Легкоплавкое стекло
Изобретение относится к технологии стекла и предназначено для защиты и герметизации керамических корпусов полупроводниковых приборов. С целью снижения диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, температуры начала размягчения и температурного коэффициента линейного расширения легкоплавкое стекло содержит, мас.%: PBO 40,5-45,0 B 2O 3 12,0-14,5 AL 2O 3 0,4-0,9 ZNO 19,0-20,5 CDO 10,0-15,5 TEO 2 2,5-4,5 MN 2O 3 0,5-4,5 F - 2,5-7,0. Температура начала размягчения 350-365°С температура оплавления 390-400°С ТКЛР в интервале 20-300°С α .(65-69) .10 -7 град -1 диэлектрическая проницаемость E при F=1 МГц 9,0-9,7 диэлектрические потери TGδ при F=1 МГц 10-13. 2 табл.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (51) 5 С 03 С 3/145
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
1 (54) ЛЕГКОПЛАВКОЕ СТЕКЛО
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
1 (21) 4487364/23-33 (22) 05.08.88 (46) 15,07,90, Бюл. Р 26 (71) Белорусский технологический институт им. С,М.Кирова (72) Н.М.Бобкова, Г.E.Ðà÷êîâñêàÿ, Л.Г.1Пишканова и Е.М,Бондарева
-(53) 666.112.9 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
N 910541, кл, С 03 С 3/12, 1980.
Авторское свидетельство СССР .Р 1060581, кл. С 03 С 3/074, 1982. (57) Изобретение относится к технологии стекла и предназначено для защиты и герметизации керамических корИзобретение относится к технологии стекла и предназначено для защиты и герметизации керамических корпусов полупроводниковых приборов.
Цель изобретения — снижение диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, температуры размягчения и температурного коэффициента линейного расширения.
Сырьевые материалы: борную кислоту, глинозем, оксиды цинка, кадмия, теллура, марганца и фтористый свинец взвешивают на технических ввсах, тщательно перемешивают, засыпают в корундизовые тигли, которые загружают в электрическую печь. Скорость подъема температуры в печи 250 С/ч. Температура варки 850+10 С.
Л0 1578 92 А1
2 пусов полупроводниковшх приборов.
С целью снижения диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, температуры начала размягчения и температурного коэффициента линейного расширения легкоплавкое стекло содержит, мас.X: РЬО
40,5-45,0; В О 12,0-14,5; Alz0 >
0,4-0,9; ZnO 19,0-20,5; CdO 10,015,5; ТеО 2,5-4,5; Мп О 0,5-4,5;
F 2,5-7,0. Температура начала размягчения 350-365 С; температура оплавления 390-400 С; TKJIF в интервале
20-300 С (65-69) 10 град диэлектрическая проницаемость E при f = 1 МГц 9,0-9,7; диэлектрические потери tg о при f = 1 МГц 10-13.
2 табл.
Сваренную стекломассу.выливают на воду для получения гранулята, который пил высушивают и размельчают в порошок до требуемой тонины помола. 3
Конкретные составы стекол приведе- Q) ны в табл. 1.
4Р
Свойства стекол даны в табл. 2. сО
Как видно из табл. 2, данное стек-, k© ло характеризуется улучшенными значениями диэлектрических параметров: малым значением диэлектрической проницаемости (ниже íà 40X) и низким тангенсом угла диэлектрических потерь (ниже на 60X). Хорошие диэлектрические свойства в сочетании с высокой химической устойчивостью позволяют стабилизировать параметры гриборов
1578092
40,5-45,0
12,0-14,5
0,4-0,9
19,0-20,5
10,0-15, 5
2,5-4,5
0,5-4,5
2,5-7,0
Таблица 1
Компоненты
Содержание, мас.7, в составах
) 2 j 3
42,5
12,0
0 5
19,0
10,0
4,5
4,5
7,0
45,0
13,5
0,4
20 5
12,2
3,8
0,5
4,1
40,5
14,5
0,9
19,5
15,5
2,5
4,1
2,5
РЪО
В203
А1,0, ZnO
CdO
ТеО
Мп zO3
Таблица 2
Свойства
Составы
1 1
355
365
350
395
400
390
65
3,2х
101k
5,7х
0,8х
1012
9,7
9,0 процессе эксплуатации в условиях
1 лажной атмосферы.
Пониженная на 50 С температура вкачала размягчения стекол и ТКЛР, близкий к ТКЛР керамики, позволяют получить качественные покрытия по керамике при более низких температурах, что уменьшает диффузию элементов. ИС (алюминиевых выводов) в стекло.
Предлагаемое стекло экономически
1 ффективпо, так как позволяет замеr èTü дорогостоящий, остродефицитный припой, применяемый в технологическом процессе производства ИС, повысить надежность и технический уровень корпусов при герметизации и сборке интегральных схем, снизить стоимость микросборок за счет замены драгметаллов на алюминий при изготовлении выводов ИС.
Температура начала размягчения, С в
Температура оплавления, С
Температурный коэффициент линейного расширения в интервале 20-300 С, -1 в 10 7 град.
Удельное объемное электрическое сопротивление, Ом. см
Диэлектрическая проницаемость, Я при f = 1 МГц
Формула изобретения
Легкоплавкое стекло, включающее
РЬО, В ОЗ, A120s, Еп О, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь, температуры начала размягчения и температурного коэффициента линейного расширения, оно дополнительно содержит CdO, ТеО, Nn O и F при следующем соотношении компонентов, мас.Е .
РЪО в,о, А1д
ZnO
CdO
20 ТеО
МпОз
1 2 3
1578092
Продолжение табл.2
Свойства
Составы
Диэлектрические потери tg 3 при
f =,1 МГц
Химическая устойчивость к воде (потери массы при кипячении в воде) 10
0,04
0 05
0,06
Составитель Т. Трифонова
Техред Л.Олийнык Корректор Т.Малец
Редактор К. Крупкина
Заказ 1886 Тираж 396 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям н открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óêãoðîä, ул. Гагарина, 101