° г>(1 . °,» I (! (».-(> (и (> > ° ч>(1538739!

55, .-; "-,:".орбс«рата, 8,2",(, Гексилциан..цета3,4-;l., винной кислоты, 0,87, тиол«очеви«ь«, 3,4% четыреххлористого олова, 0.1% метилеиолета, 38,5 ацетобутирата целлюлозы. 11,0 сополимера винилацетата и кротоновой кислоты, 5,5% эфира тетрэфторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены в таблице.

Пример 20. Образцы диаэотипного материала изготавливают и испытывают, как и в примере 1, но светочувствительнь.й слой содержит 23,5% и-диазодиэтиланилинатетрафторбората,3,8 гексилцианацетата, 3,4 еин «ой кислоты, 0,87» тиомочевины. 3,4,, lстыреххлооисто о олова, 0,1 метилвислета, 45,5/, а..етобутирата целлюлозы, 13.0;, сополимера винилацетата и кротоновои кислоты. 6,5"- эфира тетрафтоопропил(«(«пГГ«гополимера стирола с мальиновым г« «гидридол«

Результаты испытании приведены в таблице.

Пример 21. Образцы диязот1«оного материала изггпявливаю«и испытывают, как и в примере 1, но све«очувствительный слой содержит 17,3 % и-диaзодиэтиланилина тетрафторбората, 5 3" гесилцианацетата, 3,0% еиннои кислоты, 0,7 тиомочевины. 3,0 четыре:.хлористого олова, 0,1% метилвиолета, 49.4 ацетобутирата целлюлозы, 14,1 " сополимера винилаце(ата и кро«оновои кис «о(ь«, 7.1 те ра«««орпр,>(«1ь«(.««ого соп «Гимера .«II(«» г. л;-««еи« ..)в::.,:ll«Г««5;,01:..«;л:, Рсзуль:аты . пь; ан1цl Г:г в; q(I b« в а.;ице, Пример 22. Образ«(ь диазотипного . л «ТЕ« 1«аЛа И «I Оее "Иеа«««Т И ИГПЫТЫВЗЮТ, ка э примере 1, но светочувствительный (л.и од «рж1«1 11,2;» —.-диазсдиэтиланили;,а тетр;,ф;орбор .тл, 3".0 j« цианацетогидразида, 2 3% виннои кислоты, 0,6% тиомоч . вин«,«2.3« четырех лористо о оло(:, 0,1% Ic; I;;Is1«,»;;ra 32.3,, ацетобутира«а целлм ° лезь 9,2- . I«««1 л«ера

ВИНИЛацвтата И КрОТОНОВОИ I I«i".ЛО«ы. 4 7 эфира тетраф-српрэпилового 0«1!., Ил а

-..тирола г. (л зт си«-«Г«;«ьнл « «Г1«дрид >м, Резуль зт ы ис(«ь«т.«k«ии при Р(день«е I j I «. и «(- и .. >. .. бр «««» .Ц«л во«т r НОГО

Ма«ЕРИаЛа и C(3(iЛИВ= ЮТ II ИСПЫТЫВагПТ, «.ак ° « р1«мере 1, ««о светочувс(вительный

-ло1 содержит 15,0;- ; 4 диазо-2 6-дибутоксифенилморфолина. 18,0; rf- I, илцианацетата, 3,0 винной ки-ëîòû,,0,7 тиомочевины, 3,0о четыреххлористого олова О,! метилвиплета. 4?.!" ацетобутира5

«г, 30

45 та целлюлозы, 12 -сополимера винилацетэта и кротоновой кислоты. 6.1% эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридол1

Результаты испытаний приведены в таблице, П р и M е р 24. Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают. как и в примере 1, Но светочувствительный слой содержит 15,9 4-диазо-2,5-дибутоксифенилморфолина, 13.3 $ цианацетогидразида, 3,2 винной кислоты, 0,7 тиомочевины, 3,2 четы реххлористого олова, 0.1 метилвиолета, 44,57ь ацетобутирата целлюлозы, 12,7 саполимера винилацетата и кротоновой кислоты, 6,47ь эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены в таблице.

Пример 25. Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают, как и в примере 1, но светочувствительный слой содержит 15,0% п-диазодиэтиланилина тетрафторбората. 18,07ь m-феноксифенола, 3,0 винной кислоты, 0,7 тиомочевины, 3,0 четыреххлористого олова. 0.1 метилвиолета. 42,1% ацетобутирата целлюлозы, 12,0% сополимера винилацетата и кротоновой кислоты, 6.1ф эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены е таблице.

