Способ определения формы поверхности объекта

 

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности определения формы за счет контроля фактической величины цены интерференционной полосы. Для этого в кювету с прозрачной стенкой помещают исследуемый объект и контрольный объект с заданной формой поверхности. Освещают кювету когерентным излучением и получают двухэкспозиционную голограмму, изменяя между экспозициями показатель преломления иммерсионной среды, находившейся в кювете. Получают интерференционную картину на исследуемом и контролируемом объектах, по сопоставлению картины полос и формы поверхности контрольного объекта определяют цену интерференционной полосы, а по интерферограмме исследуемого объекта с учетом определенной цены полосы рассчитывают форму поверхности. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (5))5 G 01 В 9/023 11/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 44 70401/24-28 (22) 11.05.88 (46) 07.05.90. Бюл. N - 17 (75) Г.Д.Клева (53) 531.717.2 (088.8) (56) Оптическая голография. Практические применения. / Под ред.

В.M.Гинзбург и Б.M.Степанова.-М.:Советское радио, 1978, с.59-60, 66-75. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к измери- . тельной технике. Целью изобретения является повышение точности определения формы за счет контроля фактической величины цены интерференционной

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к оптическим способам измерений, и может быть использовано для определения формы поверхности диффуэно-отражающих объектов голографическим иммерсионным методом.

Целью изобретения является повышение точности определения формы за счет контроля фактической величины цены интерференционной полосы.

На чертеже представлена оптическая схема, реализующая способ определения формы поверхности. Схема содержит кювету 1 с плоской стеклянной стенкой 2, помещенные в кювету 1 исследуемый объект 3 и контрольный объект 4, светоделитель 5, формирующий из коллимированного пучка 6 ко„,Я0„„3 562687 A 1 полосы. Для этого в кювету с прозрачной стенкой помещают исследуемый объект и контрольный объект с заданной формой поверхности. Освещают кювету когерентным излучением и получают двухэкспозиционную голограмму, изменяя между экспозициями показатель преломления иммерсионной среды, находившейся в кювете. Получают интерференционную картину на исследуемом и контролируемом объектах, по сопоставлению картины полос и формы поверхности контрольного объекта определяют цену интерференционной полосы, а по интерферограмме исследуемого объекта с учетом определенной цены полосы рассчитывают форму поверхности. 1 з.п.A-лы, 1 ил. герентного излучения объектный и опорный пучки, зеркало 7, фотопластинку 8 и фотоаппарат 9 для регистрации интерферограммы.

Способ осуществляется следующим образом»

В кювете 1 с плоской стеклянной, 0© стенкой 2 закрепляют исследуемый объект 3 и контрольный объект 4, имеющий заданную, например, сферическую

1 поверхность постоянного радиуса кривизны R.

Коллимированным световым пучком когерентного излучения освещают объекты 3 и 4 через стенку 2 кюветы 1, а отраженный от объектов предметный пучок совместно с опорным от зеркала

7 направляют на фотопластинку 8. Голограммы записывают на фотопластинку

1562687 методом двух экспозиций, заполняя кювету перед первой и второй экспозициями жидкостями с различным коэффициентом преломления. 5

После фотохимической обработки фотопластинку 8 с записанным голографическим изображением устанавливают на прежнее место в оптической схеме, убирают светоделитель 5 и фотоаппара- 1ð том 9 регистрируют интерферограмму одовременно для поверхностей исследуеМого 3 и контрольного 4 объектов. ПоЛучают фотографию интерферограммы, и с учетом масштаба замеряют величину 15 базы 2Х, на которой укладывается максимальнбе целое число визуально разрешимых интерференционных полос

М (2Х), при этом базу 2Х выбирают на

Отрезке, проходящем через центр симметрии интерференционной картины на

Поверхности контрольного объекта.

Фактическую цену полосы вычисляют по формуле 25

d = — — --(R — М Р вЂ” Х1)

2 г

N (2Х) где R. . — радиус кривизны поверхности 3О контрольного объекта.

После этого по интерференционной картине на исследуемом объекте 3 с учетом вычисленной реальной цены полосы определяют форму поверхности исследуемого объекта 3.

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

1. Способ определения формы поверхности объекта, заключающийся в том, что исследуемый объект помещают в кювету с плоской прозрачной стенкой, заполняют кювету иммерсионной средой, освещают кювету когерентным излучением, записывают голограмму, изменяют показатель преломления иммерсионной среды, вновь записывают голограмму, получают интерферограмму путем восстановления двухэкспозиционной голограммы„ определяют цену интерференционной полосы и по картине полос определяют форму поверхности исследуемого объекта, о т л и ч а— ю шийся тем, что, с целью повышения точности, перед записью голограммы в кювету помещают контрольный объект с заданной формой поверхности, определение цены интерференционной полосы осуществляют по сопоставленищ картины интерференционных полос на контрольном объекте и"функции формы поверхности контрольного объекта.

2, Способ по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что в качестве контрольного объекта используют объект со сферической формой поверхности.

1562687

Составитель В.Бахтин

Техред Л,Олийнык

Корректор М.Кучерявая

Редактор Г.Гербер

Заказ 1054 Тираж 494 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101