Устройство для обнаружения посторонних частиц в корпусах интегральных микросхем с внутренними замкнутыми полостями

 

Изобретение относится к испытательной технике. Цель изобретения - повышение производительности и снижение потребляемой мощности - достигается за счет совмещения вибрационных воздействий на изделия с ударными, а также за счет размещения ударного механизма на керне электродинамического возбудителя колебаний. Сигнал генератора 3 гармонического сигнала поступает на усилитель 2 мощности и с него на подвижную катушку электродинамического возбудителя 1 колебаний. Электрический сигнал, возникающий в пьезоэлектрическом акселерометре 4, через согласующий усилитель 5 поступает на вход обратной связи генератора 3 гармонического сигнала и вход двухлучевого осциллографа 6. После истечения 3 - 5 с блок 11 задания цикла отключает генератор 3 гармонического сигнала и включает механизм 15 перемещения, который передвигает ленту 17 с изделиями на шаг. Затем механизм 15 перемещения выключается и происходит разряд блока 14 конденсаторов на катушку индукционно-динамического ударного механизма 13. Далее цикл повторяется. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (ll) щ)5 G 01 M 7/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4411931/24-28 (22) 18.04.88 (46) 23.07.90. Бюл. h 27 (72) М.С.Медведев (53) 531.768(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1259176, кл. G 01 N 29/00, 1986.

Патент С1ДА № 4184372, кл. 73-572, 1900. (54) УСТРОЙСТВО ДНЯ ОБНАРУЖЕНИЯ

ПОСТОРОННИХ ЧАСТИЦ В КОРПУСАХ ИНТЕГРАЛБНЬБ МИКРОСХЕМ С ВНУТРЕННИМИ

ЗАМКНУТЫМИ ПОЛОСТЯМИ (57) Изобретение относится к испытательной ехнике. Цель изобретения повышение производительности и снижение потребляемой мощности достигается за счет совмещения вибрационных воздействий на изделия с ударными, а также за счет размещения ударного механизма на керне элекI

2 тродинамического возбудителя колебаний. Сигнал генератора 3 гармонического сигнала поступает «а усилитель

2 мощности и с него на подвижную катушку электродинамического возбудителя 1 колебаний. Электрический сигнал, возникающий в пьезоэлектрическом акселерометре 4, через согласующий усилитель 5 поступает на вход обратной связи генератора 3 гармонического сигнала и вход двухлучевого осциллографа 6. После истечения

3-5 с блок 11 задания цикла отключает генератор 3 гармонического сигнала и включает механизм 15 перемещения, который передвигает ленту 17 с изделиями на шаг. Затем механизм

15 перемещения выключается и происходит разряд блока 14 конденсаторов на катушку индукционно-динамического ударного механизма 13. Далее цикл повторяется. 1 ил.

1580197

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к оборудоl ванию для отбраковочных испытаний интегральных микросхем, и может бьгть использовано для обнаружения посторонних частиц, находящихся внутри их корпусов, если последние имеют замкнутые полости.

Цель изобретения — повышение производительности и уменьшение потребляемой мощности устройства за счет совмещения вибрационных и ударных воздействий на испытуемые изделия, а также за счет размещения ударного механизма на керне электродинамического возбудителя колебаний.

На чертеже представлена функциональная схема устройства. г

Устройство содержит электродинамический возбудитель 1 колебаний, усилитель 2 мощности, питающий катуш-, ки электродинамического возбудителя колебаний, генератор 3 гармонического сигнала, подающий на усилитель 25

2 мощности сигнал заданной частоты и амплитуды, пьезоэлектрический акселерометр 4, преобразующий механические колебания стола электродинамического возбудителя 1 колебаний в электрический сигнал, согласующий усилитель 5, передающий сигнал с пьезоэлектрического акселерометра 4 на один из выходов двухлучевого осциллографа 6 и на вход обратной связи генератора 3. Устройство содержит также акустический преобразователь 7, установленный на столе электродинамического возбудителя 1 колебаний, предварительный 8 и ультразвуковой 4О

