Полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле

Авторы патента:

C03C15/02 - для получения полированных (гладких) поверхностей

Изобретение относится к химической обработке материалов и может быть использовано для изготовления и доводки высокочастотных и сложных оптических поверхностей из труднообрабатываемых материалов-стекла, керамики, кристаллов. Целью изобретения является получение оптически полированной поверхности. Для этого полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле содержит следующие компоненты, об.%: HF 9-16

H<SB POS="POST">2</SB>SO<SB POS="POST">4</SB> или HNO<SB POS="POST">3</SB> 14-29

H<SB POS="POST">2</SB>O 15-46

полирит 23-35. Съем материала 0,32-1,20 мкм. Шероховатость поверхности после обработки R<SB POS="POST">Z</SB>=0,023-0,091. 1 табл.

ссюэ соВетских

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (51)5 С 03 С 15/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ по изоБРетениям и опюытиям

flPH ГКНТ СССР

К A ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4351079/23-33 (22) 28.12.87 (46) 30.04.90. Бюл. М - 16 (72) Г.И,Афанасьева, Б.Д.Горелик и А.К.Зимин (53) 666,1.053.63 (088.8) (56) Купфер В ° В,.и Рябов В.А. Упрочнение стекла с применением ультразвука, вЂ” Стекло и керамика, N - 7, 1969, с. 10-13, Заявка Японии ггг 55-130839, кл. С 03 С 15/00, 1980. (54) ПОЛИРОВАЛЬНЬ1Й РАСТВОР ДЛЯ ОБРАБОТКИ СТЕКЛОИЗДЕЛИ11 В УЛЬТРАЗВУКОВОМ ПОЛЕ (57) эобретенне относится к химичесP

Изобретение относится к химической обработке материалов и может ,быть использовано для изготовления и доводки высокоточных и сложных оптических поверхностей из труднообрабатываемых материалов вЂ” стекла, керамики, кристаллов.

Цель изобретения вЂ” получение оптически полированной поверхности при обработке высококремнеземистого стекла.

Пример 1, Проводят. обработку полированных оптических деталей из стекла марки К-8 и кварца. Ультразвуковой излучатель, имеющий форму прямоугольника с излучающей площадью

10х55 мм, устанавливают на расстоянии 0,7 мм от обрабатываемой поверхности вне светового диаметра, Подают в зазор травильный раствор, содержащий, об,X: плавиковая кислота

70Х-ная 11;азотная кислота 1N 14.

„.,SU„„1 5©egg

2 кой обработке материалов и может быть использовано для изготовгения и доводки высокочастотных и сложных оптических поверхностей из труднообрабатываемых материалов-стекла, керамики, кристаллов. Целью изобретения является получение оптически полированной поверхности. Для этого полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле содержит следующие компоненты,об.У.:

HF 9-16; Н БО или HNO 14-29; H О

15-46; полирит 23-35. С ем материала

0,32-1,20 мкм. Шероховатость поверхнг сти после обработки Р = 0,023

0,091, табл. (для стекла марки КЯ) нли серная кислота IN 14 (для кварца), дистиллиро ванная вода 46; полирит 29, и первоначально сообщают излучателю колеба- . ния с максимально возможной амплиту- ©" дой. В процессе обработки производят Ж замеры шероховатости поверхности. Ю

Если шероховатость участка поверхнос- 4Ь ти больше шероховатости исходной, то постепенно уменьшают амплитуду 3 колебаний излучателя до тех пор, пока шероховатость обрабатываемого участка поверхности не будет отличатвся от исходной, После этого ультразвуковой излучатель, сохраняя установленный зазор, передвигают в зону светового диаметра на участок поверхносТи, где требуется частично удалить излишки материала с сохранением качестна поверхности. Сообщают излучателю величину амплитуды колебаний с интенсивностью ввопимого г

15п0497

Остальные примеры представлены в таблице.

Формула изобретения

Полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле, содержащий плавиковую, серную или азотную кислоты и дистиллированную воду, отличающийся тем, что, с целью получения оптически полированной поверхности,он дополнительно содержит полирит при следующем соотношении, компонентов,об.X:

Плавиковая

9-16 кислота

Серная или азотная кислота

Дистиллированная вода

Полирит

14-33

25-46

?3-35

Состав

Пример

Интенсивность

Пьем раствора

Качество поверхности

Н,нн Н,О

IN (дистип пировал н*я2 натеHF

<-702ная) 3

IN.

Тнп

82 после обраоотки олирит ультраИнтерферадионная картина риала, мкм звука, нт/см

1 11 14

28 34

14 39

29 (2> 25

1 20

Полированная

Полнровенная

Полированная

0,023 ,О, 045

0,091

0i031

0,048

0,046

0,075

0,041

n,0Ç0

0,029

Упорядоченная

Упорядоченнан

Упорядо. ченная

Упорядоченная

2 10

3 14

0 25 046 зз

0,27

0,93

32 27

4 9 32

0,26 0,32

0,23 0,42

0,25 0,50

5 11

G I!

