Тензометрический преобразователь

 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к преобразователям, используемым в устройствах для измерения абсолютного давления. Цель изобретения - повышение точности путем снижения температурной погрешности и времени готовности к работе - достигается путем снабжения преобразователя автономным кольцевым резистором 6, выполненным из низкоомного геттерного материала, расположенным вокруг измерительной схемы с рабочими резисторами 2. Резистор 6 обеспечивает термостатирование чувствительного элемента и компенсацию давления остаточных газов при повышении температуры путем адсорбции молекул газа на геттерную поверхность резистора 6. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СООЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (1% (1!) Щ)5 G 01 L 9/04

° с

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4382398/25-28 (22) 05.01.88 (46) 23.03.90. Бюл. ¹ t1 (72) В..А.Семенов, В.Н.Марин, В.И.Гундырева и Н.И.Сивенков (53) 531.781 ° 2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ .1253266, кл. G 01 N 9/04, !984. (54) ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ (57) Изобретение относится к измерительной технике, а именно к преобразователям, используемым в устройствах для измерения абсолютного дав2 ления. Цель изобретения — повышение точности путем снижения температурной погрешности и времени готовности к работе — достигается путем снабжения преобразователя автономным кольцевым резистором 6, выполненным из низкоомного геттерного материала, расположенным вокруг измерительной схемы с рабочими резисторами 2. Резистор

6 обеспечивает термостатирование чувствительного элемента и компенсацию давления остаточных газов при повы-шении температуры путем адсорбции молекул газа на геттерную поверхность резистора 6. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.

1552019

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения абсолютного, давления.

Цель изобретения — повышение точ-. ности путем снижения температурной погрешности и времени готовности к работе.

На фиг.1 представлена конструкция тензометрического преобразователя, вид сверху; на фиг.2 — то же, вид ,сбоку.

Тензометрический преобразователь содержит чувствительный элемент в виде мембраны 1, на которой методом тонкопленочной технологии сформирована измерительная схема с рабочими резисторами 2, выполненными, например, из сплава Х20Н75Ю, компенсаци, онными резисторами 3 и балансировоч-! ными резисторами 4. Контактными пло, щадками 5, выполненными из золота, все резисторы 2 соединены в мостовую измерительную схему. Вокруг измери- 25 тельной схемы нанесен кольцевой резистор 6, который выполнен из низкоомного геттерного материала, например циркония, и имеет: автономное напряжение питания, развязанное с напряжением питания мостовой схемы.

Измерительная схема и резистор 6 рас положены в полости 7 герметичного корпуса 8.

Тензометрический преобразователь

1 работает следующим образом.

Соответствующие напряжения питания подаются одновременно на мостовую измерительную схему и на резистор 6, включение которого сокращает 40 время готовности преобразователя к работе за счет термостатирования чувствительного элемента. При воздействии на чувствительный элемент измеряемого давления мембрана 1 деформируется, изменяется сопротивление рабочих резисторов 2 и на выходе измерительной схемы появляется сигнал, соответствующий измеряемому давлению.

При повышении температуры в процессе измерения происходит нагрев чувствительного элемента и дополнительный нагрев резистора 6. Увеличение давления в полости 7 при разогреве корпуса 8 компенсируется геттерным материалом резистора 6. Компенсация осуществляется за,счет адсорбции избытка молекул геттерным материалом при повышении температуры. Наибольший эффект при этом достигается при расположении автономного кольцевого резистора на недеформируемой части мембраны. формула изобретения

Тензометрический преобразователь, содержащий герметичный корпус, чувствительный элемент в виде мембраны и металлопленочные рабочие, компенсационные и балансировочные резисторы, расположенные на рабочей части мембраны и соединенные в мостовую . измерительную схему, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности путем снижения температурной погрешности и времени достижения готовности к работе,.он снабжен автономным кольцевым резистором из низкоомного геттерного материала, расположенным вокруг измерительной схемы.

2. Преобразователь по п.1, о т л и ч а ю шийся тем, что автономный кольцевой резистор расположен на недеформируемой части мембраны.

1552019

Составитель Л.Степанов

Техред А.Кравчук, Корректор Т.Малец

Редактор А.Шандор

Заказ 323 Тираж 467 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101