Устройство для герметизации контейнеров

 

Изобретение относится к высокотемпературной технологии соединения тугоплавких токопроводящих материалов - позволяет проводить герметизацию контейнера без разложения и сублимации помещенной в нем загрузки. Устройство имеет вакуумную камеру, ВЧ-индуктор. Внутри камеры размещены водоохлаждаемые держатель контейнера и концентратор. Держатель установлен на штоке с возможностью вращения и вертикального перемещения. Концентратор выполнен в виде стакана, имеющего в донной части отверстие. Отверстие повторяет форму контейнера. Дано соотношение, связывающее периметры отверстия концентратора и контейнера. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) А1 (51)5 С 30 В 35/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 3926551/31-26 (22) 03.07.85 (46) 2.3.03.90. Бюл. М 11

1 (71) Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе АН СССР (72) А,В.Голубков (53) 621.315.592(088,8) (56) Рост кристаллов. Теория роста и методы выращивания кристаллов. /Под ред. К,Гудмана. Т, I. — М.: Мир, 1977, с. 128. (54) YCTPOIICTBO ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ КОНТЕЙНЕРОВ (57) Изобретение относится к области высокотемпературной технологии

Изобретение относится к высокотемпературной технологии соединения тугоплавких токопроводящих материалов.

Целью изобретения является исключение разложения и сублимации загрузки.

На фиг. 1 изображено устройство для герметизации, частичный разрез; на фиг. 2 — разрез A-А на фиг. I °

Устройство содержит вакуумную камеру I, образованную кварцевым стаканом 2, установленным с помощью вакуумного уплотнения 3 на опорной плите металлического каркаса 4. Снаружи кварцевого стакана 2 размещен

ВЧ-индуктор 5, выполненный в виде спирали из медной трубки прямоугольного сечения. В вакуумной камере 1 установлен водоохлаждаемый держатель

6 контейнера 7, соединенный с помосоединения тугоплавких токопроводящих материалов и позволяет проводить герметизацию контейнера беэ раэло— жения и сублимации помещенной в нем загрузки. Устройство имеет вакуумную камеру, ВЧ-индуктор. Внутри камеры размещены водоохлаждаемые держатель контейнера и концентратор. Держатель установлен на штоке с возможностью вращения и вертикального перемещения.

Концентратор выполнен в виде стакана, имеющего в донной части отверстие ° Отверстие повторяет форму контейнера ° Дано соотношение, связывающее периметры отверстия концентратора и контейнера. 2 ил, ! щью штока 8 со средством 9 подъема и вращения, Над держателем 6 коаксиально ВЧ-индуктору 5 размещен водоохлаждаемый концентратор 10, выполненный в виде стакана, имеющего в донной части отверстие 11, повторяю ющее форму торца контейнера. На боковой поверхности концентратор 10 имеет вертикальную сквозную прорезь 12 °

Охлаждение концентратора 10 осуществляют через вводы 13. Кварцевый стакан 2 снабжен смотровым окном 14.

Устройство работает следующим образом.

Герметизируемый контейнер 7 в виде цилиндрического тигля из тугоплавкого металла, например тантала, загружают веществом и закрывают крышкой из того же материала. Затем устанавливают контейнер в водоохлаждаемый

1551750 держатель 6. Торец контейнера в месте сварного шва помещают в отвер— стие 11 концентратора 10 при помощи средства 9 подъема и вращения.

Па вакуумное уплотнение 3 устанавливают кварцевый стакан 2, вакуумную камеру 1 откачивают. Затем подают напряжение высокой частоты ат ВЧ-индуктора 5 на рабочий контур.

В концентраторе 10 генерируется ток, который вызывает в зоне сварки контейнера 7 вторичный ток.

После снятия мощности место расплава затвердевает и образуется непроницаемое соединение между крышкоп и контейнером. Затем извлекают контейнер 7 из камеры l, при этом в контейнере сохраняется вакуум или соответствующая газовая атмосфера в зависимости от условий герметизации.