Пример 26. Образцы диазотипного ма «ериала из(о авл1«веют и испытывают, как и в ilpvlMepe 1, но светочувствительный слой содержит 17.1 4-диазо-2,5-дибутоксифенилморфолина. 6.6 m-феноксифенола, 3,4% винной кислоты, 0,8Я тио моче Г и н ы, 3,4, четырех хлористого олова. 0,1;ь (летилвиолета, 47.9 ацетобутират а ц е л л ю л о з ы, 1 3 . 7 « с о и о л и м е р а винилацетата и кротоновой кислоты, 6,8( эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены в таблице

Пример 27. Образцы диазотипного материала изготавливают и и пытывают, как и в примере 1, но сееточувс(вительный слой содержит 17,1о п-диаэод1этиланилина хлорцинката. 6,5 fTl ôåíoêñèôåíîëà

3,4% винной кислоты, 0.8 тиомочевина, 3,4 четыреххлористого олова. 0,1 метилвиолета, 48,1 ацетобутирата целлюлозы.

13,7% сополимер винилацетата и кротоновой кислоты. 6,9 эфира тетрафторпропи12

D370

1,7

2,8 з.о

2.5

3.2

3.5

4,0 г,7

4,0

2,8

2.7 з.з

4,О

3.5

3.0

0,01

0.05

О 05

0,05

0.05

О. 05

2.50

3,9

4,О

З.7 а,о

3.6 г,о

3,7

4,0

3.5

4,О

3.9

4,0

З,6

4.О

3,3 з.з

4О,8 .о .г .о .1 ,4 .5 .О .6 .О ,о .о ,б .о .2

8ОО

8ОО

Воо ю

8

6

8

1О ю ю

1О ю ю

1,8

1,7

1.В

1,7

1.8

1,7

1,7

1,1

1.В

1.8

1.Г

40 005

0.05

0.05

0.05

0.05

0.05

0,05

4,О

3,8

3,5

З,o

4,0

О. 05 п.ов ю

:.юого сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены е таблице.

Пример 28. Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают, как в примере 1, но светочувствительный слой содержит 17.1 и-диаэодиметиланилина хлорцинката. 6,8 m-феноксифенола, 3,4 винной кислоты, 0.8 тиомочевины, 3,4, четыреххлористого олова, 0,1 метилвиолета, 47,9 ацетобутирата целлюлозы, 13.77 сополимера винилацетата и кротоновой кислоты, 6,8% эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены в таблице.

Пример 29, Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают, как в примере 1, но светочувс1вительный слой содержит 17,17ь и-диазодиметиланилина тетрафторбората, 6,8% m-феноксифенола, 3,4ь винной кислоты, 0,8 тиомочевины, 3,4 четыреххлористого олова, 0,17ь метилвиолета. 47,97 ацетобутирата целлюлозы, 13,7 сополимера винилацетата и кротоновой кислоты. 6,8 эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены в таблице, Пример 30. Образцы диазотипного материала изготавливают и испытывают, как и в примере 1, но светочувствительный слои содержит 17,1% h-диазоди»тиланил на гексафторфосфата, 6,5% m-феноксифе нола, 3,4 винной кислоты, 0,8 тиомочевины, 3,4 четыреххлористого оло5 ва, 0,1 метилвиолета, 48.1ф> ацетобутирата целлюлозы, 13,7=,ь сополимера винилацетата и кротоновой кислоты, 6,9ь эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены в таблице.

Пример 31. Образцы диаэотипного магериала изготавливают и испытывают, как в примере 1, но светочувствительный

15 слой содержит 17,1 и-диазодиметиланилина гексафторфосфата, 6,8 m-феноксифенола, 3,4% винной кислоты, 0,87ь тиомочевины, 3,4% четыреххлористого олова, 0,1 метилвиолета, 47,97ь ацетобутира2р та целлюлозы, 13,77ь сополимера ви илацетата и кротоновой кислогы, 6,87 эфира тетрафторпропилового сополимера стирола с малеиновым ангидридом.

Результаты испытаний приведены ь таблице.

Как следует иэ таблицы, предложенный материал обеспечивает более высокую копировальную оптическую плотность в об3р ласти 350-400 нм. (56) Лицензионное соглашение М 73/77447 от 05.12.77 г "Диаэопленки для микрофиль мирования", тип серия. Фирма "Сомар".

35 Япония.