33 28

29 29

7 !3 16

8 14 28 зг

0,25

I ° !o

0,27 0,79

0,24 0,91

0,24 0 ° 65

9 15

25 25

10 16 !8 гз

Составитель О.Самохина

Техред Л Кравчук Корректор В. Гирняк.Редактор И.Сегляник

Заказ 949 Тираж 389 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГЕНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб, д. 4/5

° ч

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101. раствор ультразвука в пределах

О,23-0,27 Вт/см и производят съем материала на требуемую величину. Время обработки составляет в обоих случаях

15 мин, В результате на обрабатываемой поверхности выбирают прямоугольный паз, соответству2ощий размерам ультразвукового излучателя, на стек" .ле марки K-8 глубиной 1,35 мкм и на кварце 1,00 мкм, Пример 2, Плоскую полированную поверхность стекла марки БК-110 обрабатывают в травильном растворе, содержащем, об.X:: плавиковая кислота 70Х-ная 10; азотная кислота 1N 20; дистиллированная вода 30; полирит 27.

Ультразвуковой излучатель круглого сечения устанавливают на расстоянии

0,5 мм от обрабатываемой поверхности, обеспечивающем интенсивность ультразвукового издя7чения 0,24 Вт/см .

Получена интерферограмма поверхности, на которой обработано девять участков. Верхние три участка обраба- 25 тывались 1 мин, участки, расположенные в середине поверхности,обрабаты, вались 2 мин, и три нижних участках обрабатывались 3 мин.

Из интерферограммы видно, что участки, обработанные в течение одинакьвого времени, имеют одинаковый съем материала, причем величина съема пропорциональна времени обработки, Всем обработанным участкам присуща гладкая полированная поверхность, имеющая упорядоченные интерференционные полосы, соизмеримые по длине с размерами поверхности детали. ь

Полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле

Изобретение относится к технологии обработки оптических деталей и может быть использовано в оборонной и электронной промышленности

Способ травления оптических деталей из стеклокристаллического материала // 1445128

Изобретение относится к технологии обработки оптических деталей и может быть использовано для обеспечения технологического процесса химического прецизионного травления и полирования оптических деталей сложной формы из стеклокристаллических материалов

Полировальный состав // 1435558

Устройство для химической полировки стеклоизделий // 1294774

Установка для химической полировки стеклоизделий // 727575

Травильный раствор // 655668

Способ полировки стеклоизделий // 597654

Способ химической полировки стеклоизделий // 581106

Способ обработки внутренней поверхности полого изделия // 567695

Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов // 557066

Полировальный раствор // 2301204

Изобретение относится к составам растворов, применяемых для полировки изделий из стекла

Способ уменьшения шероховатости поверхности кварцевого стекла // 2433968

Изобретение относится к технологии обработки кварцевого стекла, в частности кварцевого стекла

Способ обработки каналов в изделиях из ситалла, устройство для его осуществления и состав для обработки каналов в изделиях из ситалла // 2060235

Изобретение относится к области обработки ситалла и другой стеклокерамики и может быть использовано для химического полирования каналов в моноблоке лазерного гироскопа

Способ шлифования и полирования стекла // 2595283

Изобретение относится к технологии производства крупногабаритных силикатных стеклозаготовок 3D-формы. Технический результат изобретения заключается в уменьшении шероховатости шлифованной поверхности изделий, сокращении времени обработки силикатных 3D-оболочек до оптического качества. На начальной стадии шлифовку осуществляют порошком марки М60 на глубину 120-150 мкм в течение 4-6 ч, затем шлифованную поверхность подвергают воздействию травильного раствора при температуре раствора 10-25°С и продолжительности травления 2-7,5 мин с последующей промывкой водой с температурой 40°С в течение 10 мин. Далее на промежуточной стадии стекло шлифуют микропорошком марки М28 на глубину 20-30 мкм в течение 8-10 ч, после чего шлифованную поверхность подвергают травлению в травильном растворе в течение 2,5-5,5 мин, с последующей промывкой водой с температурой 40°С в течение 10 мин. На окончательной стадии стекло шлифуют микропорошком марки М14 на глубину 10-15 мкм в течение 15-18 ч, после чего шлифованную поверхность подвергают многократному травлению в травильном растворе при температуре 20°С с общей продолжительностью травления 24-51 мин, после каждого цикла травления стекло промывают водой с температурой 40°С в течение 5 мин, затем стекло подвергают окончательной полировке в течение 100-120 часов. Травильный раствор содержит компоненты в следующих соотношениях, мас.%: HF - 15, H2SO4 - 10, H2O - 75.