Наблюдение за процессом осуществляют через смотровое окно 14.

Выполнение отверстия 11 в концентраторе 10, повторяющего форму торца 25 контейнера 7, необходимо для обеспечения равномерности нагрева зоны соединения и создание требуемой концентрации нагрева. Что касается со отношения между периметрами отверстия 11 и торца контейнера 7, то герметизация контейнера возможна только при соотношении периметров

1,1 — 1,2 °

Г!ри соотношении периметров мень35 ше I 1 происходит амыкание расплавленной зоны с водоохлаждаемым концентратором. При соотношении больше

1,2 возникает пробой, С помощью устройства герметизиру- 40 ют контейнеры из следующих материало в: молибдена, вольфрама, ниоб ия, тантала, рения и графита при загрузке их различными полупроводниковыми соединениями, упругость пара которых

-4 более 10 мм рт.ст. 1 .ри герметизации не происходит разложения и сублимации загрузки.

Устройство позволяет производить герметизацию контейнеров не только путем сварки, но и пайки.

Рор мул аизобретени я

Устройство для герметизации контейнеров с загрузкой, имеющей высокую упругость пара, включающее вакуумную камеру с расположенным внутри нее водоохлаждаемым держателем контейнера, выполненного из тугоплавкого токопроводящего материала и установленного с возможностью вращения вокруг вертикальной оси, и нагреватель, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью исключения разложения и сублимации загрузки, вакуумная камера снабжена водоохлаждаемым концентратором, выполненным в виде стакана из проводящего материала, имеющего в донной части отверстие, повторяющее форму торца контейнера, причем периметр его составляет I,1 â€,2 периметра торца контейнера, концентратор размещен над во, сохлаждаемым держателем, который соединен со средством его перемещения в вертикальной плоскости, а нагреватель выполнен в виде ВЧ индуктора, установленного коаксиально с концентратором снаружи вакуумной камеры.

1 > 5 1 7 5 () Ае.1

155!750

A-A

Фя8. g

Составитель В.Безбородова

Редактор Н.Рогулич Техред М.Дидык Корректор Т.Малец

Заказ 309 Тираж 338 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Устройство для герметизации контейнеров Устройство для герметизации контейнеров Устройство для герметизации контейнеров Устройство для герметизации контейнеров 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области выращивания монокристаллов из расплава в ампуле и может быть применено для выращивания щелочно-галоидных кристаллов

Изобретение относится к термоэлектрическому приборостроению и может найти применение в создании высокоэффективных преобразователей на основе полупроводниковых материалов для прямого преобразования тепловой энергии в электрическую, например, в холодильниках, термостатах, агрегатах для кондиционирования воздуха и других устройствах

Изобретение относится к производству абразивных материалов, в частности к производству высокопрочных корундовых материалов, применяемых для изготовления абразивных кругов

Изобретение относится к производству абразивных материалов, в частности к производству высокопрочных корундовых материалов, применяемых для изготовления абразивных кругов

Изобретение относится к созданию резервуара для хранения расплавленного кремния и способа его изготовления

Изобретение относится к технике, связанной с выращиванием кристаллов из растворов, и может быть использовано при скоростном выращивании профилированных кристаллов (например, КН 2РО4, KD2PO 4, BaNO3 и др.)

Изобретение относится к технике, связанной с выращиванием кристаллов из пересыщенных водных растворов, и может быть использовано при скоростном выращивании профилированных кристаллов (например, типа KH2PO4, KD2PO4 , Ва(NO3)2 и др.)

Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, преимущественно поликристаллического кремния, путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые подложки и может быть использовано в реакторах с резистивным подогревом стержневых подложек и с верхним токоподводом

Изобретение относится к кристаллографии, а более конкретно - к устройству для выращивания кристаллов биологических макромолекул, например кристаллов белка

Изобретение относится к устройствам, специально предназначенным для выращивания поликристаллического кремния, а именно к системе охлаждения колпака реактора для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки (основы)
Наверх