Способ переработки кубовых остатков производства поликристаллического кремния

Авторы патента:

Халиков Р.С.

Томашов В.А.

Епихин Ю.В.

Данов П.А.

C01B33/08 - соединения, содержащие галоген

Способ переработки кубовых остатков производства поликристаллического кремния, включающий двустадийное хлорирование кубовых остатков в жидкой фазе с получением тетрахлорида кремния, отличающийся тем, что, с целью снижения взрывоопасности процесса и повышения чистоты получаемого тетрахлорида кремния, используют кубовые остатки с массовым соотношением содержания тетрахлорида кремния и сумма полисилан- и полисилоксанхлоридов, равном 1: 0,05 - 0,11, первую стадию хлорирования осуществляют при массовом соотношении хлора и суммы водородсодержащих полисилан- и полисилоксанхлоридов, равном 0,5 - 0,75:1, затем отгоняют тетрахлорид кремния до массового соотношения содержания тетрахлорида кремния и суммы полисилан- и полисилоксанхлоридов, равного 1:1,0 - 1,85, вторую стадию хлорирования проводят при массовом соотношении хлора и суммы водородсодержащих полисилан- и полисилоксанхлоридов, равном 0,75 - 1:1, затем отгоняют хлорид кремния до содержания его в кубовом остатке 1,2 - 5,0 мас.%.

Способ получения трихлорсилана // 1432950

Способ получения трихлорсилана // 1431254

Способ получения пентахлордисилоксана // 1389199

Способ переработки кубовых остатков производства трихлорсилана и поликристаллического кремния на тетрахлорид кремния // 1369182

Способ получения четыреххлористого кремния // 1287464

Способ получения гексахлордисилоксана // 1249871

Способ получения октахлортрисилоксана // 1241643

Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния // 1239983

Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния // 1153493

Способ получения силанов // 2152902

Способ получения высокочистого порошка кремния из тетрафторида кремния с одновременным получением элементного фтора, способ отделения кремния от расплава солей, полученные вышеуказанным способом порошок кремния и элементный фтор и способ получения тетрафторида кремния // 2272785

Способ получения тетрафторида кремния, способ отделения тетрафторида кремния от кислорода и высоколетучих фторидов примесей, способ получения порошка кремния из тетрафторида кремния // 2324648

Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов

Способ получения кремния // 2415809

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния

Способ очистки парогазовой смеси от тетрахлорида кремния // 1787508

Способ выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка для его осуществления // 1791380

Способ глубокой очистки моносилана // 2593634

Изобретение относится к области получения кремнийсодержащих материалов. Способ получения моносилана осуществляют диспропорционированием трихлорсилана. Способ включает контактирование трихлорсилана и смеси хлорсиланов с катализатором в ректификационной колонне. Производят отгонку из смеси тетрахлорида кремния и выделение полученных хлорсиланов с последующим возвратом смеси в ректификационную колонну. Выделение моносилана проводят методом парциальной конденсации. Моносилан с примесями хлорсиланов и частиц катализатора разделяют и очищают методом мембранного газоразделения. Для отделения хлорсиланов разделение ведут на высокопроницаемой по хлорсиланам мембране в режиме противотока, а для очистки от гетерогенных наночастиц катализатора разделение ведут на высокопроницаемой по моносилану мембране в режиме прямотока. Технический результат заключается в снижении материало- и энергоемкости процесса с получением более чистого моносилана. 1 ил., 3 пр.

Способ получения изотопнообогащенного тетрахлорида кремния // 2618265

Изобретение относится к получению изотопнообогащенного тетрахлорида кремния, который может быть использован для получения изотопов кремния, оптических материалов, волоконных световодов и пленок. Способ получения изотопнообогащенных тетрахлоридов кремния 28SiCl4, 29SiCl4, 30SiCl4 включает взаимодействие изотопнообогащенных тетрафторидов кремния 28SiF4, 29SiF4, 30SiF4 и хлорида алюминия(III) при температуре 250-400°C в закрытом реакторе при 2-10-кратном избытке хлорида алюминия(III) относительно стехиометрического соотношения и продолжительности контакта реагентов 30-60 ч. Изобретение обеспечивает высокий выход изотопнообогащенного тетрахлорида кремния, повышение экономичности способа и безопасность процесса. 2 пр.