Способ измерения больших сопротивлений с учетом тока утечки
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения больших сопротивлений образцов полупроводниковых материалов. Цель изобретения - повышение точности измерения за счет учета тока утечки - достигается тем, что стабилизированный постоянный ток подают сначала через контрольный и образцовый резисторы 2 и 3 соответственно, измеряют на них напряжения, заменяют образцовый резистор 3 на измерительный образец, подают через них стабилизированный постоянный ток, измеряют напряжение на контрольном резисторе 2 и определяют величину сопротивления измеряемого образца по формуле, приведенной в описании изобретения. 1 ил.
союз сощтсних социАлистических
РЕСПУБЛИК
y1)g.. С Ol R 27/14
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУЯАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
flo изоБРетениям и откРытиям пРи ГКНТ сссР (2)) 4 126776/24-21
I (22) 04.07.86 (46) 30.05.90. Бюл. h 20 (7 1) Всесоюзный научно-исследовательский институт электроизмерительных приборов (72) В.Г.Гончаров, H.Ï.Губанов, IC ° Â.Kðóòèêoâ, А.E.Âîëïÿíñêèé и О.Л.Николайчук (53) 621.317.3(088.8) (56) Рождественская Т.Б ° и др. Методы точных измерений тока, напряжения, сопротивления и мощности в цепях постоянного тока. М.: Машиностроение, 1976, с. 39-40. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ БОЛЬ1ПИХ СОПРОТИВЛЕНИЙ С УЧЕТОМ ТОКА УТЕЧКИ (57) Изобретение относится к измериИзобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения больших сопротивлений образцов полупроводниковых материалов.
Целью изобретения является повышение точности измерения путем учета тока утечки.
На чертеже приведена блок-схема устройства для реализации предлагаемого способа.
Способ заключается в том, что подают постоянный стабилизированный ток через последовательно соединенные контрольный и образцовый резисторы, измеряют падение напряжения на них, образцовый резистор заменяют на иэмеряемьа образец, подают постоянный стабилизированньп1 ток через последовательно соединенные контроль„„SU„„1567996 A 1 тельной технике и может быть использовано для измерения больших сопротивлений образцов полупроводниковых материалов. Цель изобретения — повьг шение точности измерения за счет учета тока утечки — достйгается тем, что стабилизированный постоянный ток подают сначала через контрольный и образцовый резисторы 2 и 3 соответственно, измеряют на них напряжения, заменяют образцовый резистор 3 на измерительный образец, подают через и них стабилиэированньп постоянный ток, измеряют напряжение на контрольном резисторе 2 и определяют величину сопротивления измеряемого образца по формуле, приведенной в описании изобретения. 1 ил, ный резистор и иэмеряемьп образец, измеряют падения напряжения на них и определяют величину сопротивления измеряемого образца по формуле
Ue \Лп к у
Бк UN Uâ UO Lk — — --(— — — ) -- -I
R„Uî R „Ro R„ где U U — напряжения на контрольном к о и образцовом резисторах соответственно при их последовательном соединении; Ь
U U — напряжения на контрольk R ном резисторе и измеряемом обра31(p соответственно при их последовательном соединении, 1567996
R>,Ð вЂ” сопротивления контрольного и образцового резисторов;
I> — ток утечки.
Устройство содержит источник 1 стабилизированного постоянного тока, контрольный резистор 2, образцовый резистор 3, измеряемый образец 4, коммутатор 5, вольтметр 6, контрол- 10 лер 7.
Способ реализуется следующим образом, Коммутатор 5 соединяет последовательно источник 1, контрольный и 15 образцовый резисторы 2, 3, по команде контроллера 7 осуществляется последовательный замер падения напряжения на резисторах 2, 3 и ввод кодов, соответствующих измеренным напряже- 20 ниям, в оперативную память контроллера 7. Затем коммутатор 5 выключает иэ цепи образцовый резистор 3 и вместо него включает измеряемый образец
4, контроллер 7 аналогично управля- 25 ет измерением падения напряжения на резисторе 2 и измеряемом образце 4, а затем осуществляет вычисление сопротивления измеряемого образца.
Фо рмул а и э о б р е т е н и я
Способ измерения больших сопротивлений с. учетом тока утечки, включающий подачу чеРез иэмеряемьФ Резис- 35 где П„,Б о о к о напряжения на контрольном и образцовом резисторах соответственно при их последовательном соединении; напряжения на контрольном резисторе и измеряемом образце соответственно при их последовательном соединении; сопротивления контрольного и образцового резисторов соответственно. тор стабилизированного постоянного тока, измерение падения напряжения на нем и вычисление его величины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, стабилизированный постояннвя ток подают сначала через последовательно соединенные контрольный и образцовый резисторы, измеряют напряжения на них, затем образцовый резистор заменяют на измеряемый образец, подают через них стабилизированный постоянный ток, измеряют напряжение на контрольном резисторе, а величину сопротивления измеряемого образца определяют по формуле ля
1567996
Составитель П.Мельников
Редактор А.Маковская Техред Л.Олийнык Корректор О.Кравцова
Заказ 132! Тираж 553 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101