9 усилители, повышающие сигнал с акустического преобразогателя 7 до требуемого значения, пороговый детектор 10, преобразующий сигнал в удобную для дальнейшего использования 45 форму, блок 11 задания цикла, обеспечивающий последовательное выполнение следующих операций: вибрация, отключение вибрации, перемещение изделий, удар, вибрация и т.д., механизм 12 сортировки, работающий по командам блока 11 задания цикла. В устройство также входят индукционнодинамический ударный механизм 13, размещенный на керне электродинамического возбудителя 1 колебаний, блок 14

55 конденсаторов, являющийся накопителем энергии для срабатывания по команде с блока 11 задания цикла индукционно-динамического ударного механизма "13, механизм 15 перемещения, обеспечивающий перемещение изделий

16 на заданную величину. Бесконечная лента 17 служит для крепления изделий 16, которые устанавливаются на основании 18. Индукционно-динамичес-. кий ударный механизм 13 может быть выполнен, например, в виде неподвижно закрепленной катушки, по которой протекает ток питающего устройства (блок 14 конденсаторов) и диска 19; из электропроводного материала.

Устройство работает следующим образом.

Интегральные микросхемы, подлежа— щие отбраковочным испытаниям на обнаружение внутри их корпусов посторонних частиц, подвергают четырехкратному воздействию вибрации в течение

3-5 с каждое, прикладывая в промежутках между вибрационными воздействиями ударную нагрузку к интегральной микросхеме. Нараме.тры воздействий ре.гламентированы. Это позволяет обнаружить частицы, которые могут вызвать перемеживающие замыкания между внутренними выводами и кристаллом или токоведущнии дорожками кристалла.

Изделие счита тся годным, если в результате испытаний частица не обнаружена.

Перед запуском устройства изделия 16 крепятся на бесконечной ленте 17 таким образом, чтобы одно изделие было расположено на основании 18, при этом используют 4 шт. одновременно установленных изделий. На генераторе 3 гармонического сигнала устанавливаются требуемые значения параметров колебательного движения (частота вибрации и ускорение), пос-1 ле чего устройство включается с помощью блока 11 задания цикла, при этом сигнал с генератора 3 гармонического сигнале поступает. на усилитель 2 мощности и с него на подвижную катушку электродинамического возбудителя 1 колебаний. Одновременно усилитель 2 мощности питает и его катушку подмагничивания. Электрический сигнал, возникающий в пьезоэлектрическом акселерометре 4 при вибрации стола электродинамического возбудителя 1 колебаний, через согласующий усилитель 5 поступает на вход обратной связи генератора 3 гармоничес15Я)197

6 поступает на второй вход двухлуче-вого осциллографа 6 и на пороговый детектор 10 для визуального светово-

5 го или звукового методов контрдля посторонних частиц. Пороговый детектор 10 преобразует сигнал с ультразвукового усилителя 9 в удобные для дальнейыего использования вид и форму и передает на вход блока 11 задания цикла сигнал для управления механизмом 12 сортировки, при этом обеспечивается согласование работы механизма 12 сортировки и поступление в него испытуемых изделий 16.

Таким образом, при непрерывном повторении укаэанных операций на акустическом преобразователе 7 последовательно оказываются все установлен20 ные на бесконечной ленте 17 изделия

16, которые проходят полный цикл вибрационных и ударных воздействий, при этом без остановки работы устройства на свободные посадочные места

25 бесконечной ленты 17 устанавливают новые изделия, т.е..обеспечивается непрерывньп процесс испытаний.

В результате на предлагаемом усе тройстве значительно повышается производительность испытаний. При проведении испытаний на известном устройстве полному циклу воздействий прдвергается одно иэделие. На одно изделие затрачивается 40-50 с, включая «ремя на приложение воздействий (12-20 с) и время на установку и снятие изделия (72-90 шт/ч).

На предлагаемом устройстве одновременно воздействиям подвергаются четыре иэделия, после того как пер40 вое будет расположено на акустическом преобразователе, т.е. время выхода проверенных издел п составляет 4-5 с или 720-900 шт/ч с учетом

45 времени на перемещение изделий.