1538739

Пгплс> .ке и т..зр илн

1 (1рим".р fr и I Ил Блол Е) зло (4,0

4,0

4,0

4,0

4,0

2,9

4,0

2,5

2,5

4.0 7 5

4.0

3.9

2.9

3.8

4,0

2.3

4,0

23

2,3

4.0

2.8 j 1.0

2.9 3.8

2 5, 4,0

2.2 2.9

2, .1 I 3. 9

Формула из сретения

ДИАЗОТИПНЬ1Й МА!Е РИАЛ, состоящий иэ прозрачной подложки. адгезионного подслоя и свето Ióâс âèòåëьноfî слоя, включающего тетрафторборат, или хлорцинкат. или гексафторфосфат 4-диазо-2,5дибутоксифенилморфо.:ина или и-диазоди:- иланилина или i-диазодиметиланилина, азогсоставляющую, полимерное связующее, винную кисло1у, тиомочевину, четыреххпористо» олово, метИЛВИОЛЕт, ОтЛИЧаЮЩИИСЯ 1ЕМ, ЧтО, С ЦЕЛЬЮ

v "-ëè÷åHèÿ копировальной оптической плотности материала 0 области 350 — 400 нм, светочувсгвительный слой содержит в качестве азотсоставляющей - м-феноксифенол, или гексилцианацетат, или цианацетогидразид, в качестве и >пимерного связующе о - смесь следу о .,:, оли,еров сополимера винила цетата и ро. онопой кислоты, ацетобутирата целлюлозы и эфира тетрафторпропилового сопопимера сти3,8 - 37,1

4,7- 7.1

2,3 - 3.5

0,6 - 0,9

2,3 - 3,5

Остальное

Составитель А. Круглов

Техред М. Моргентал Корректор А 0бручар

Редакгор 1 1энолз

Тираж Подписное

НПО "Поиск" Роспатента

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, 4/5

Заказ.3469

Производгтвенно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

17

18

19

21 гг

23

24

78

27 гв

29

20 г,7 г,о г1

2.П

2.8

2,0

2,2

2 о

2.4

2 0

2.1

? 0 1

3,2

З,б

3,7

3,6

3,0

3,5

3.0

4,0

28

4,0

4,0

3.4

40 рола с малеиновым ангидридом при

30 следующем соотношении компонентов в слое. мас.%:

Тетрафторборат, хлорцинкат или гексафторфосфат 4-диаэо2,5-дибутоксифенилморфолина, или п-диазодизтиланилина, или идиаэодиметиланилина 11,5 - 29,1 м-Феноксифенол, или гексилцианацетат, или цианацето40 гидраэид

Сополимер винилацетата и кротоновой кислоты 9,2 - 14,1

Ацетобутират целлюлозы 32,3 - 49,4

Эфир тетрафторпропилового

45 сополимера стирола с малеиновым ангидридом

Винная кислота

Тио лочевина

Четыреххлористое олово

Метил виолет

Диазотипный материал Диазотипный материал Диазотипный материал Диазотипный материал Диазотипный материал Диазотипный материал Диазотипный материал 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к фотографии, в частности к применению производных 22-дифтор- 4-метил-1.32-диоксабориновформулы Cf ) где R -Н, R-C Н R или вместе с нЛ I 4 6 4 р R образует ароматические заместители 4-метоксибензо- -2 ,1 или 2,1 ,CH 0,С1

Изобретение относится к химико-фотографическим материалам, в частности к композиции для изготовления везикулярных материалов, которые могут быть использованы для получения копий микрофильмов

Изобретение относится к области производства диазотипных копировальных материалов и позволяет улучшить качество материала для повьшения оптической плотности изображения

Изобретение относится к позитивным фоторезистам на основе о-нафтохинондиазидов, применяемых в процессах производства радиоэлектронных и микроэлектронных изделий и сверхбольших схем методами контактной и проекционной фотопечати
Изобретение относится к химико-фотографическим материалам, используемым для получения фотоформ - фотошаблонов с помощью лазерных гравировальных автоматов

Группа изобретений относится к способам, предназначенным для изготовления полупроводниковых приборов на твердом теле с использованием светочувствительных составов, например фоторезистов, содержащих диазосоединения в качестве светочувствительных веществ, а именно к способам формирования фоторезистной маски позитивного типа, которые могут найти применение в области микроэлектроники для получения изделий при помощи технологических способов, включающих стадию фотолитографии. Способ формирования фоторезистной маски позитивного типа включает нанесение на подложку позитивного фоторезиста, содержащего новолачную смолу и орто-нафтохинондиазидное соединение, использующееся в качестве светочувствительной компоненты, сушку, экспонирование и проявление. При этом в состав фоторезиста непосредственно перед нанесением его на подложку вводят 1,3-динитробензилиденмочевину, либо 1,5-дифенилсемикарбазид, либо N,N'-метилен-бисакриламид в количестве 5-15% по отношению к количеству орто-нафтохинондиазидного соединения. Результатом является улучшение качества края фоторезистной маски, увеличение срока службы используемого фоторезиста. 3 н.п. ф-лы, 1 табл.
Наверх