Конденсационный гигрометр
Изобретение относится к влагометрии газов и может быть использовано для измерения влажности в ряде областей народного хозяйства. Цель изобретения - упрощение конструкции гигрометра и повышение его надежности. Конденсационное зеркало конденсационного гигрометра представляет собой защищенную двуокисью кремния кремниевую подложку, в которой, например, диффузией сформирован терморезистор, а фотоприемником служит смещенный в обратном направлении P-N-переход между подложкой и терморезистором. Гигрометр имеет один выносной элемент - источник света. Терморезистор и зеркало составляют единый монолитный узел с общей кристаллической структурой. 2 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (И) А1 (51) 5 C 01 N 25/68
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К A BTGPCHGMY СВИДЕТЕЛЬС ГВУ
ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4271773/31-25 (22) 30.06.87 (46) 15.()2.90. Вюл. М 6 (71) Харьковский институт радиоэлектроники им. акад. И.К. Янгеля (72) К.В. Гладков, И.Ь. Немировский, Л.И. Соловьева,и А,Г. Гимаев (53) 533.275(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
540234, кл. 4 01 N 1/11, 1975.
Зарубежная электронная техника.
Сб, обзоров. M. ЦНИИ "Электроника, 1987, in . 2 (30.9), с. 67. (54) КОНДЕНСАЦИ()ННЫЙ ГИГРОМЕТР (57) Изобретение относится к влагометИзобретение относится к влагометрии газов, в частности к приборам, измеряющим влажность газов по точке росы, и может быть использовано для измерения этого параметра в ряде отраслей народного хозяйства.
Целью иэоЬретения является упрощение конструкции гигрометра и повышение его надежности, На Фиг. 1 представлен конденсационный гигрометр; на фиг. 2 - вид подложки с терморезистором, план.
Гигрометр содержит источник 1 света, конденсационное зеркало 2, расположенное на термоэлектрическом охладителе 3. Конденсационное зеркало 2 представляет собой полупроводниковую подложку 4, например и-типа проводимости, в которой сформирован, напри2 рии газов и может Ьыть использовано для измерения влажности в ряде облас тей народного хозяйства. Цель изобретения - упрощение конструкции гигро метра и повышение его надежности. Конденсационное зеркало конденсационного гигрометра представляет собой защищенную двуокисью кремния кремниевую подложку, в которой, например, диффуэией сформирован терморезистор, а фотоприемником служит смещенный в обратном направлении р-и-переход между подложкой и терморезистором. Гигрометр имеет один выносной элемент - источник света. Терморезистор и зеркало составляют единый монолитный узел с общей
Ж кристаллической структурой. 2 ил. мер диффузией, терморезистор 5 р-типа проводимости. Фотоприемником служит смещенный в обратном направлении р-ипереход 6 (фотодиод) между подложкой и терморезистором. Смещение осуществляется источником напряжения 7.
Конденсационный гигрометр работа- (Я ет следующим образом. К)
В момент включения прибора зерка" ло 2 сухое и имеет температуру окружающей среды. Световой поток от источ" ника 1 света освещает зеркало 2, фотоприемник 6 измеряет проходящий свет. Ф
При прохождении тока через термоэлект.- й» рический охладитель 3 зеркало 2 охлаждается до температуры точки росы. На поверхности зеркала 2 конденсируется влага, в результате чего световой поток от источника 1 света поглощается
1. 43322
Составитель В, Екаев
Техред M.Õîäàèè÷. Корректор Т. Малец
Редактор М. Недолуженко
Заказ 397 Тираж 495 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 каплями сконденсировавшейся влаги и на фотоприемнике 6 изменяется напряжение, которое используется для регулирования тока термоохладителя 3. Влажность исследуемого газа определяется в этот момент по температуре охлажденного термоохладителем 3 зеркала 2, равной точке росы, терморезистором 5.
Ф р м у л а и з о б р е т е н и я р Конденсационный гигрометр, содержащий источник света, фотоприемник, термоэлектрический охладитель с конденсационным зеркалом, состоящим из полупроводниковой подложки с датчиком температуры в виде терморезистора, о т л и:ч а ю шийся тем, что, с целью упрощения конструкции гигрометра и повышения его надежности, фотоприемник выполнен в виде обратносмешенного р-и-перехода между. подложкой и терморезистором.
