Сплав на основе алюминия
Изобретение относится к сплавам на основе алюминия, используемым в микроэлектронике в качестве проводниковых соединений интегральных микросхем. Цель изобретения - повышение устойчивости сплава к питтинговой коррозии и улучшение пассивационных характеристик. Сплав на основе алюминия содержит компоненты при следующем соотношении, мас.%: медь 1,0 - 3,5, скандий 1,0 - 1,5, алюминий - остальное. Свойства сплава следующие: скорость коррозии, мА/см2; iн.п 0,52 - 0,75, Iп. п 0,10 - 0,15; электрохимические св-ва : 
Eр.п105-75; Eпас 790-820. 2 табл.
Изобретение относится к сплавам на основе алюминия, используемым в микроэлектронике в качестве проводниковых соединений интегральных микросхем. Целью изобретения является повышение устойчивости сплава к питтинговой коррозии и улучшение пассивационных характеристик. П р и м е р. Для получения сплава приготавливают смеси компонентов, представленные в табл.1. Каждая смесь сплавляется отдельно в открытых электрических печах, в корундовых тиглях. Из полученных сплавов отливают в графитовые изложницы цилиндрические образцы длиной 100-110 мм и диаметром 8-10 мм, конец которых опрессовывают в тефлоновые трубки, торцовую часть стержня в среде 3%-ного раствора хлористого натрия. Исследования электрохимических свойств сплавов проводят потенциодинамическим методом на потенциостате П-5287М со скоростью развертки потенциала 10 мВ/с, предварительно подвергая электрод катодной поляризации при 2В в течение 2 мин. Записываются потенциометрические кривые, с помощью которых определяют области активного растворения, активно-пассивного состояния и питтингообразования, а также потенциалы и плотность токов начала и полной пассивации, питтингообразования. Значения электрохимических свойств, снятых из потенциодинамических кривых, приведены в табл.2. Таким образом, предложенный сплав обладает повышенной устойчивостью к питтинговой коррозии и лучшими пассивационными характеристиками по сравнению с известным.
Формула изобретения
СПЛАВ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЯ, содержащий медь и редкоземельный металл, отличающийся тем, что, с целью повышения устойчивости сплава к питтинговой коррозии и улучшения пассивационных характеристик, в качестве редкоземельного металла он содержит скандий при следующим соотношении компонентов, мас.%: Медь - 1,0 - 3,5 Скандий - 1,0 - 1,5 Алюминий - ОстальноеMM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 8-2000
Извещение опубликовано: 20.03.2000
