Электростатическое реле

Авторы патента:

H01H59 - Электростатические реле; реле, основанные на явлении электростатического прилипания (муфты, основанные на использовании эффекта Джонсона-Раабека H02N 13/00)

Изобретение относится к электротехнике, в частности к электростатическим реле. Цель изобретения - повышение чувствительности. Электростатическое реле содержит диэлектрические подложки 1,2, управляющие электроды 6, 10, контакты 7,9. Подвижный центр выполнен в виде жесткой пластины 4 и соединен с остальной частью подложки эластичными балочными держателями. 2 ил.

СОЮЗ .СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 Н 01 Н 59/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (54) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ РЕЛЕ (57) Изобретение относится к электротехнике, в частности к электростатическим реле, Цель изобретения вЂ” повышение чувствии тельности, Электростатическое реле содержит диэлектрические подложки 1, 2, управляющие электроды 6, 10, контакты 7, 9. Подвижный центр выполнен в виде жесткой пластины 4 и соединен с остальной частью подложки эластичными балочными держателями. 2 ил.

Фиа.2 (21) 4416173/24-07 (22) 26.04.88 (46).,30.06.90. Бюл. ЬЬ 24 (71) Институт электроники АН БССР (72) И.Л,Григоришин, Г.И.Ефремов

M.Ý.Ñòåëüìàõ (53) 621.318.51 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 506078, кл. Н 01 Н 59/00, 1973.

» 512 ÄÄ 1575249 А1

1575249

Изобретение относится к электротехнике, в частности к электростатическим реле.

Цель изобретения вЂ” повышение чувствительности путем снижения напряжения срабатывания. 5

На фиг,1 изображено электростатическое реле; на фиг.2 вЂ” сечение А-А на фиг.1.

Электростатическое реле выполнено на тонких диэлектрических подложках 1 и 2, наложенных друг на друга. В подложке 1 10 выполнены сквозные пазы 3, образующие подвижный элемент в виде жесткой пластины 4, соединенной с основной частью подложки 1 четырьмя эластичными балочными держателями 5, Держатели 5 расположены 15 симметрично по отношению к одной из осей пластины 4 и наклонно к этой оси, углы наклона держателей равны, а вершинами углы направлены в одну сторону. На внешней поверхности пластины 4 сформирован 20 тонкопленочный управляющий электрод 6, а посередине внутренней вЂ” подвижный контакт 7. На внутренней поверхности подложки 2 выполнено углубление 8, на дне которого напротив подвижного контакта 7 25 расположены два неподвижных контакта 9 и по обе стороны от них вЂ” тонкопленочный управляющий электрод 10.

Электростатическое реле работает следующим образом. 30

При подаче управляющего напряжения на электроды б и 10 на пластину 4 действует распределенная сила электростатического притяжения, Под действием этой силы эластичные держатели прогибаются, причем 35 концы держателей, соединенные с пластиной 4, передвигаются по дугам в одном направлении, поэтому пластина 4 перемещается параллельно своему начальному положению к дну углубления 8 подложки 2, сохраняя при этом неизменной свою плоскостность. B результате подвижный контакт 7 соединяет неподвижные контакты 9 между собой, замыкая цепь коммутации.

Независимый расчет площади управляющих электродов 1 и жесткости эластичных балочных держателей 5 позволяет получить необходимые характеристики реле.

Формула изобретения

Электростатическое реле, содержащее диэлектрическую подложку, управляющие электроды, подвижный и неподвижный контакты, причем один из управляющих электродов и неподвижный контакт размещены на диэлектрической подложке, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности путем снижения напряжения срабатывания, оно снабжено дополнительной диэлектрической подложкой, центр которой выполнен в виде жесткой пластины, соединенной с остальной частью дополнительной диэлектрической подложки эластичными балочными держателями, указанные балочные держатели расположены симметрично по отношению к одной из осей жесткой пластины и под углом к этой оси, указанные углы вершинами направлены в одну сторону, а упомянутые второй управляющий электрод и подвижный контакт размещены на указанной жесткой пластине дополнительной диэлектрической подложки.

