Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @

 

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов. Цель изобретения - увеличение апертуры и поля зрения объектива и создание телецентрического хода лучей со стороны плоскости предметов. Объектив состоит из девятнадцати линз, собранных в семнадцать компонентов. Увеличение апертуры объектива обеспечивает увеличение разрешения и получение минимального элемента 0,8 - 0,9 мкм на поле диаметром 23,2 мм, что в свою очередь позволяет увеличить информационную емкость сверхбольших интегральных схем. Телецентрический ход лучей в пространстве предметов позволяет снизить чувствительность проекционной системы установок, в которых может применяться объектив, к температурным изменениям, а также устранить операцию выставления масштаба при смене фотошаблонов.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 02 В 13/24

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4470063/24-10 (22) 03.08.88 (46) 23.08.90. Бюл. N. 31 (72) В.И.Цуран, Э.С.Гуревич, Г.И.Тихончук и B.М.Шевлюкевич (53) 535.824.2(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

f4 303912, кл. G 02 В 13/24, 1985. (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЬЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” 1/5 (57) Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов.. Цель изобретения— увеличение апертуры и поля зрения объекИзобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системахэкспонирования для изготовления полупроводниковых приборов.

Цель изобретения — увеличение апертуры, поля зрения и создание телецентрического хода лучей со стороны плоскости предметов.

На фиг. 1 приведена оптическая схема объектива; на фиг. 2- частотно-контрастные характеристики объектива.

Объектив состоит из девятнадцати линз. собранных в семнадцать компонентов, первый из которых - положительный мениск 1, обращенный вогнутостью к плоскости предметов; второй — положительный мениск 2, обращенный выпуклостью к плоскости предметов; третий — отрицательный мениск 3, обращенный выпуклостью к пло,,5U„„1587334 А1 тива и создание телецентрического хода лучей со стороны плоскости предметов. Объектив состоит из девятнадцати линз, собранных в.семнадцать компонентов. Увеличение апертуры объектива обеспечивает увеличение разрешения и получение минимального элемента 0,8 — 0,9 мкм на поле диаметром 23,2 мм, что в свою очередь позволяет увеличить информационную емкость сверхбольших интегральных схем.. Телецентрический ход лучей в пространстве предметов позволяет снизить чувствительность проекционной системы установок, в которых может применяться объектив, к температурным изменениям, а также устранить операцию выставления масштаба при смене фотошабланов. скости предметов; четвертый — двояковогнутая линза 4; пятый — двояковыпуклая линза 5; шестой — двояковогнутая линза 6; седьмой — отрицательный мениск 7, обра-. щенный выпуклостью к. плоскости предметов; восьмой — двояковыпуклая линза 8; девятый — двояковыпуклая линза 9; десятый — положительный мениск 10, обращенный выпуклостью к плоскости предметов; одиннадцатый — положительный. мениск 11, обращенный вь.пуклостью к плоскости предметов; двенадцатый — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, склеенный из положительной 12 и отрицательной 13 линз; тринадцатый — отрицательный мениск 14, обращенный выпуклостью к плоскости предметов; четырнадцатый — отрицательный мениск 15, обращенный вогнутостью к. плоскости предметов; пятнадцатый — поло1587334

1 б

У 7 У Я 10 111Г131 151617 У 1Я („ :» Г

Ъ жительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, склеенный из отрицательной 16 и положительной 17 линз; шестнадцатый — двояковыпуклая линза 18; семнадцатый — положительный мениск 19, обращенный выпуклостью к плоскости предметов.

Объектив. имеет высокую степень коррекции аберрации для области спектра

404,6+5 нм. Увеличение объектива — 1/5*.

Апертура 0,35, поле зрения 23,2 мм. Увеличение апертуры объектива обеспечивает увеличение разрешения и получение минимального элемента 0,8 — 0,9 мкм на поле диаметром 23,2 мм, что позволяет увеличить информационную емкость сверхбольших интегральных схем, Телецентрический ход лучей в пространстве предметов позволяет снизить чувствительность проекционной системы установок, в которых может и рименяться объектив, к температурным изменениям, а также устранить операцию выставления масштаба при смене фотошабло нов.

Формула изобретения

Проекционный объектив с увеличени* ем — 1/5, включающий одиннадцать компонентов, первый и второй из которых— отрицательные мениски, обращенные выпуклостью к плоскости предметов, третий— двояковыпуклая линза, четвертый и пятый— положительные мениски, обращенные выпуклостью к плоскости предметов, шестой— склеенный отрицательный мениск,обращенный выпуклостью к плоскости предме5 тов, седьмой — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, восьмой — отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, девятый — положительный ме10 ниск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из положительной и отрицательной линз, десятый — двояковыпуклая линза; одиннадцатый — положительР ный мениск, обращенный выпуклостью к

15 плоскости предметов, отличающийся тем, что, с целью увеличения апертуры объектива, увеличения поля зрения объектива и создания телецентрического хода лучей со стороны плоскости предметов, в него введе20 ны два положительных мениска, обращенные выпуклостями друг к другу и расположенные перед первым компонентом, две двояковогнутые с установленной между ними двояковыпуклой линзой, распо25 ложенные между первым и вторым компонентами, и двояковыпуклая линза, расположенная между третьим и четвертым компонентами, причем одиннадцатый компонент выполнен одиночным, а второй ком30 понент расположен на расстоянии 0,336 F от первого компонента, где F — фокусное расстояние объектива.

158Т334

1,0

1,0

500 1000 12.Þ

Г00 ИЮ тв

7

500 1000 1250

500 1000 15М

Составитель В.Архипов

Техред М.Моргентал . Корректор И.Муска

Редактор В.Данко

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 2412 Тираж 456 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5