Размещение ударного механизма на керне электродинамического возбудителя позволяет снизить нагрузку на столе электродинамического возбудителя колебаний в 4-5 раз, а так как имеет место прямопропорциональная зависимость между нагрузкой и потребляемой мощностью, то это позволит снизить потребляемую мощность в

4-5 раз.

Формула изобретения кого сигнала и одип из «кодо« двух I) е«ого осцил юграфа 6.

Таким образом, воздействию вибрации под«ергается « начале одно изделие 16, находяшееся на основании 18.

После истечения 3-5 с блок 1! эа— дания цикла автоматически отключает генератор 3 гармонического сигнала, тем самым прекращая вибрацию иэделия 16, и включает механизм 15 перемещения, который передвигает бесконечную ленту 17 с установленными на ней изделиями 16 так, чтобы на основании 18 располагалось два изде лия 16, после чего механизм 15 перемещения выключается и происходит разряд блока 14 конденсаторов на катушку индукционно-динамического ударного механизма 13, в результате чего пластине с бойком, расположенной на катушке индукционно-динамического ударного механизма 13, сообщается импульс силы, она движется ускоренно

««ерх и ударяет бойком о нижнюю плоскость стола электродинамического возбудителя 1 колебаний, создавая ударную нагрузку на иэделие 16 °

Далее блок 11 задания цикла автоматически в, .лючает генератор 3 гармонического сигнала и заряд конденсаторов блока 14 °

В результате воздействию вибрации подвергаются два изделия 16. После

3-5 с вибрации повторяется цикл: отключение генератора 3 гармонического сигнала, перемещение иэделий 16 и приложение ударной нагрузки, после чего на основании 18 располагаются три изделия 16, которые вновь подвергаются воздействию вибраций в течение 3-5 с, а после перемещения— ударному воздействию. В результате последнего перемещения первое изделие 16 располагают на акустическом преобразователе 7, а при последующих — на основании 18. Все четыре изделия 16 вновь подвергаются вибрационному воздействию, при этом для первого изделия оно будет четвертым и последним, для второго — третьим и т.д.

На этом вибрационном воздействии производится обнаружение посторонних частиц в первом изделии 16, прошедшем полньпЪ цикл предыдущих воздействий.

Сигнал с акустического преобразователя 7 через предварительньп усилитель 8 и ультразвуковой усилитель 9

Устройство для обнаружения посторонних частиц в корпусах интеграль-..

1580197

Составитель К.Тавлинов

Техред Л.Серд окова Корректор Н.Король

Редактор Н.Лазаренко

Тираж 440 Подписное комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

Москва, Ж-35, Рауша кая наб., д. 4/5

Заказ 2005

ВНИИПИ Государственного

113035, Производственно-издательский комбинат "Патент", r.ужгород, ул. Гагарина,101 ных микросхем с внутренними замкнутыми полостями, содержащее электродинамический возбудитель колебаний, генератор гармонического сигнала, усилитель мощности, выходы которого соединены с катушками электродинамического возбудителя колебаний, а вход — с выходом генератора гармонического сигнала, последовательно соединенные пьезоэлектрический акселерометр, согласующий усилитель и осциллограф, последовательно соединенные пьеэопреобразователь, предварительный усилитель, ультразвуковой усилитель и пороговый детектор, блок конденсаторов и ударный механизм, выход ультразвукового усилителя соединен с вторым входом осциллографа, о т л и ч а ю щ е е с я тем, gp что, с целью повышения производительности и снижения потребляемой мощности, в него введены блок задания цикла, блок перемещения изделий и блок сортировки изделий, ударный механизм выполнен в виде индукционно-динамического механизма, последний размещен на керне электродинамического возбудителя колебаний и через блок конденсаторов соединен. с первым выходом блока задания цикла, второй выход которого соединен с входом блока перемещения изделий, третий выход— с входом блока сортировки изделий, четвертый выход — с управляющим. входом генератора гармонического сигнала, вход обратной связи которого соединен с выходом согласующего усилителя, а вход блока задания цикла соединен с выходом порогового детектора.