1575249

Фиг. f

Составитель Ю.Селянинов

Редактор M.Öèòêèíà Техред М.Моргентал Корректор Н. Ревская

Заказ 1788 Тираж 462 Подписное

ВНИИЛИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, yn,Гагарина, 101

Похожие патенты:

Электростатическое реле // 1418823

Электростатическое реле // 1403141

Изобретение относится к электротехнике и может использоваться для построения коммутирукхцих цепей s автоматике , вычислительной и измери: тельной технике, телеметрии, телефонии и т.п

Электростатическое реле // 1363323

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для коммутирования электрических цепей в аппаратуре автоматики, сигнализации и связи в различных областях народного хозяйства

Электростатическое реле // 1159084

Электростатическое реле // 1001219

Высоковольтный прерыватель // 764002

Электрод электростатического реле // 738009

Электростатическое реле и способ управления им // 653642

Электростатическое реле // 632005

Электростатическое реле // 618808

Миниатюрное реле и соответствующие варианты его использования // 2325722

Радиочастотный микроэлектромеханический переключатель (рч мэмс-переключатель) с гибкой и свободной мембраной переключателя // 2433499

Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано в радиочастотных коммуникационных системах

Микромеханическая система // 2522878

Изобретение относится к микросистемной технике для создания электростатически управляемых микромеханических резонаторов для датчикопреобразующей аппаратуры и микрореле для коммутации СВЧ и НЧ аналоговых электрических цепей. Система содержит микромеханический исполнительный элемент, микроэлектронный преобразователь постоянного тока, вибрирующий элемент в виде миниатюрного пьезоэлектрического резонатора, автоколебательную резонансную схему, обратную связь, фазовращатель, емкость (конденсатор), интегральные логические КМОП-элементы, жесткую пластину и упругие подвесы. Технический результат заключается в создании микромеханической системы, отличающейся простотой конструкции и устойчивыми воспроизводимыми эксплуатационными характеристиками. 5 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.

Способ изготовления электростатического силового мэмс ключа // 2527942

Изобретение относится к области электротехники, а именно к способу изготовления электростатического силового микроэлектромеханического ключа, в котором формируется плоскопараллельное соединение поверхности кремниевого кристалла и печатной платы за счет сформированного микрорельефа на соединяемой поверхности кремниевого кристалла с использованием проводящего клеевого соединения. Обеспечение заданного зазора между подвижной структурой кремниевого кристалла и печатной платой и создание за счет этого оптимального соотношения между величиной управляющего напряжения и жесткостью подвижной структуры кремниевого кристалла является техническим результатом изобретения. Способ изготовления микромеханического элемента включает формирование на подложке кремния (1) технологической мембраны (2), выступов (3), рабочей мембраны (5), микрорельефа (4), приповерхностного высоколегированного n+ слоя (6) и изоляции (7) фотолитографией, формирование металлического шунта (8) путем напыления золота на подслой вольфрама и формирование подвижного электрода в виде консоли с гибкими поддерживающими балками сквозным плазмохимическим травлением щелевидных отверстий (9) в рабочей мембране, а также изготовление металлической печатной платы (10), силовых шин (11), нижнего электрода (12) и рамки для верхнего электрода (13), с последующим соединением микромеханического элемента и металлической печатной платы при помощи проводящего клея. 4 з.п. ф-лы, 9 ил.

Переключатель и коммутатор // 2532684

Изобретение касается переключателя или коммутатора, содержащего хотя бы один такой переключатель, который содержит бистабильный элемент в МЭМС-исполнении, средства переключения и коммутационный узел. В качестве коммутационного узла использован МДП-транзистор, подвижным затвором которого служит подвижная подпружиненная мембрана с хотя бы одним проводящим элементом над областью канала МДП-транзистора и с включением из магнитного материала. Магнитное включение на мембране может быть выполнено из магнитомягкого или магнитотвердого материала. Для перевода мембраны из одного стабильного состояния в другое на магнитное включение на мембране воздействуют внешним (внешними) или выполненным (выполненными) заодно с переключателем одним или несколькими источниками магнитного поля. Технический результат - создание обладающего высокой надежностью простого в изготовлении и универсального в применении МЭМС-переключателя с фиксированными состояниями, с сохранением состояния в отсутствие питания, не требующего больших напряжений для переключения и не имеющего магнитных контактов. 8 з.п. ф-лы, 2 ил.