Датчик температуры

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения температуры вращающегося тела, например подложки полупроводниковой пластины, в процессе термообработки. Цель - повышение точности измерения в широком диапазоне температур. Датчик температуры включает термочувствительный элемент, источник питания и регистрирующий прибор. Термочувствительный элемент выполнен в виде шарикового подшипника. Внешняя обойма (или внутренняя) подшипника имеет как минимум два разрыва и является неподвижной. Обойма заключена в оболочку из диэлектрического материала. Сепаратор подшипника выполнен также из диэлектрического материала. Шарики (ролики) выполнены из полупроводникового материала. Источник питания и регистрирующий прибор подсоединены к обойме, имеющей разрывы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (111

А1 1) C 01 К 7/16

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬП ИЯМ

ПРИ П.(НТ СССР

1 (21) 4412620/24-10 (22) 20,04,88 (46) 15,07.90.Бюл, К 26 (72) А,П.Антонов (53) 536.5 (088.8) (56) Справочник по измерению температур в технике. / Под ред, Ф.Линевега. М,: Металлургия, 1980, с,62, Кривоносов А.И. Полупроводниковые. датчики температуры, М,: Энергия, 1974, с.149-150, (54) ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУР61 (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения температуры вра щающегося тела, например -подложки полупроводниковой пластины, в проИзобретение относится к измери тельной технике, в частности к датчикам температуры, и может быть использовано для измерения температуры вращающегося тела (например, подложки полупроводниковой пластины в процессе термообработки).

Цель изобретения — повышение точности измерения в широком диапазоне . температур.

На чертеже изображена схема кочструкции датчика температуры.

Датчик. температуры включает термочувствительный элемент 1, источник

2 питания и регистрирующий прибор 3, Термочувствительный элемент выполнен ,в виде шарикового (роликового) подшипника, внешняя обойма 4 или внут2 цессе тормообработки. Цель — повышение точности измерения в широком диапазоне температур, Датчик температуры включает термочувствительный эле мент, источник питания и регистрирующий прибор, Термочувствительный элемент выполнен в виде .шарикового подшипника. Внешняя обойма (или внутренняя) подшипника имеет как минимум два разрыва и является неподвижной, Обойма заключена в оболочку из диэлектрического материала, Сепаратор подшипника выполнен также из диэлектрического материала, Шарики (ролики) . выполнены из полупроводникового материала. Источник питания и регистрирующий прибор подсоединены к обойме, имеющей разрывы, 1 з,п.ф-лы, 1 ил. ренняя обойма 5 которого имеет как минимум два разрыва 6 и 7 (на чертеже показана внешняя (наружная) обойма, являющаяся неподвижной) . Обойма

4 заключена в оболочку 8 из диэлектрического материала (керамика) . Сепара. тор 9 подшипника выполнен также из диэлектричес ко го материала. Шарики (ролики) 10 выполнены из электропроводного или полупроводникового материала, Источник 2 питания и регистрирующий прибор 3 подсоединены к обойме, Для увеличения равномерности прогрева неподвижной обойм рекомендуется разрывы выполнять в виде косых срезов, при этом исключается дефюр! э 78515 ве генератора прямоугольных импульсов, если разрывы и на внутренней обойме выполнены с соответствующей изоляцией, Датчик расчитан на многоразовое использование и позволяет измерять температуру с точностью 0,1-0,37., Формула из обретения

Составитель В,Гусева

Редактор А,Ревин .Техред Л,Олийнык Корректор Н.Ревская

Подписное

Тираж 508

Заказ 1907

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 мация обоймы при высоких температурах, Может быть выполнена неподвижной и внутренняя обойма, при этом она имеет два разрыва и к ней подсоединены регистрирующий прибор и источник питания.

Датчик температуры работает следующим образом, t0

Датчик температуры может быть размещен, например, на валу карусели подложкодержателя пластин или на корпусе реактора, При этом необходимо осуществить контакт вращающейся под- 15 ложки с вращающейся частью датчика.

Датчик может быть расположен как в вертикальном, :так и в горизонтальном положении.

При нагревании пластин, располо- 20 женных на вращающейся подложке, одновременно нагревается и термочувствительный элемент, Изменяется величина электрического тока в цепи, причем регистрирующий прибор может быть вт- 25 градуирован в единицах температуры.

Предлагаемая конструкция датчика температуры может быть использована помимо полупроводниковой техники, например, в двигателях внутреннего 3О сгорания,в электротехнике в качест1, Датчик температуры, включающий соединенные последовательно источник питания, термочувствительный элемент и регистрирующий прибор, о т л ичающий ся тем, что, сцелью повышения точности измерения в широком диапазоне температур, термочувствительный элемент выполнен в виде шарикового подшипника, одна из обойм которого выполнена с двумя разрывами и установлена неподвижно в оболочке из диэлектрического материала,а шарики выполнены из полупроводникового материала или металла, источник питания и регистрирующий прибор присоеди" нены к обойме, имеющей разрывы, 2 Датчик температуры по п, 1, о тл и ч а ю шийся тем, что непод- вижная обойма выполнена с количест" вом разрывов, равным количеству термочувствительных элементов.